半导体厂节能措施汇总.xls

AUS今几年节能费用 电空调水年度小计 2007年347 5597 863 9621 667 7009 879 221 2008年169 3276 924 6081 771 8458 865 780 2009年2 745 5164 917 336196 5577 859 409 2010年1 700 0005 122 0001 315 0008 137 000 分项小计4 962 40224 827 9064 951 10234 741 410 分项比例14 3 71 5 14 3 100 电 4962402 089 14 空调 24827906 29 71 水 4951101 999 14 电空调水 序序號號廠廠區區節節能能項項目目執執行行狀狀況況 節節能能 費費用用 月月 2007 1 S03 CUB 电力容量从23000KVA调低至20500KVA电力容量调低至20500KVA33 000 2 S03 F3 发电机加热器调整 室温在22 以上时关闭加热器 节 约能源 5 869 2008 1S02AS RS自動倉儲貨架內日光燈照明管控 在K2 變電所中將照明控制開關以 跳盞方式關閉一半左右 從2008年 1月開始執行 7 883 2S03工礦燈節能改造08年5月份施實 工礦燈改日光燈 7 256 3S03CUB棟冰機房日光燈節能08年2月實施 關閉19盞日光燈 335 4S03CUB棟倉庫照明節能08年2月實施 522 2009 1 S018 18 因3E FAB啟用 故把壓力調為 5 7bar 49 318 32S02空壓機TA6000停機 3 4開始停機 2008年爭取停 TA6000共6個月 每月平均25天 82 196 33S02乾燥劑排氣風機運轉模式調整07年開始 12月停用 803 34S02乾燥機再生時間調整 乾燥機再生時間變成36小時 此條 目僅適用於春 秋 冬季 3 849 35S02RC排氣夜班停運 週末停運 2008年2月底執行夜班停運 停 11h 自8月初又執行週末停運 停47h 742 36S03有效更換新風機組濾網 08年1月實施 將初效改為每星期 更換 中效每月更換 高效一年更 換 1 858 37S03調整無塵室溫度 RCU節能 08年1月實施 夏天溫度控制26度 冬天溫度控制24度 18 833 38S03調整無塵室濕度 MAU節能 08年1月實施 夏天濕度控制65 冬天溫度控制55 36 666 39S03CDA系統節能 08年1月實施 將露點溫度從 52 度升到 40度 1 686 40S03無塵室潔淨空氣防洩露 08年4月實施 對洩露之孔洞進行 密封 26 490 41S03IT機房節能改造 預計08年10月下旬實施 空調機組 改造 4 147 42S032F空調調節 08年1月實施 無塵室面積縮小 空調閥門調節及加濕及除濕量調整 11 886 43S03無塵室潔淨度10K降100K 08年6月份施實 拆除FFU MAU HEPA 19 976 44S03CUB鍋爐房及冰機分機節能08年2月實施 關閉10台風扇 1 468 45S03CDA壓力調節08年7月實施 壓力調低0 5公斤 9 867 2009 1 S01夏季溫 濕度設定26 65 7 195 16S02RC FAB 的吊頂空調箱全部關閉冬季關閉 7 397 17S02RC 與1E二次冰水系統整合 在夏季冰水用量高峰期可停15KW 水泵一台 6 725 18S02三期蒸汽併入一二期 蒸汽系統整合後有9個月可節省費 用 實際改造成本 28 5萬 180 232 19S02 U3 CDA壓力調降 自08年12月由5 5bar 調至5 0bar 自08年12月由5 5bar調至5 2bar 22 417 20S02僅2E生產時開啟ZR400供氣 根據產能狀況隨時調整 預計09年 開啟2個月 09年已開啟19天 62 768 21S02 開啟3 CDA冷卻水泵 熱水泵移作CDA 冷卻水泵 自7月2日起 開啟使用 功率由 55kw降為30kw 11 209 22AUSZ 蘇州廠區衛生間及走道排氣時間設定 由 原24H 改成按時段開啟07 00 20 00 22 00 01 00 04 00 06 00 已從1 1開始執行 預計十二個月 關 閉 4 543 2009 23AUSZ 蘇州辦公區空調時空 由原10H 改成7 00 9 30 12 00 13 00 15 00 16 00 一期空調熱水溫度調低 由55 40 已從1 1開始執行 預計二個月 關閉 81 630 24AUSZ 融園空調分時段開啟 由原來的9H改成 20 00 23 00 09年1月1日開始 預計80天 195 000 25S03調節FAB內二次冰水迴圈量 依據現在天氣1 3F FAB二次冰水 為不使用狀態 故關閉區域內二次 冰水閥降低管道損耗 適用月份10 月中旬 4月中旬 8 784 26S03合理開啟電梯數量關閉3台電梯電源 全年適用 867 27S03中央集塵器 HV 關閉 現場自行使用小吸塵器清潔 合理 利用能源 全年適用 549 28S03冰機間斷性開機 外界溫度低於8 開機1小時停機3 小時 每年1月至2月適用 79 056 29S035台冰機關閉兩台節約備機用電 2台冰機斷電節約待機費用1月開始 實施 全年適用 1 037 30S03加熱式乾燥機取代吸附式乾燥機 利用節能型新設備代替原設備2月 開始實施 全年適用 9 180 31S03發電機機油加熱裝置關閉 根據天氣狀況關閉發電機加熱裝置 2月開始實施 2月 11月適用 333 2010 1UI U2预冷机工程 2U2干燥机吹扫式再生改压缩热再生 3融园饮水机节电 4S06厂排气引入MAU机房 5融园锅炉油改气工程 2009 当当年年度度節節能能費費用用 年年度度合合计计节节 省省费费用用 60 000 7 863 962 1 113 942 53 000 953 915 14 400 24 000 21 892 23 983 26 209 199 178 6 548 3 350 000 21 000 1 431 000 110 666 147 900 86 680 160 000 45 360 7 544 6 745 28 000 6 924 608 666 000 152 000 310 000 170 000 440 000 550 000 132 000 11 250 239 417 100 284 2 000 60 480 100 000 93 600 11 880 8 000 11 750 44 806 240 000 201 603 15 430 35 109 6 924 608 85 000 22 356 17 736 20 000 350 000 310 000 393 422 721 274 9 636 46 188 5 634 22 291 225 996 439 992 20 235 238 410 24 882 142 632 139 832 16 148 49 335 110 000 4 917 336 54 000 95 000 14 000 8 400 6 924 608 300 000 300 000 200 000 40 200 210 000 24 000 720 000 158 184 60 525 57 560 29 588 40 351 1 081 392 269 006 125 536 67 252 54 517 4 917 336 163 260 390 000 52 704 10 404 6 588 158 112 12 444 100 980 3 333 700 000 5 122 000 1 800 000 72 000 250 000 2 300 000 24 827 906 4 917 336 序序號號廠廠區區節節能能項項目目執執行行狀狀況況 節節能能 費費用用 月月 2007 1U1 F2 一二期PCW系统温度设定由18度提高至21 度 把温度设定为21度43 000 2U1 U2 提高一二期纯水采水率 降低化学品使用 一二期降低化学品使用已经完成 二期采水率提高在4月完成 一期 在6月完成 68 000 3U1 U2 一二期纯水系统仪表回收水纯水系统仪表水已全部回收7 600 4U1 U2 一二期PCW MAU 3C 4CTray盘清洗机用 水有DIW改为Ro水 把一二期PCW MAU 3C 4CTray 盘 清洗机用水有DIW改为Ro水 2 900 5S06 F2栋4楼纯水测试水 MAU冷凝水 PCW排 水回收 F2栋4楼纯水测试水 MAU冷凝水 PCW排水回收 1 843 6 7U2一期无机废水回收 S06厂三 四楼无机废水排入U2地 下室无机废水暂存池 经原冷却塔 补水泵浦打至一期冷却塔 39 000 8 S03 F3 氮气柜进气口流量调节从7 5L MIN至 2 5L MIN 氮气流量调低至2 5L MIN16 000 9 S03 CUB Cooling Tower加药药剂更换每月省水1600吨4 800 2008 1U1 U2 超純水水質由18兆下降到5兆2008 1 1開始下調水質 50 000 2S06S06 3F 4F磨洗貼節水改造2008 5 15完成 42 117 3S06U2RO濃水回收至T1 F2沖洗廁所2008 5 15完成 20 250 4U1 U2 西廠區無機廢水回收水工程2008 6 10開始實行回收 83 333 5S02 2E cassette cleaner用水由RO水改為 軟化水 2月20日改造完成 1 800 6S02CDA冷凝水回收2 25完成 41 7S03生飲水節能 08年2月實施 對飲水機開啟頻率 進行調整 1 513 8S03水處理氮封節能08年6月實施 關閉氮封閥 320 2009 1 S01 S06 U1 U2降低砂濾塔反洗頻率08 11 01已開始實行 9 500 2 S01 S06 DIW水溫放寬範圍 夏天不用冰水 冬 天減少熱水用量 已執行中 純水系統前段熱交換器 已停止使用 2 000 3AUSZ 蘇州廠區F2 RF生飲水RO廢水回收預計5月份開始投入使用 1 478 4S03純水系統RO單元節能改善 在不影響實際用水量的情況下將原 有兩個泵改為一個泵補水節約電費 可全年執行 14 607 2010 1融园饮水机节电 2S01 S06 S03无机废水回收扩充 3U1 U2无机废水浇花利用 4调节融园宿舍卫生间冲水阀 当当年年度度節節能能費費用用 年年度度合合计