半导体基本测试原理PPT课件.ppt

基本测试原理 基本测试原理 为什么半导体产品需要测试 对于半导体产品 我们需要的不仅是制作 更需要在制作完成后验证其性能参数是否符合规格要求 只有符合产品电参数要求的芯片才可以交付给客户 因此测试对于检验芯片的功能性来说是一项非常重要的工作 硅片测试能够分辨一个好的芯片和一个有缺陷的芯片 什么是测试 硅片测试是为了检验规格的一致性而在硅片级集成电路上进行的电学参数测量 硅片测试的目的是检验可接受的电学性能 半导体产品的不同阶段电学测试 CP测试主要设备 探针卡 probecard 探针卡是自动测试机与待测器件 DUT 之间的接口 在电学测试中通过探针传递进出wafer的电流 探针台 prober 主要提供wafer的自动上下片 找中心 对准 定位以及按照设置的步距移动Wafer的功能 以使探针卡上的探针总是能对准硅片相应位置进行测试 测试机 tester ATE 控制测试过程 可作为电压或电流源并能对输出的电压和电流进行测量 并通过测试软件实现测试结果的分类 bin 数据的保存和控制 系统校准以及故障诊断 CP测试主要过程 将待测Wafer放在cassette中置于探针台 Prober 的上下片部分 探针台自动上片到承片台 chuck 并被真空吸附在承片台上 承片台吸附wafer进行自动对准定位 以使探针卡 探针与wafer测试区域接触良好 测试机 tester 将电信号通过探针卡加载在待测die上 对产品进行测试 按照测试结果分类 对不合格芯片进行打墨点标记 以使不良管芯可以在封装之前被识别并废弃 测试的评判标准 良率 yield 电学测试数据根据每个硅片上失效的芯片数目把硅片分为通过 Pass 和失效 Fail 两类 其中合格芯片所占的百分比称为良率 产品良率 Yield 合格芯片数 gooddie 总芯片数 grossdie 测试的基本参数及其测试原理 VDMOS基本测试参数 BVDSS DraintoSourceBreakdownVoltageIDSS DraintoSourceLeakageCurrentISGS GatetoSourceLeakageCurrentVth GatetoSourceThresholdVoltageRDON DraintoSourceOn ResistanceVFSD DraintoSourceForwardVoltage 二极管 SBD FRD等 基本测试参数 VF ForwardVoltageVR VZ ReverseVoltageIR ReverseCurrent I BVDSS BVDSS是指VDMOS的漏源击穿电压 测试时将栅极 Gate 与源极 Source 短路接地 使器件处于关断状态 并在漏极 drain 与源极 Source 之间施加一个特定电流 通常为250uA 测量此时漏源之间的电压 即为BVDSS IDSS IDSS是VDMOS在截止状态下的漏源泄漏电流 其测试回路与BVDSS类似 将栅极 Gate 与源极 Source 短路接地 使器件处于关断状态 并在漏极 drain 与源极 Source 之间施加一个特定电压 通常一个略低于BVDSS的值 测量此时漏源之间的漏电流 即为IDSS ISGS ISGS是VDMOS在栅源之间的漏电流 其测试时 将漏极 drain 与源极 Source 短路接地 并在栅极 Gate 与源极 Source 之间施加一个特定电压 测量此时栅源之间的漏电流 即为ISGS Vth VDMOS的工作原理是通过栅极电压控制漏极电流 在漏极与源极之间加一正电压 低于BVDSS 当栅极电压低于一定值时漏源之间几乎无电流通过 此时器件截止 当栅极电压增加到一定程度时 漏源电流大幅增大 此时器件导通 这个器件截止与导通之间的门槛值 叫做开启电压 VTH 其测试时 将漏极 drain 与栅极 Gate 短路 并在其与源极 Source 之间施加一个特定电流 测量此时漏源之间的电压 即为VTH RDON RDON是VDMOS在导通状态下漏源之间的导通电阻 其测试时 在栅极 Gate 与源极 Source 之间加一个大于开启电压 VTH 的电压 通常为10V 以保证器件开启 然后在漏极 drain 与源极 Source 之间施加一个规定电流 测量此时漏源之间的电压 根据欧姆定律 漏源电压除以漏源电流得到器件开启时漏源之间的电阻值 该值即为RDON VFSD VFSD是VDMOS寄生二极管的正向压降 其测试时 将栅极 Gate 与源极 Source 短路 在源极 Source 与漏极 drain 之间施加一个规定电流 测量此时源漏之间的电压 即为VFSD SBD特性曲线 1 VFForwardVoltage 正向电压 二极管在规定的正向电流 IF IAK 下的正向压降 对于SBD FRD测试 以下测试项为VF参数 VF适用于单管芯及双管芯产品第一个管芯的正向电压测试 VFBC适用于双管芯产品第二个管芯的正向电压测试 VF 2 VR VZ ReverseVoltage 反向电压 二极管在规定的反向电流 IR IKA 下的电压值 对于SBD FRD测试 以下测试项为VR参数 VZ适用于单管芯及双管芯产品第一个管芯的反向电压测试 BVCBO适用于双管芯产品第二个管芯的反向电压测试 VR VZ 3 IRReverseCurrent I 反向电流 二极管在规定的反向电压 VR VCE VCB 下的电流值 对于SBD FRD测试 以下测试项为IR参数 IR适用于单管芯及双管芯产品第一个管芯的反向电流测试 ICBO适用于双管芯产品第二个管芯的反向电流测试 IR 测试数据文件介绍 JUNO Juno机台测试数据文件 Juno测试机测试数据文件主要有 1 jdf 原始测试数据 必须由Juno自带软件 DfOpener 打开查看 且测试数据不能编辑或更改 jdf xls jdf自动转化的excel文档 用于查看各参数测试具体数据 Counter xls 计数文件 用于查看wafer整体良率情况及各bin的统计 测试数据文件介绍 STATEC STATEC机台测试数据文件 STATEC测试机测试数据文件主要有 log2 原始测试