1单晶硅片 (企业标准).doc

Q/321202HDT001-2010太阳能级单晶硅片1 范围本标准规定了太阳能级单晶硅片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于太阳能电池用的太阳能级单晶硅片（以下简称单晶硅片）。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可以使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划3 术语和定义3.1 本产品导电类型为p-型半导体硅片导电类型是指半导体材料中多数载流子的性质所决定的导电特性，本产品导电类型是p-型半导体，其多数载流子为空穴的半导体。3.2 杂质浓度单位体积内杂质原子的数目。本产品的主要杂质是指氧含量、碳含量。3.3体电阻率 单位体积的材料对于两平行面垂直通过的电流的阻力。一般来说，体电阻率为材料中平行电流的电场强度与电流密度之比。符号为，单位为cm 。3.4四探针 测量材料表面层电阻率的一种探针装置。排列成一直线、间距相等的四根金属探针垂直压在样品表面上，使电流从两外探针之间通过，测量两内探针的电位差。3.5 寿命晶体中非平衡载流子由产生到复合存在的平均时间间隔，它等于非平衡少数载流子浓度衰减到其始值的1/e(e=2.718)所需的时间。又称少数载流子寿命，简称少子寿命。寿命符号，单位为s 。3.6 孪晶 在晶体中晶体是两部分，彼此成镜象对称的晶体结构。连接两部分的界面称为孪晶或孪晶边界。在金刚石结构中，例如硅，孪晶面为（111）面。3.7 单晶不含大角晶界或孪晶界的晶体。3.8 直拉法（CZ）本产品单晶硅的生长方式为直拉法，其工艺为沿着垂直方向从熔体中拉制单晶体的方法，又称切克劳斯基法，表示符号为CZ。 3.9 对角线 横穿圆片表面，通过晶片中心点且不与参考面或圆周上其他基准区相交的直线长度。3.10 硅片中心厚度硅片中心点垂直于表面方向穿过硅片的距离为硅片中心厚度。3.11 厚度允许偏差 硅片厚度的测量值与标称值的最大允许差值。3.12 总厚度变化 (TTV)在厚度扫描或一系列点的厚度测量中，所测量的硅片的最大厚度与最小厚度的绝对差值。3.13 翘曲度 硅片中心面与基准片面之间的最大和最小距离的差值。翘曲度是硅片一种体性质而不是表面特性。3.14 崩边 硅片边缘或表面未贯穿硅片的局部损伤区域，当崩边在硅片边缘产生时，其尺寸有径向深度和周边弦长给出。3.15 缺角 上下贯穿硅片边缘的缺损。3.16 裂纹、裂痕延伸到硅片表面，有可能贯穿，也可能不贯穿整个硅片厚度的解理或裂纹或裂痕。3.17 C角单晶方棒四个角用滚磨机滚出圆弧形。3.18晶向同一个格子可以形成方向不同的晶列，每一个晶列定义了一个反向，称为晶向。3.19晶向偏离度晶体的轴与晶体方向不吻合时，其偏离的角度称为晶向偏离度。4 技术要求4.1 外观要求外观要求见表1。表1：外观要求品等要 求A等 表面清洁没有油污，不允许有裂纹、气孔、孪晶、未滚磨以及缺角的现象B等允许有轻微白色、斑点及水印，不允许有裂纹、气孔、孪晶、未滚磨以及缺角的现象4.2 规格尺寸及极限偏差4.2.1 规格尺寸及极限偏差应符合表2、表3、表4规定。表2：6寸单晶硅片规格尺寸及极限偏差项 目指 标A 等B 等中心厚度/（m）2002020020总厚度变化（TTV）/（m） 3040边长/（mm）1250.51250.5对角线/（mm）1500.51500.5C角/（mm）210.8210.8翘曲度/（m）200 um，且75-200um的占有率不允许超过1%75翘曲度200线痕/（m）1515深度20边缘崩边不允许崩边深度0.5mm，长度0.8mm，Max为3个/片，不允许有“V”形缺口表3：6.5寸单晶硅片规格尺寸及极限偏差项 目指 标A 等B 等中心厚度/（m）2002020020总厚度变化（TTV）/（m） 3040边长/（mm）1250.51250.5对角线/（mm）1650.51650.5C角/（mm）8.650.658.650.65翘曲度/（m） 200 um，且75-200um的占有率不允许超过1%75翘曲度200线痕/（m） 1515深度20边缘崩边不允许崩边深度0.5mm，长度0.8mm，Max为3个/片，不允许有“V”形缺口表4：8寸单晶硅片规格尺寸及极限偏差 项 目指 标A 等B 等中心厚度/（m）2002020020总厚度变化（TTV）/（m） 3040边长/（mm）1560.51560.5对角线/（mm）2000.52000.5C角/（mm）15.40.615.40.6翘曲度/（m）200 um，且75-200um的占有率不允许超过1%75翘曲度200线痕/（m）1515深度20边缘崩边不允许崩边深度0.5mm，长度0.8mm，Max为3个/片，不允许有“V”形缺口4.2.2 单晶硅片对角线（）、边长（W）、C角尺寸（C）见图1。图14.3 理化指标理化指标应符合表5规定。表5：理化指标项 目指 标A等B等1生长方式CZCZ2晶向1001003晶向偏离度/（） 1.51.54导电类型PP5掺杂剂Boron（B）Boron（B）6氧含量/（atoms/cm3） 1.010181.010187碳含量/（atoms/cm3） 5.010175.010178电阻率范围（）/（cm） 1.03.0，3.06.01.03.0，3.06.09少子寿命（d）/（s） 10（钝化后）10（钝化后）4.4 单晶硅棒编号 单晶硅片从该编号的单晶硅棒切割出来，该单晶硅棒的编号含义如下。 晶棒位置 晶棒序号 该炉出炉的晶棒根数 出炉总数 炉号 年号示例：单晶硅棒编号为090809322B表示该硅棒是2009年第8号炉出的第93炉的2根晶棒中的第2根晶棒，该截断晶棒在原出炉晶棒的B段，见图2。 头 A段 B段 C段 尾图25 试验方法5.1 感官要求在室温下，光线明亮的室内手感、目测检查。5.2 规格尺寸5.2.1 中心厚度和总厚度变化（TTV）中心厚度和总厚度变化使用相应精度的千分表测量。5.2.2 边长和对角线边长和对角线使用相应精度的游标卡尺测量。5.2.3 C角C角使用90角尺测量。5.2.4 翘曲度翘曲度使用塞尺测量。5.2.5 线痕线痕使用粗糙度测量仪测量。5.2.6 崩边崩边长度和深度使用相应精度的游标卡尺测量并目测。5.3 理化指标5.3.1 生长方式生长方式由单晶硅棒生长炉而决定，因此检查单晶硅棒生长炉是否符合要求。5.3.2 晶向和晶向偏离度晶向和晶向偏离度使用晶向仪测量。5.3.3 导电类型和掺杂剂导电类型使用型号测试仪测量，掺杂剂用电阻率测试仪测量。5.3.4 氧含量和碳含量氧含量和碳含量使用氧碳含量测试仪测量。5.3.5 电阻率电阻率使用四探针电阻率测试仪测量。5.3.6 少子寿命少子寿命使用少子寿命测量仪测量。6 检验规则6.1 单晶硅片应经生产厂质检部门检验合格后，并附产品合格证方可出厂发货。6.2 检验应逐批进行，采用GB/T 2828.1-2003的规定进行检验。6.3 检验组批：以同一种型号、规格和等级的合格硅片组成一个检验批次。6.4 单位产品：单晶硅片的单位产品为片。6.5 批质量：以每百单位产品的不合格品数（即片）计算。6.6 抽样方法：采取随机抽样的方法抽取。6.7 检验项目：为本标准第4.1、4.2、4.3条。6.8 抽样方案：采用正常检验一次抽样方案。检验水平、接收质量限（AQL）见表6。 表6：检验水平、接收质量限（AQL）检验项目本标准章、条检验水平接收质量限（AQL）外观要求4.11.5规格尺寸及极限偏差4.2理化指标4.36.9 逐批检验时，正常检验一次抽样方案按GB/T 2828.1-2003中表2-A制定出的表7进行操作。序号检验项目抽样方案检验设备、方法检验标准1边长尺寸3片/每棒游标卡尺、目视6寸单晶硅片:1250.5mm6.5寸单晶硅片:1250.5mm8寸单晶硅片:1560.5mm2对角线尺寸3片/每棒游标卡尺、目视6寸单晶硅片:1500.5mm6.5寸单晶硅片:1650.5mm8寸单晶硅片:2000.5mm3C角尺寸3片/每棒宽座角尺、目视6寸单晶硅片:210.8mm6.5寸单晶硅片:8.650.65mm8寸单晶硅片:15.40.6mm4中心厚度15片/每棒 水平测试台、千分表20020um5TTV15片/每棒 水平测试台、千分表30um判定为A等品，40um判定为B等品6翘曲度15片/每棒塞尺、目视75um判定为A等品，75um翘曲度200um判定为B等品7刀痕全检表面粗糙度测量仪、目视深度15um判定为A等品，15um 深度20um判定为B等品8崩边全检限度样片、目视A等品不可有崩边,崩边深度0.5mm宽度0.8mm，MAX 3个/片，不允许有“V”形缺口，判定为B等品9外观全检限度样片、目视A等品：表面清洁没有油污B等品：允许有水印所有硅片不允许有裂纹、气孔、未滚磨、孪晶、缺角现象表7：正常检验一次抽样方案序号检验项目抽样方案检验设备、方法检验标准1氧含量.碳含量抽样水平，AQL=1.5氧.碳含量测试仪氧1.01018 atoms/cm3碳5.01017 atoms/cm32电阻率.少子寿命抽样水平，AQL=1.5电阻率测试仪. 少子寿命测量仪电阻率1.0-3.0, 3.0-6.0.cm 少子寿命 10s (钝化后)3堆放高度全检目测4层4包装箱外观抽样水平，AQL=1.5目测完好.无破损.涂改5边长尺寸抽样水平，AQL=1.5游标卡尺、目视6寸单晶硅片:1250.5mm6.5寸单晶硅片:1250.5mm8寸单晶硅片:1560.5mm6对角线尺寸抽样水平，AQL=1.5游标卡尺、目视6寸单晶硅片:210.8mm6.5寸单晶硅片:8.650.65mm8寸单晶硅片:15.40.6mm7C角尺寸抽样水平，AQL=1.5 刻度模板、宽座角尺、目视6寸单晶硅片:210.8mm6.5寸单晶硅片:8.650.65mm8寸单晶硅片:15.40.6mm8中心厚度抽样水平，AQL=1.5 水平测试台、千分表20020um9TTV抽样水平，AQL=1.5 水平测试台、千分表30um判定为A等品，40um判定为B等品10翘曲度抽样水平，AQL=1.5塞尺、目视75um判定为A等品，75um翘曲度200um判定为B等品11刀痕抽样水平，AQL=1.5表面粗糙度测量仪、目视深度15um判定为A等品，15um 深度20um判定为B等品12崩边抽样水平，AQL=1.5限度样片、目视A等品不可有崩边,崩边深度0.5mm长度0.8mm，MAX.3个/片判定为B等品13外观 抽样水平，AQL=1.5限度样片、目视1. A等品：表面清洁没有油污2. B等品：允许有水印3. 所有硅片不允许有裂纹、气孔、未滚磨、孪晶、缺角现象批量范围样本大小接收质量限（AQL）1.5AcRe3 20110 0002007810 00135 000315101135 001150 0005001415150 001500 00080021226.10 检验结果判定当样本检验中发现的不合格数小于或等于其对应的接收数（Ac）时，则判定该批产品为可接收。如果样本中发现的不合格数大于或等于其对应的拒收数（R