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DX:X方向偏移量.DY:Y方向偏移量D:旋转方向的偏移量.X1:请参考次页说明.Y1:请参考次页说明.X2:请参考次页说明.Y2:请参考次页说明.MX1:底片靶点的重心在1#CCD区域内距中心X方向的距离.CCD有效区域中心MX1底片靶点底片靶点重心MY1CCD有效区域MY1:底片靶点的重心在1#CCD区域内距中心Y方向的距离.MX2:底片靶点的重心在2#CCD区域内距中心X方向的距离.MY2:底片靶点的重心在2#CCD区域内距中心Y方向的距离.WX1:PCB靶点的重心在1#CCD区域内距中心X方向的距离.WY1:PCB靶点的重心在1#CCD区域内距中心Y方向的距离.WX2:PCB靶点的重心在2#CCD区域内距中心X方向的距离.WY2:PCB靶点的重心在2#CCD区域内距中心X方向的距离.PE:PE= (底片靶点间长度 PCB靶点间长度) / 2 PE=( A B )/ 2PCB 2# 靶点重心PCB 1# 靶点重心BA底片2# 靶点重心底片1# 靶点重心ME:底片架设时与当前的靶点的长度差异 ME = (A B) / 2底片2# 靶点重心底片1# 靶点重心当前AB设定时底片1# 靶点重心底片2# 靶点重心Time:对位时间JE: 底片与基板之靶位间距, 判定是否曝光的范围曝光精度（以2CCD为例）1. 按分点中心对位 ( DX, DY, D)将基板及底片靶位的个别中心点位置的偏移量, 利用（X,Y, q） 3个分量表示, 且以个别分量为依据, 作为判断是否符合曝光条件. 若不满足, 则剔退或者重新对位. 例如: 设定JE值为5um 时, 表示必须满足: DX 5mm, DY 5mm, and Dq 5mm. 2. 按靶点中心对位以基板及底片的对位靶点中心的个别 X, Y 的偏移量为依据, 判断是否符合曝光条件. 若不满足, 则剔退或者重新对位. 例如: 设定JE值是5um, 必须满足 : X1 to X4 5mm, Y1 to Y4 5mm. 在靶位处的最大偏移量是 52 = mm PCB靶点中心 1# CCD有效区域 DD DY XDX 底片靶点中心 2# CCD有效区域 PCB靶点中心 底片靶点中心 底片靶
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