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文档简介
P/N 212-29916多通道X-射线荧光光谱分析仪MXF-2300(P/N 205-78820-91)使用手册岛津公司表面分析和半导体设备部日本神奈川县为使用户充分理解包括本公司设计的大量专门技术,这本书详细描述了系统的原理和结构,因此,我们殷切希望用户除使用外,不要把本说明书转让、销售、或教授其内容给第三者。安全使用设备工作时,产生伤害人体的X-射线和高电压,为了安全使用仪器,应注意下列事项:X-射线病的防治1、该系统符合“电离辐射防护规定”(1972年9月30日劳动部颁布的41号法令)中规定的“X-射线装置”。在使用该系统时,应采取法规规定的必要措施(如在日本)。2、为防止X-射线的泄露,系统主体全部用铁板盖密封,除前面左门在正常操作时需打开,其他盖均不需打开,而且除该门以外,所有盖板均用螺丝固定安装,如果一些盖必须打开时,务必在打开前停止X-射线的生产。特别是在X -射线工作期间,当盖板的螺丝被卸下时,装在测角仪右盖上的连锁装置将自动关闭X-射线发生装置。3、当操作控制系统的运行不正常时,不要强行打开进样口的盖,或X-射线光闸,如果必须打开,在打开前必须关掉X-射线发生装置。触电防护从X-射线发生装置的高压变压器到X-射线光管的高压部分,均具有防触电结构。但是,不管怎样,卸下高压电缆使高压电极暴露,可能引起触电事故,当取下高压电缆时,应关闭X-射线发生装置,并等待5分钟以上。另外,为了避免错误接通电源,应采取适当措施,例如在开关部件上贴上警告。 由于仪器使用高压气体,在开始使用仪器前,必须阅读下述“高压气体操作注意事项”使用高压气体的注意事项岛津公司科学设备部感谢您长期惠顾岛津公司。我公司的一些产品必须使用高压气体,而对其防护措施来讲,最近的要求比以前更加严格。鉴于这种情况,您虽已实施检查,不管怎样必须再检查一次,以进一步证实下述事项,并特别注意高压气体的操作。另外,在使用高压气体时:1,使用容量在300m3以上的气瓶时比须得到法律允许;,在常温下使用压力大于10kg/cm2的仪器为高压仪器,必须有符合法律的使用通知单(例如在日本)。请参照高压气体管理法、液化石油气规则及普通气体安全防护规则,和消防法令。使用防护措施1、 将气瓶安装在室外通风良好的地方,避免阳光直接照射,并用管路将气体引入室内。特别是液化气体,这样做符合法律规定。2、 注意绝对不能使气瓶温度高于40,绝对不能在气瓶周围2m范围内有名火。3、 使用高压气瓶的地方应特别注意通风,在开始使用之前用肥皂水或类似的方法检查,证实无气体泄漏。特别是使用可燃气体(乙炔、氢气、丙烷等),助燃气(氧气、一氧化二氮等),使用这些气体的仪器周围5m范围内,不得吸烟或有明火,此外还应配备有效的灭火气。4、 气瓶应用绳子系牢,以防突然倾倒,绝对不能让液化气瓶(乙炔、丙烷、一氧化二氮等)平着躺下。5、 当使用乙炔气体时,使用的气体减压阀必须是乙炔气体减压阀,乙炔气体的管路不得使用铜、银、水银(包括其合金)等,否则如果形成乙炔金属化合物,受到冲击会发生猛烈爆炸。6、 当使用氧气瓶时,必须使用无油减压阀。如果与氧气接触的管路内表面附着有油,该管也不能使用。7、 当使用结束时,应关闭气瓶的阀门。8、 每隔三个月或稍长的时间检查一次耐压的性能。9、 配备“氢气操作注意铭牌”(铝粘合板),我们现正着力生产比以前销售的更好的铭牌。如果你方特别需要,通知我方主管人员,将免费向你们提供。目 录1. 原理和结构.1-11.1测量原理.1-11.2X射线管1-21.3X-射线管冷却系统.1-31.4高压变压器.1-41.5X-射线功率控制器(PCX-16)(参照图1-3).1-41.6可控硅装置.1-51.7照射室.1-51.8固定分光器.1-71.9扫描器.1-91.10检测器.1-101.11恒温单元.1-131.12送样器.1-141.13真空管路.1-151.14样品盒.1-161.15转台.1-171.16检测器气体管路.1-181.17FPC气体密度稳定器GRX-161-191.18DPX-16操作盘1-201.19RX-16处理机1-251.20检测器高压供电单元HVX-161-311.21衰减器单元1-311.22供电单元1-321.23真空度稳定器1-322. 系统的启动. 2-13. 系统的终止和暂停. 3-13.1系统的终止.3-13.2i系统暂停.3-24. 分析 4-15. CWC-16. 5-15.1X-射线管冷却系统的功能简介.5-15.2外部冷却水的供水和排水接头.5-15.3外部冷却水.5-25.4注水.5-25.5运行.5-35.6停止.5-35.7循环冷却水简图.5-46. 调整. 6-16.1真空度的调整.6-16.2温度的调整.6-16.3检测器高压设定.6-26.4PHA水平6-36.5光闸.6-46.6转台.6-56.7送样器.6-66.8气流式检测器(FPC).6-76.9检测真空漏气的方法.6-96.10CWC-16A.6-96.11分光器.6-107. 故障诊断程序 7-18. 维护 8-18.1真空泵.8-18.2检测器.8-18.3转台.8-18.4送样器.8-18.5ii光闸.8-18.6真空阀.8-28.7CWC-16.8-28.8FPC气瓶.8-48.9过滤器.8-48.10防护罩.8-49. 备件. 9-19.1维修及调试工具.9-19.2用于两年的标准备件.9-19.3供MXF-2300型射线光谱仪和样品制备装置使用两年的易耗备件.9-29.4MXF-2100型X-射线光谱仪附加备件.9-3iii1. 原理和结构1.1测量原理当从X-射线管产生的X-射线(以下称为一次X-射线),照射在测定试样上时,试样中所含的元素产生一个具有特定波长的X-射线(以下称为特征X-射线或荧光X-射线)。由于试样中含有许多种成分,所以激发出的X-射线是一束各种X-射线的混合光。这个激发的X-射线进入装在试样周围的单色器中。每一个单色器设置成为对应于某一特征的X-射线,因而,如果混合X-射线进入单色器,经过单色器晶体的反射,只选择对应元素的特征X-射线。该射线然后进入连接在单色器上的检测器中,反射的X-射线强度正比于对应元素成分的含量。这样用检测器测量一段恒定时间内检测到的X-射线的量之后,计算而得到对应成分的浓度。这台仪器具有同时检测、测量和记录各种元素X-射线的能力。 转盘 探测器高压电源HVX-16 操作面板 电源供给单元PUX-16 冷却水供给单元 配电盘 处理器RX-161-1图.1-1 X-射线荧光分析仪外观图1.2 X-射线管X-射线管(图1-2)垂直的安装在主机的中心。该射线管由美国VARIAN Co.公司制造。通过加热灯丝产生的热电子,在数万伏高压下加速,当热电子撞击靶金属时(以下称作靶),从靶产生连续波长的X-射线(以下称作连续X-射线)和靶金属的特征X-射线。两个混合的X-射线束称为一次X-射线。一次X-射线穿过X-射线管下端0.075mm厚的铍窗,照射在被测定的试样上。由于该X-射线管的靶金属是铑,因而一次X-射线是含连续X-射线和特征X-射线(RH-K,RH-L)的混合X-射线束。Rh-K和Rh-L射线能分别有效的激发试样中的重元素和轻元素。当热电子束轰击靶时,99%以上的动能变成了热能并加热靶,因本射线管输出功率为4kw,靶也被加热大约4kw。为防止靶金属熔化,必须冷却靶。由于加在靶金属上的电压为40或50KV,冷却的液体必须是绝缘体。所以靶用由X-射线管冷却系统提供的循环纯水进行冷却。由于热辐射也加热靠近靶的X-射线管部分,因而X-射线管也用循环水冷却。由于灯丝的损耗,X-射线管的效能在几年内就降低了,为保证能使用较长的时间,不要将X-射线管的输出强度提高到超出需要值。 1-2图.1-2 主机侧面内部视图1.3 X-射线管冷却系统上面提到,为冷却射线管使用绝缘纯水而不使用一般的自来水。为了冷却被射线管加热的蒸流水,并使它再返回到射线管中,在主机地座上装有CWC-16型X-射线管冷却系统。X-射线管冷却装置有一个内设盛纯水的水箱,一个水泵,一个保持纯水纯度的离子交换树脂容器,和一个用于水温、水压和电阻的安全控制电路。此外这个设备还有一个用于放散纯水中热量的热交换器,自来水冷却热交换器中的纯水。1-31.4 高压变压器高压变压器安装在主机的右下角,该变压器通过高压电缆为X-射线管提供高电压电流,高压变压器内主要有四个装置:(a)把电压升高到几万伏的升压变压器;(b)为X-射线管提供直流电压的一套整流电路;(c)一个产生波动很小的直流电的滤波电容器;(d)一个用于控制X-射线功率的管电压、管电流的检出电阻,这四个装置都浸在耐高压的绝缘变压器油中。升压变压器和内部电路产生热量,因此,高压变压器通有自来水冷却。用于控制X-射线功率微小波动的检测电阻随温度而变化,在最大输出功率3kw时,冷的变压器达到完全稳定的温度(稳定的强度),大约需要两小时。在着段时间内,X-射线功率变化量转换为测定强度时,X-射线强度的波动大约为0.3%,因此为保持有效的测定精度,需要给X-射线管连续供电,以保持变压器有恒定的温度。 1.5 X-射线功率控制器(PCX-16)(图1-3)X-射线功率控制器(PCX-16)安装在主机底座右上角的RX-16中,该电路保证高压变压器对X-射线管提供恒定的电力,它的作用是保持恒定的X-射线功率,以保证即使电源有一点变化时,测量的强度也不会有所波动。由于有这个装置,即使电源波动1%,管电压和管电流的波动也可保持在0.001%之内,换算为强度时,波动大约为0.004%电源瞬间的波动,不影响测量强度。但是,如果瞬间波动经常发生,导致在电源波形异常的情况下,可能影响测量强度,如果这种情况发生,请准备一个马达发电机。关于X-射线功率控制器(PCX-16)的详细说明,参见1.19信息处理机RX-16,X-功率控制器(PCX-16)。1-4图.1-3 X-功率控制器 PCX-161.6可控硅装置该装置接收X-射线功率功率控制器(PCX-16)传送来的控制信号,并通过可控硅产生高功率。1.7照射室照射室安装在仪器的中心,这是光谱仪系统的心脏,可大致分为三个部分,从上往下分别是:(a)圆锥形照射室;(b)光闸装置;(c)试样室。这三部分用螺丝连在一起,X-射线管固定在圆锥形照射室上,许多分光器和隔光板安装在圆锥体的周围,为防止空气吸收X-射线,圆锥室内和所有分光器都是真空的,因此这个装置全是真空的。由于圆锥室内必须保持真空,又因X-射线又不能射到照射室外面,所以照射室的底部用光闸切换。光闸由光闸马达驱动,仅在分析时打开,光闸打开时由于试样传送器在试样室底部,光闸虽然打开了,X-射线也照射不到照射室之外,所以,这个装置对于X-射线来说也是全密封的,光敏元件随时检察光闸的打开和关闭状态。1-5从仪器的背面看,右边的光敏元件用于检测光闸的打开,左边的光敏元件用于检测光闸的关闭。试样室装在光闸装置下面,在试样室里有一个测量试样定位的转盘,试样或试样盒是通过试样传送器进入试样室的,并顶压住这个转盘,这样,X-射线管窗和试样表面之间的距离总是恒定的。由于试验表面成分的偏析,或抛光试样时条纹方向的影响,从而使试样中发射的X-射线也将不同。为使X-射线均一化,在分析时旋转试样(称作自旋)。定位的转盘也被压在轴承上,当装在送样器上的马达转动时,压在转盘上的试样和转盘一起旋转,转速为60rpm。在分析时,试样室抽真空在光闸打开前就开始了,特别是在反复测量压片的粉末试样时,由于抽真空,粉末的一部分将扩散,所以应定期打开光闸和试样室进行清扫(一季度一次)。由于X-射线的照射,光闸的O形环也将逐渐老化,请一年更换一次。1-6图.1-4 照射室图.1-5 光闸位置传感器1. 8固定分光器对每一个分析元素的每一个分光器(图1-6)安装在圆锥室的周围。本装置是采用弯晶的集中光束的分光器。与使用平晶的平行光束法相比较,集中光束法能增加X-射线强度,集中光束法的原理见图1-7。分光器从原理上讲有三部分组成,入射狭缝、出射狭缝和衍射晶体,这三部分精确的排列在一个由衍射晶体曲率决定的圆上(称罗兰圆)。各种波长的X-射线,包括所有试样成分的特征X-射线,从试样表面经过入射狭缝进入晶体表面,转动调整晶体角度的螺丝,以使晶体角度与两个狭缝对称。因此只有特定波长附近的X-射线被晶体反射并沿出射角狭缝射出。其它波长的X-射线将不被反射,即使有一些反射也不能从出射狭缝射出。 n=2dsinA 其中:d:晶体材料决定的晶体间隔(原子平面之间的距离) :反射波长 :入射角和反射角 n:正整数,通常为一1-7假定由上式决定的波长为1/2;1/3;1/4的(即1/2;1/3;1/4的波长)的X-射线同时入射,只有在正整数2;3;4的情况下,才适合上面的方程式。因此这些X-射线也将同时被反射并沿同一出射狭缝射出。这些称为高次X-射线,再本装置中,这些高次X-射线由检测器和测量电路去除。所有晶体的材质,对每种元素均选择反射率高的材料,有三种类型的曲率。每个元素的晶体类型在说明书中都有说明。为了增加反射强度,抛光了晶体表面,而狭缝也不是一条细线,其宽度为0.33mm。如果增加狭缝宽度,X-射线光束的强度将增加,但在这种情况下,特征波长附近的一些X-射线也同时被反射出了狭缝。狭缝的宽度在工厂已经调整好,但如果需要也可在现场调整。通过调整程序很容易调整晶体角度。1-8图.1-6 固定单色器图.1-7 单色器原理1.9扫描器扫描器由一次光狭缝;分光晶体;二次光狭缝;闪烁计数器和驱动机械装置组成。一次光狭缝是固定的,分光晶体和二次光狭缝和闪烁计数器能转动,转动的角度在任何时候都等于X-射线与晶体表面的入射角。1-9图.1-8 扫描器1.10检测器本仪器主要使用气体密封型检测器。在检测器中充有几百毫米汞住压力的惰性气体(Ne,Ar,Kr中的一种),并有一根芯线通过中心,来自检测器高压电源(后述)的大约2000伏的正高压,通过检测器插头加在芯线上,在检测器前端有一个吸收X-射线少的轻金属制作的薄窗。检测器插头和外筒连接在信号放大器电路上。每一个X-射线光子通过窗进入时,在放大电路上就有一个脉冲电流流过。通过记录电流脉冲的数量,就能知道入射X-射线光子数-即X-射线的强度。电流脉冲的高度反比于入射X -射线的波长。所以当前述高次X-射线同时进入时,其脉冲高度将倍增,这些可被脉冲高度分析电路(后述)识别并除去。当然高次X-射线并不总是存在。事实上,即使波长稳定,电流脉冲的高度也会因光子而产生一定的波动,脉冲高度由脉冲高度测量程序(后述)测量,并能得到下面的脉冲高度分布。图.1-9 1-10另有X-射线光子进入检测器时,一些光子产生比正规峰脉冲高度低的脉冲,结果在脉冲高度分布曲线上形成一个隆起部分,称之为逸出峰。图.1-10逸出峰波高平均值Pe与正规峰波高平均值Pn的比: = 封入气体气体吸收边能量KeV产生逸出峰的强度Ne0.874无Ar3.202小于正规峰Kr14.319大于正规峰逸出峰强度(X-射线光子数)对分光器来说是固定的,如上表所示,由于气体的不同它也不同。由于逸出峰也是X-射线光子产生的,因此它也应计数。下面说明检测效率。如果入射的一部X-射线被检测器材料所吸收,或一部分透射了而没在密封气体中被检测,这样检测效率就降低。这些吸收和透射特性,取决于窗、密封气体和X-射线波长。1-11检测器表现的特性用图说明(图1-9)。图.1-11 检测效率因此,总是要选择填充气体和窗材料,以尽可能的增加所要波长的X-射线的检测效率,并降低高次干扰波长的检测效率,这样就能把高次X-射线在一定程度上分离出去,这称之为物理分离。在本仪器中,为使每种元素都得到优良的检测效率,同时除去干扰的高次波长,因而采用如下所述的各种检测器。检测器名称应用元素气体流动检测器B,C,N,O,FNe Exatron (Al窗)Na,MgNe Exatron (Be窗)Al,Si,P,S,ClAl ExatronK,Ti,V,etcNe MultitronCaAr Multitron重元素Kr Multitron重元素1-12对多数元素均采用带有轻金属窗的密封型检测器,但对于C,F,Na由于它们的特征X-射线被金属窗所吸收,所以用积薄的高分子化合物薄膜作为窗材料。这种情况下由于分光器内是真空的,气体可由窗泄露出去,所以对这几种元素采用气体可连续流动的气体流动式检测器。气瓶和气路管道(后述)与检测器相连。气体流动检测器的气体是一种特殊气体,称为P-10(PR)气体(90%Ar+10%甲烷混合气体)。在使用流动气体检测器时,必须保证P-10气体连续流动,如果在气体流动前加高压,FPC窗容易损坏。1.11 恒温单元在“1.8固定分光器”中讲过,X-射线衍射条件方程式如下:n=2dsin整数n和波长总是恒定的,但晶体中原子平面间距d会因热膨胀而变化。为使上面的公式有效,当波长是定值时,就要改变反射角。因此,由于温度变化,反射光线逐渐被狭缝遮住,导致X-射线强度的变化。为防止这种现象,要求用户在分析室安装空调,同时厂家在仪器内安装了恒温系统,以使分光器中温度变化尽可能的小。恒温系统包括一个加热器和一组风扇,由CTR-16控制器控制的有恒定温度的空气由风扇送入。热膨胀系数大的晶体以及反射角大的元素,较易受温度影响,如Al,Si,S,K,Ca就是这种元素,测定温度的传感器安装在这些元素附近。要求用户通过安装使用空调以保持工作室的温度大约在235,同时保证送入仪器的风量不变。仪器内的温度,应以分析室的条件设定在30-35之间的某一恒定温度。1-131.12送样器装有试样的试样盒由送样器从前面的转台中送入仪器,然后送入X-射线管下面的试样室中。放置试样盒的试样台(图1-10)在送样器的连杆运送期间,总是保持水平状态。当试样台离开正面的转盘进入仪器时,试样盒周围的保护圈被弹簧抬起,保护试样盒不会掉下。转动试样的旋转马达和减速齿轮头与试样台连接,试样盒在齿轮头的顶端旋转,齿轮头的轴由旋转密封装置真空密封。当试样盒到达试样室内时,借助于试样盒下面的弹簧,将试样盒压在试样室内的旋转盘上,使之放在正确的位置上,。用螺丝,保持试样台与试样室的位置对正。连杆机构由带有蜗轮的驱动轴驱动。送样器刚好到达试样室或刚好返回前面的旋转盘之前,由微动开关检出和定位,然后驱动马达的开关关闭。图.1-12 送样器1-141.13 真空管路抽真空管路系统(图1-11)安装在仪器的左下脚。真空系统主要由真空泵、锥形照射室阀、试样室阀和试样室漏气阀组成。试样室阀和试样室漏气阀的打开和关闭与测定操作相对应的,它们负责于抽真空和让空气进入试样室。为保持锥形照射室的真空状态,锥形照射室的阀总是打开的。只有当试样室阀打开时为防止空气逆流入,这个阀才关闭一小会。用于操作控制和真空测定的传感器(皮拉尼真空计)连接在管路上。当操作暂停时,真空泵能防止真空油逆流。由于停电导致操作停止时,为了安全,上面所提到的那些阀门关闭,停电时漏气阀打开,以使空气从真空泵的吸气端进入,从而防止泵油逆流向分光室。为保持分析期间真空度的恒定,安装了一个真空稳压器。该装置接收从真空传感器送来的电流信号,以控制专用漏气阀打开或关闭。1-15图.1.13 真空管路1.14试样盒试样安放在试样盒内(图1-12),在试样盒盖的上表面(基准面)有一个盖板用螺丝固定容器里的海绵或弹簧将试样压靠在盖板上,所以试样的表面与试样盒上表面在同一水平线上。进一步说,试样盒的上表面被压在试样室转盘上定位,所以试样的表面也就被放置在一个固定的位置上了,消除了盖板厚度的误差。1-16标准试样盒盖板的内径是30mm,分光器尺寸正好设计成从分光器方向看,仅仅能看到30mm直径的试样表面,所以盖板的材料不会产生干扰。如果盖板的直径小的话就有一些影响,如果试样盒中装有太多的海绵,抽真空的时间将加长且降低真空度。对于较薄的试样,应该用固体材料托高或使用弹簧,对于特殊的软试样、干粉试样,如果使用海棉,当盖上试样盒盖时,试样表面可能被盒盖边损坏。使用弹簧让试样和盒盖在周座上旋转,从而防止试样表面受损。对较厚的试样应选择合适的海绵。如果认为松散的粉末污染试样,在更换试样时,要清理试样盒,特别是盒盖、轴座表面和海绵。图.1-14 试样盒1.15转台1-17转台最多可装8个试样盒(图1-13)。转台的停止位置传感器在转动板的下面,当位置传感器测到栓针时,马达断路开关关闭。图.1-15 转台1.16检测器气体管路对于C、F和Na等元素,由于使用流动气体检测器,所以要连接气体管路,一个6立方米(相对大气压)的钢瓶放在仪器后面在一天24小时连续使用的情况下,约能使用四个月。使用P-10(PR)气体(90%Ar+10%甲烷)。瓶内的高压气体,利用装在钢瓶上的减压阀,将压力降到0.2kgcm2检测气压)然后进入主机。进入主机后,气体的压力和温度由FPC气体密度稳定器来控制。1-18图.1-16 检测器气体管路1.17 FPC气体密度稳定器 GRX-16该装置由测量温度和压力保持气体管路中(尤其是气箱)的恒定密度。气体的状态方程式表示为:PV=nRT (R:常数)其中:P:气箱中压力,V:体积,T:绝对温度,n:物质量(摩尔)由于密度=,由上方程式可得到下方程式:=1-19这表明通过让压力和绝对温度成比例,就可以保持密度恒定。该系统根据绝对温度利用PID控制电磁阀的开启来准确调整。气体进入主机经针型阀调节流速(大约20mlmin)后,经过电磁阀再进入流量计。然后气体穿过气体流动检测器进入密度稳定气箱。而后穿过电磁阀进入气流调整针型阀,最后排入大气(参见图1-16和图1-17)。图.1-17 FPC气体密度稳定器1.18 DPX-16操作板主机前面板的操作板有下列功能 X-射线电源功率控制、显示和操作。 扫描显示和操作。 报警显示和恢复。 予置开关。 多重显示(真空度、冷却用纯水电导和温度的显示)。 光闸的开启监视指示器。 报警蜂鸣器和温度控制开关。1-20图.1-18 DPX-16操作盘 X-RAY POWERX-射线电源功率控制器显示单元。该单元的功能为开、关或设置X-射线管电压和电流。首先打开安装在管电压和管电流显示器右侧的电源开关。通过使用UP-DOWN开关使管电压和管电压升或降至所需值(每一挡5kV或5mA)。在这种情况下,应在升管电流之前将管电压升至20kV。在计算机控制下,预先分别增加电压和电流到20kV和5mA,这些设置称为“预设置”。关闭X-射线时,首先逐渐减小管电流,然后降低管电压。当两者都减小到零时,关闭电源开关,或者把电源开关置在OFF。这种方法自动让管电压和管电流逐渐减小到零。 CANNER扫描显示单元该单元有选择扫描器1或2的功能和扫描器手动方式。在显示器的右侧的两个按键是扫描器1和2的选择开关。1-211-21可以使用装在显示器下面的两个按键FORE和BACK改变扫描器设置角度。按键若长时间按着,扫描器将加快变化速度。 LARM报警显示和报警恢复单元该单元在发生报警的时候,提供自诊断,显示报警结果。报警种类如下:1LOW VACUUM低真空。2LOW OR HIGH TEMPERAYURE(SPECTROMETER)光谱仪温度低或高3HIGH TEMPERAYURE(COOLING WATER)冷却水温度高。4LOW PRESSURE(COOLING WATER)冷却水压力低。5HIGH CONDUCTIVITY(COOLING WATER)冷却水电导高。6OVER LOAD(X-RAY TUBE)X-射线管过载。7OVER VOLTAGE(X-RAY TUBE)X-射线管过电压。8OVER CURRENT(X-RAY TUBE)X-射线管过电流9INTERNAL ALARM内部部件报警。10AUX.1辅助设备1。11AUX.2辅助设备2。12AUX.3辅助设备3。 每一个报警的内容如下:1LOW VACUUM低真空。当分析开始后,在设定时间内,如果真空达不到设定的某真空的低断路点LOW TRIP产生这个报警。如果在规定的时间内,真空没有从低断路点LOW TRIP达到高断路点HIGH TRIP也发生这个报警。这时ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作,并且“LOW VACUUM”低真空灯闪烁。2LOW OR HIGH TEMPERAYURE(SPECTROMETER)光谱仪低或高温度。当光谱仪温度偏离设定值0.5时发生这个报警。这时“LOW OR HIGH TEMPERAYURE(SPECTROMETER)”光谱仪低或高温度灯闪烁,但系统不停。3HIGH TEMPERAYURE(COOLING WATER)冷却水温度高。温度超过设定值时,发生这个报警,同时X-射线关闭。这时ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作,并且“HIGH TEMPERAYURE(COOLING WATER)”冷却水温度高灯闪烁。4LOW PRESSURE(COOLING WATER)冷却水压力低。1-22当CWC-16中的纯水流速减小到1.30.2l/min时,发生这个报警,同时X-射线关闭。这时ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作,并且“LOW PRESSURE(COOLING WATER)”冷却水压力低灯闪烁。5HIGH CONDUCTIVITY(COOLING WATER)冷却水电导高。当CWC-16中的纯水的电导超过6710-8(1/)时,发生这个报警,同时X-射线关闭。这时“HIGH CONDUCTIVITY(COOLING WATER)”冷却水高电导灯闪烁。6OVER LOAD(X-RAY TUBE)X-射线管过载。当设定的DPX-16的X-射线负荷超过PCX-16过载保护开关的设定值时,发生这个报警,同时X-射线关闭。这时ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作。并且“OVER LOAD(X-RAY TUBE)”X-射线管过载灯闪烁。7OVER VOLTAGE(X-RAY TUBE)X-射线管过电压。当设定的DPX-16的X-射线管电压超过PCX-16中设定的过电压值时,发生这个报警,同时X-射线关闭。这时ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作。并且“OVER VOLTAGE(X-RAY TUBE)”X-射线管电压灯闪烁。8OVER CURRENT(X-RAY TUBE)X-射线管过电流当设定的DPX-16的X-射线管电流超过PCX-16中设定的过电流值时,发生这个报警,同时X-射线关闭。这时ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作。并且“OVER CURRENT(X-RAY TUBE)”X-射线管电压灯闪烁。9INTERNAL ALARM内部部件报警。当发生以上1-8以外的故障时(如进样器、旋转盘、光闸故障等),产生此报警。这时ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作。并且“INTERNAL ALARM”内部部件报警灯闪烁。10AUX.1辅助1当主机侧板或后板,在X-射线辐射期间拆下,或光闸打开的同时试样送样器离开IN(进入)位置,产生此报警,X-射线关闭,引起ALARM(报警)和STOP(停止)灯亮,系统停止工作。并且“AUX.1”辅助1灯闪烁。11复位校正了前面提到的任何一个闪烁灯的错误以后,按此复位开关,将使系统转入正常,并且闪烁灯关闭。 INITIALIZE初始化开关有两个初始化开关,扫描器初始化开关(A)和CPU初始化开关(B)1-23按扫描器初始化开关将使扫描器(扫描器1或2)选择由(2)SCANNER扫描器项进行校准。如果在操作盘DPX-16上的CPU控制不正常,按CPU初始化键。 多重显示该显示器显示三个内容:真空度、CWC-16纯水电导、恒温器温度。三个内容的任何一个都能使用位于显示器下面的开关选择。按第一个VACUUM(真空)开关,将显示真空度。按第二个WATER CONDUCTIVITY(水电导)开关,将显示CWC-16内的纯水电导。按第三个SPECTROMETER TEMPERATURE(光谱仪)开关,将显示设备内部温度。 光闸开闭监视指示器当光闸打开时这个灯亮。报警蜂鸣器和温度控制开关ABUZZER报警蜂鸣器该按键开关决定在发现故障时,蜂鸣器是否响。也就是说,这个按键按下时发生故障时蜂鸣器才响。B温度控制开关 按下此开关,温度控制才工作。注:当主机上部侧板拆下时,不能按下这个开关。1-241.19 RX-16信息处理机该系统包括各种检测仪表、控制印刷电路板PCBs、电源功率控制器等,其结构如下:对每一块电路板的说明:图.1.19处理器RX-161 PCX-16 X-射线功率控制器。该印刷电路板是一个有控制X-射线管电压、管电流及X-射线管用冷却系统CWC-16的保护电路功能的电路板(包括小电路板PCX-161)。通过使用1.18节DPX-16操作板上的(1)X-射线电源(X-RAY POWER)部分,来进行X-射线的开、关或X-射线管电压及管电流的设定。1-25图.1-19-1 PCX-16 X-射线功率控制器 过电压保护开关O.V为保护X-射线管,该系统装备有PID开关,设定最大可容许X-射线管电压。如果超过容许电压,X-射线管将关闭。DIP开关号1.63kV5.43kV2.58kV6.-3.53kV7.-4.48kV8.-在工厂调整时,只打开DIP开关(3),设定最大53KV。 过电流保护开关O.C为保护X-射线管,该系统装备有PID开关,设定最大容许X-射线管电流。如果超过可容许电流,X-射线管将关闭。DIP开关号1. 100mA2. 83mA3. 63mA4. -1-26通常使用95mA的电流,因此在工厂调整时,只打开DIP开关1.,设定最大100mA。 纯水最大电导W.COND的设定为防止X-射线管的绝缘体击穿,该系统装备有DIP开关(3),这开关可设定纯水最小电阻,当电阻值降到最小电阻以下时,X-射线管将关闭。DIP开关号1. 1.5M2. ON3.4.通常只打开DIP开关2ON。DIP开关1用于DPX-16操作板检查该电路。如果当仅打开DIP开关1时,显示板大约显示67,该检查是正常的。 频率设置开关MA该开关用于设定系统的供电频率。DIP开关号1. 60Hz2. 50Hz 频率设定开关KV该开关与上面开关4是相同的。用同样方法设定。 过载保护开关O.L为保护X-射线管,该系统装备有DIP开关(6),设定X-射线管最大可允许负载,如果超过可允许负载,X-射线管将关闭。DIP开关号1. 0.5kW2. 1kW3. 2kW4. - 如果DIP开关设定接通为1,2和3,将允许负载为4kW。通常使用4 KW的负载,因此在工厂调整时,打开DIP开关1,2和3,以设定最大负载4 KW。1-27 程序选择开关PRO该开关与包括在这个印刷电路板中的微处理机有关。DIP开关号1. PROSEL2. PROSEL3. INIT4. -通常不使用这些开关,如果由于某些原因,导致该电路板失去控制时,打开/关闭DIP开关3。通常不要使用其他的开关。 过载检查开关O.L CHECK这是一个DIP开关,用于检查过载安全开关是否正常动作。按下X-射线关闭键DPX-16的X-RAY OFF按纽(见图1-16),关闭X-射线然后关闭配电盘上的CONTROL(控制)开关(见图2-1),从前面抽出该印刷电路板。当DIP开关设置到过载检查O.L CHECK 时,将印刷电路板复位,并打开CONTROL控制开关。当X-射线关闭时,看DPX-16上的电压表和电流表,调节上的kV和mA调节器,逐步增加负载(见图2-1),当超过的最大可容许负载时,开始出现过载OVER LOAD报警。通常设置这个DIP开关至正常NORMAL位置。 过载检查调节器kV和mA该调节器用于检查过负载安全开关是否正常动作,参照上面。 X-射线管极性设置开关POSITIVE(正)NEGATIVE(负)。该开关用于设置系统的X-射线管的极性。通常将其设置在正极POSITIVE上。注意):变更任何到的开关时,一定要确认该电路板是设定为INIT。2 控制电路板CTX-16这块是一个控制所有其他印刷电路板的电路板,它控制各种操作(光闸、送样器、转盘、扫描器等),以及串行数据传输(印刷电路板间及系统之间)。1-28图.1-17-2CTX-16印刷电路板 温度控制选择开关该系统装备有两种控制功能,ON/OFF(开/关)和PI控制,该开关容许选择两种中的一种。PID开关号1. -2. -3. PI控制4. O/F(ON/OFF)控制 温度补偿调整器TEMP OFFSET用于准确的调节操作板DIP-16上的多重显示器上显示的温度。不要变动这个在工厂已调整好的调整器。 温度设置及调整SET TEMP用于调整及设置光谱仪系统的恒温器,改变恒温器的设置温度见6.2节。 程序选择开关该开关与包括这个印刷电路板的微处理器有关DIP开关号1. -2. PRO3. SET4. RESET1-29DIP开关2确定是否使用真空稳定器,打开开关使真空稳定器工作,当开关关闭时稳定器不动作。通常不使用DIP开关3,当使用维护系统时,打开这个开关。如果任何系统失去控制时,打开/关闭(ON/OFF)DIP开关4,这是CPU重新设置开关。3 PSX-16脉冲高度分析/脉冲计数(PHA/SCALER)电路板。由检测器来的X-射线信号,通过放大器进入这块电路板,在这里它们由脉冲高度分析器(PHA)进行选择*。当特定的X-射线信号进入脉冲高度分析器时,它只将特定形状的脉冲送入脉冲计数器。一块电路板包含12个元素通道,脉冲计数器计数从脉冲高度分析器来的脉冲,每通道最大计数约4109个计数。计数数据不打印出来,它除以计数时间而换算为每秒计数比值,然后经校正脉冲高度分析器死时间*漏掉的计数,而得到理论修正计算值。*死时间:脉冲判定时间,在第一个脉冲判定时间内进来的第二个脉冲被漏掉了,这种情况在高计数比率时会发生。 图.1-19-3 PSX-16脉冲高度分析器/脉冲计数器(PHA/SCALER)电路板l 注:PHA:脉冲高度分析器 PHD:脉冲高度分布曲线1-301. 20 检测器高压供电单元HVX-16该单元为检测器提供高电压检测器高压供电大致分为三种类型:固定分光器电源;扫描器1电源;扫描器2电源。固定分光器电源向正比计数器(Multitron和Exatron)提供2150V电压,向
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