气体配管选料说明.doc

气体配管选料说明1 A$ h# s) Y l2 : f! ?6 b% ?一. 材料区分:! E: p$ e) u4 y/ m. X& 2 v0 P4 Z1. TUBE & PIPE(管件) G8 p3 i: k# M7 v2 O+ C$ n2. FITTINGS(配件)& B5 h4 B p , M3. VALVE(阀件)/ R- _$ 4 g! 4 E$ G3 L4. REGULATOR(调压阀)$ Y; a# P* m- Y3 H, _5. CHECK VALVE(逆止阀)# z7 F2 8 U0 F& H8 U3 c6. FILTER(过滤器)0 B; Z* g( H, X% A% _8 o6 _ Y% Z: Z7. VACUUM GENERATOR(真空产生器)+ C3 d. s) G8 A, c, h+ L( 8. 其它.9 C F. G5 & U+ w% ?( : 1 U( ?4 y7 h r二. 选料依据:) E z3 n8 z1 , r$ J: 6 i1. 依据使用气体种类及业主需求选定材料等级.(如316L BA/316L EP/316L VIM-VAR/C-22)- V& s7 q m. h/ Q8 2. 依据现场需求选定阀件尺寸.(1/4”;1/2”;3/4”)# y$ i2 V4 j2 Q! y! _+ w. U3. 依据压力不同选择料件型式.(一般主要区分高压及低压,GAUGE可另外选择其正负压力值,另流量亦需考虑是否足够)! q1 o2 |1 D, h1 4. 视盘面组装选择阀件接头型式.(MALE/FEMALE或VCR/SWG)5 3 K. i7 Z* i! Q 5. 有相同等级之材料符合上述条件时,应配合业务人员选择价格较合理者.& h: d5 B% 9 S5 P( J/ I8 M( ?- K0 T8 r* C- B/ |4 G7 s0 x5 c6 |三. 说明:, r& q0 c5 P9 O8 $ X V& K1. TUBE & PIPE选取: Z( G8 u: R/ 0 j+ * I习惯上3/4”以下的管称为TUBE, 1”以上称为PIPE(请参阅附表).其选取分为管径/材料及表面处理程度.5 Y/ w# q2 x% O& i; o 材料主要区分为SUS 304/SUS 304L及SUS 316/SUS 316L,其差异在于SUS 316增加钼(Mo)金属,改善其机械性质, L则表示材料降低含碳(C)量,增加含镍(Ni)量. R i3 : a0 T/ u7 H- M# E8 L W表面处理等级常用可分两种, BA (Bright Anneal)是经过表面研磨处理其Rmax4.5m, EP (Electro Polish)除了表面研磨外,再加以电解研磨其Rmax0.7m.另外管材(含FITTING)又因原始制程不同而区分为VOD/VIM-VAR,其中V+V为真空二重溶解超清净钢(美国航天工业发展之技术),其组织较为优良.气体配管选料说明1 A$ h# s) Y l2 : f! ?6 b% ?一. 材料区分:! E: p$ e) u4 y/ m. X& 2 v0 P4 Z1. TUBE & PIPE(管件) G8 p3 i: k# M7 v2 O+ C$ n2. FITTINGS(配件)& B5 h4 B p , M3. VALVE(阀件)/ R- _$ 4 g! 4 E$ G3 L4. REGULATOR(调压阀)$ Y; a# P* m- Y3 H, _5. CHECK VALVE(逆止阀)# z7 F2 8 U0 F& H8 U3 c6. FILTER(过滤器)0 B; Z* g( H, X% A% _8 o6 _ Y% Z: Z7. VACUUM GENERATOR(真空产生器)+ C3 d. s) G8 A, c, h+ L( 8. 其它.9 C F. G5 & U+ w% ?( 二. 选料依据:) E z3 n8 z1 , r$ J: 6 i1. 依据使用气体种类及业主需求选定材料等级.(如316L BA/316L EP/316L VIM-VAR/C-22)- V& s7 q m. h/ Q8 2. 依据现场需求选定阀件尺寸.(1/4”;1/2”;3/4”)# y$ i2 V4 j2 Q! y! _+ w. U3. 依据压力不同选择料件型式.(一般主要区分高压及低压,GAUGE可另外选择其正负压力值,另流量亦需考虑是否足够)! q1 o2 |1 D, h1 4. 视盘面组装选择阀件接头型式.(MALE/FEMALE或VCR/SWG)5 3 K. i7 Z* i! Q 5. 有相同等级之材料符合上述条件时,应配合业务人员选择价格较合理者.& h: d5 B% 9 S5 P( J/ I8 M( ?- * C- B/ |4 G7 s0 x5 c6 |三. 说明:, r& q0 c5 P9 O8 $ X V& K1. TUBE & PIPE选取: Z( G8 u: R/ 0 j+ * I习惯上3/4”以下的管称为TUBE, 1”以上称为PIPE(请参阅附表).其选取分为管径/材料及表面处理程度.5 Y/ w# q2 x% O& i; o 材料主要区分为SUS 304/SUS 304L及SUS 316/SUS 316L,其差异在于SUS 316增加钼(Mo)金属,改善其机械性质, L则表示材料降低含碳(C)量,增加含镍(Ni)量. 表面处理等级常用可分两种, BA (Bright Anneal)是经过表面研磨处理其Rmax4.5m, EP (Electro Polish)除了表面研磨外,再加以电解研磨其Rmax0.7m.另外管材(含FITTING)又因原始制程不同而区分为VOD/VIM-VAR,其中V+V为真空二重溶解超清净钢(美国航天工业发展之技术),其组织较为优良., f! ( k, a& Y; + Z2 u, f! ( k, a& Y; + Z2 u 5 a, m3 j* C b; e3 n7 u9 U2. FITTIN选取:& R A4 e$ s7 Z. F FITTING主要可区分为TEE/ELBOW/GLAND/NUT/CAP/REDUCER6 |( J. l/ T3 i s2 P D% i. y其选取以BENKAN型录作示范:$ q F* E; 4 d9 d6 iProduct Name Size Size for other side Type Specification Material5 j; J8 n 4 WSCM 4 0 E EP LE& u# & ?% N8 h) d2 k2 h. c# B1 ; K# hSCM: 表示BANKEN公司对FITTING的分类,是属于短接头MICRO型式,另有3 0 A0 s3 o& : f/ / 9 d8 SCL是长接头型示及SCF是较大尺寸(3/4”以上)之FITTING./ G9 1 W i8 _ n, h4: 表示尺寸为1/4”.6 P I, ; W- M% V/ 0 c4 r3 0: 表示另一端尺寸同前,为1/4”.2 p0 a: & n8 n) YE: 表示此料件型式为ELBOW(T: Tee, R: Reducer). ?. z% L$ i7 V v9 J& f5 l% EP: 表示料件表面处理等级为EP. # A+ z% A* I8 f h4 M1 _LE: 表示此料件为VIM+VAR等级之EP.8 H0 p1 $ D0 3 c/ R% A; & U另外FITTING又可分为三种不同规格,分别为一般 Type; VCR Type及SWG Type,一般型即为平时所见之焊接型式,VCR型为对接型式,可直接以GLAND+NUT锁上(Gland端仍需焊接), SWG型类似VCR型,唯其以SWG接头锁上,不需焊接.8 f. L r2 b: r$ P; I 一般组盘所用接头有两种,分别为VCR及SWG,其中VCR需锁1/8圈,SWG需锁1 1/4圈,方能有效锁紧.+ A* b U1 G; _: B x1 D! l(*. 一般气体使用之GASKET为Ni材质,CO对Ni具侵蚀性,故CO所用之GASKET必须为SUS系列材质.)$ j) a) B( b6 j- p/ 9 M9 I(*. VCR接头一年之泄漏量约为一立方公分)6 R+ W/ i8 y& - p$ y- n* Q) e! r. g0 F4 V5 S2 |: q; k3. VALVE选取:1 Q- i) m+ , P f$ n5 A1 rVALVE一般分为BALL-VALVE(球阀)/BELLOWS-VALVE(风箱阀) & DIAPHRAGM-VALVE(膜片阀),另外又因作动方式区分为MANUAL-VALVE & AIR-VALVE.0 e0 I+ K5 : T) f其选取以BENKAN型录作示范:1 z q; O) r/ KModel Operating system Pressure rating Connection size Other special specificationsX9 f5 M- U# P Valve size Type of valve Connection type Material of sheet6 5 W/ B0 C$ S9 Z2 F, O% bIIID 4 M S H - V C - ; u0 q a) n; j9 ! hIIID: 表示此为BANKEN Moder 35之Diaphragn Valve.: N- m) X% s4 _ D; D8 O4: 表示尺寸为1/4”.# - x6 # c! D% U% _ M: 表示其操作方式为手动旋转1800 控制开关(C表气动阀).0 W# I; n7 H e% K+ _S: 表示此阀出入端成一直线,没有分岔及角度.5 N7 t0 H/ Q4 X1 C% C, C( / X H: 表示为高压(压力超过10kg/cm2)用阀(没标H即为低压阀). t) C+ # z- g; F! z% BV: 表示两端接头为VCR Male(VF: Female).& i G; e6 : E# t) U) V7 C: 表示膜片座的材质为PCTFE(铁氟龙).& S! L7 7 O# u7 ; z! + L5 x7 Y/ Q m/ z4. REGULATOR 选取:/ B) M5 r z4 ?/ d9 J% b- REGULATOR之用途为调整出口端之压力值,一般分高压与低压选取,但尚有高流量型式可供选取,另外可依表头 (Gauge)需求加以搭配成单表或双表.目前大部份之调压阀其材质均为EP以上.! W y W2 D8 f) B其选取以TESCOM型录作示范:, H% j# G8 M7 s8 ! U i74 24 6 2 K A 4 1 0# x y J: q9 V- f) T 74-24: 表示此调压阀之等级1 o8 M, Q. E0 v$ a* D/ D$ 6: 表示本体材质为316L VIM+VAR.- n7 y+ Y, p b F2: 表示出口端压力范围为1-100 PSIG(1-6.9 bar)7 T$ d0 - k2 S0 x7 M K: 表示顶针座的材质为PCTFE,耐热范围是-400C-+930C+ L% h; U% L# u j, m S8 Q& XA: 表示进出口端之尺寸型式,在此指高洁净度之VCR Male接头.# K) g, s9 T* I; f. f; M9 d P 4: 表示入口与出口端之尺寸及型式(可由此求得阀件两端之距离).7 j* _; g( G 2 c1: 表示入口端之最大容许压力,在此为3500psi.+ 6 N |2 y4 S, b) j0: 表示表头配置及接头型式,此处为无表头.3 R4 w- i* X3 E0 : w/ O+ M4 d0 d3 C Z5. CHECK VALVE 选取:+ r5 A# u1 D: B# CHECK VALVE为逆止阀,其功用为防止气体回流,选取主要依据其尺寸及两端接头型式决定(若是泄压阀则须考虑其泄压之Range).3 H1 A k8 M( l 其选取以NUPRO型录做说明:4 Q9 D2 _; y+ v7 k3 A! a+ q6 L - C W 4 V R 4, L7 U/ Q) y) q5 G6L: 表示材料为SUS 316L., D+ Z! B& J, P7 gCW: ALL WELDED CHECK VALVE即为NUPRO对CHECK VALVE之代码.- e+ |1 k6 P W9 7 Y c4: 表示CHECK VALVE之尺寸为1/4”.; i V: c3 s# c6 1 |% Y VR4: 表示接头为1/4” VCR Male.1 _: o: * C1 S5 h% O( D(* NH3必需使用特殊之CHECK VALVE,否则会造成其内部结晶堵塞,代替之型式为一般型号后加AF,表示其内部材质为AFLAS.)# Y$ x8 * v5 + _8 e; R+ ?6. FILTER 选取:( p i E/ J+ x8 O$ tFILTER之功能是过滤气体中之Particle(与Purifier之纯化气体功能不同),选取要注意其操作压力/接头型式/材质/过滤等级及流量大小,压力一般区分高压及低压,接头分VCR/SWG/WELD,材质主要有SUS/NI及PTFE,过滤等级可选择0.01um/ 0.03um/ 0.003um等,流量则有一般流量及大流量之区别.8 I5 L( P ! v( z$ N其选取以MILLIPORE型录做说明:4 I c# d+ a- f( |0 Z, D WG 2 F T1 RR 26 Y7 W8 R/ S6 R1 YWG: 为MILLIPORE Wafergard III Gas Filter 之代称. T2 T5 K* Q# N2 - i/ u2: 代表是MILLIPORE第二代之产品./ n& E1 D1 W% H* LF: 表示其材质为PTFE铁氟龙(N: NI, M: SUS-316L).% T! S* r) E- u; E9 T2 oT1: 据其业务表示没特别意义.5 j6 : B! R& 8 a) h9 b& z, RR: 表示进出口端之接头型式为VCR Male(S: SWG, J: WELD)., T! D2 ?3 y4 j0 X% X2: 表示其尺寸是1/4”.) U6 ( a/ W, n- C% R* _ g& _& i# H2 v7. VACUUM GENERATOR 选取:$ r& S: A _5 f0 4 vVACUUM GENERATOR主要用于VMB或G/C上作为Vent抽气使用,一般说来使用场合不多,其厂牌亦较少,选取主要依据接头型式及尺寸作选择,8 _; l0 F4 a3 g. l I* _其选取以APTECH型录做说明:5 ) i$ a: b / g: + QMaterial Ports N2 Inlet Vent Vacuum |6 F2 g5 o3 Q0 l% # T a( b4 Setrise AP7 S 3PW FV4 FV4 FV4: p* F* R/ S3 n, Z1 B, _ K$ A! PAP7: 表示为APTECH之VACUUM GENERATOR.4 O* f7 I& U- 0 , S: 表示材质为Stainless Steel 316L.- M+ y5 E7 2 _) R9 # m* |3PW: 表示有三个Ports./ & : a0 M& YFV4(1): 表示 N2 Inlet端之接头型式,为1/4” VCR Male.! P0 E- C7 V& FV4(2): 表示 Vent端之接头型式,为1/4” VCR Male.1 T o# E3 T/ uFV4(3): 表示 Vacuum端之接头型式,为1/4” VCR Male.8 - v I, - _4 m: t2 K(*. 其抽气压力约为4060 Tor约为48psi)& b+ o% p C* a+ U& W) m8. 其它材料:4 L- V3 n$ k+ c K* d 除以上介绍之材料外,气体配管上还有许多其它较少使用之料件(如Transducer/ Scale/ Cylinder Connector),若有兴趣,可径向设计部查阅型录等相关信息,或于工作上有机会接触时,再向资深人员请教即可.3 M; m8 O% n, s. O) - Gx3 O% 2 M+ d+ L四. 附件:/ c! o6 E3 p9 N& n1 i . d( P以下提供常用阀件供应厂商之联络电话,以备型录数据不全时可供电话查询:& E: 6 F% a2 T9 # z) R5 _: * w9 D/ n1. Millipor