真空技术标准.docx

真空技术标准1.基础标准GB/T3163-2007 真空技术术语GB/T3164-2007真空技术 图形符号GB/T4982-2003真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分：夹紧型GB/T4983-2003真空技术 快卸连接器 尺寸 第2部分：拧紧型GB/T6070一2007真空技术 法兰尺寸GB/T6071-2003超高真空法兰GB/T77742007真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量GB/T111641999真空镀膜设备通用技术条件GB/T16709-1996真空技术 管路配件 装配尺寸GB/T18193-2000真空技术 质谱检漏仪校准GB/T19955.12005蒸汽流真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率(抽速)的测量GB/T19955.22005蒸汽流真空泵性能测量方法 第2部分：临界前级压力的测量GB/T19956.12005容积真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率(抽速)的测量GB/T19956.22005容积真空泵性能测量方法 第2部分：极限压力的测量GB/T212712007真空技术 真空泵噪声测量GB/T212722OO7蒸汽流真空泵性能测量方法 泵液返流率和加热时间的测量JB/T10901991J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T10911991JO型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T10921991O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T29651992溅射离子泵 性能测试方法JB/T40811991溅射离子泵 型式与基本参数JB/T40821991溅射离子泵 技术条件JB/T54101991低真空电磁压差充气阀 型式与基本参数JB/T59711992单级多旋片式真空泵JB/T64462004真空阀门JB/T65332005旋片真空泵JB/T68732OO5热偶真空计JB/T69212004罗茨真空泵机组JB/T69222004真空蒸发镀膜设备JB/T72652004蒸汽流真空泵JB/T74622005热阴极电离真空规管2.产品标准JB/T6446-2004真空阀门 JB/T6921-2004罗茨真空泵机组JB/T6922-2004真空蒸发镀膜设备JB/T7265-2004蒸汽流真空泵JB/T6533-2005旋片真空泵JB/T7674-2005罗茨真空泵GB/T19956.1-2005/ISO1607-1:1993容积真空泵性能测量方法第1 部分：体积流率（抽速）的测量GB/T19956.2-2005/ISO1607-1:1989 容积真空泵性能测量方法第 2 部分：极限压力的测量GB/T19955.1-2005/ISO1608-1:1993 蒸汽流真空泵性能测量方法第 1 部分：体积流率（抽速）的测量GB/T19955.2-2005/ISO1608-2:1989 蒸汽流真空泵性能测量方法第 2 部分：临界前级压力的测量 GB/T4982-2003真空技术 快卸连接器 尺寸 第 1 部分：夹紧型 GB/T4983-2003真空技术 快卸连接器 尺寸 第 2 部分：拧紧型 GB/T6071-2003 超高真空法兰JB/T6873-2005热偶真空计JB/T7462-2005热阴极电离真空规管JB/T7463-2005热阴极电离真空计JB/T7675-2005往复真空泵 JB/T10462-2004水喷射真空泵JB/T10463-2004真空磁流体动密封件JB/T10550-2006真空技术 真空烧结炉JB/T10551-2006真空技术 真空感应熔炼炉 JB/T10552-2006真空技术 爪型干式真空泵JB/T10553-2006真空技术 扩散硅压阻真空计JB/T10770-2007真空技术 液环真空泵验收规范JB/T10771-2007真空技术 复合分子泵JB/T1246-2007真空技术 滑阀真空泵JB/T6923-2007真空技术 真空 - 加压浸渍设备JB/T1246-2007涡轮分子泵3.分等标准JB/T53017-1999旋片真空泵 产品质量分等JB/T53014-1999单级多旋片真空泵 产品质量分等JB/T53015-1999低真空电磁压差充气阀 产品质量分等JB/T53016-1999往复真空泵 产品质量分等JB/T53018-1999罗茨真空泵 产品质量分等JB/T53019-1999油扩散真空泵 产品质量分等JB/T53020-1