RC-FI-OI06 A.0 真空系统操作规范.doc

文件编号Doc. No.RC-FI-OI06版本Ver.A.0页次Page3 of 3文件名称Doc. Title真空系统 操作规范Operation Criterion of PV system生效日期Effective Date版别VER日期DATE撰写者ORIGINATOR变更要旨DESCRIPTIONA.02011.06.08曾武阳新增 Newly Created核准APPROVED发行章ISSUED STAMP1. 目的为规范真空系统操作人员的技术操作和安全行为，确保系统正常稳定地运行，而采取必要措施并加以管理管制，特制定本程序。2. 范围 适用于真空系统的操作。3. 权责 3.1制造单位：高真空使用单位及协同管理运作与执行。3.2厂务单位：负责真空系统日常运行点检及维护保养工作。4. 定义真空泵是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用。在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感，广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。5. 内容 5.1操作前作业5.1.1检查真空泵支座所有固定螺丝是否都已上紧、定位、连轴器传动有无损坏。5.1.2检查配电箱控制电器有无损坏，电器接线端子有无松动，否则应更换上紧。5.1.3 冷却水回收水泵打开至自动状态，确认回收水箱没有漏水。5.1.4 确认真空桶的排水阀已关闭，冷却水压力1.5kg/cm2，泵头的冷却水阀和真空管道阀处于打开位置。5.1.5以上动作完成后方启动真空泵。 5.2 设备操作说明 5.2.1真空泵手动：当该真空泵在一用一备时，由操作人员切换选择开关至手动位置，按下真空泵、冷却水阀和真空管道阀启动按钮，真空泵即启运转。 停止：由操作人员切换选择开关至停止位置，即可停止。自动：当该真空泵在二台同时使用时，由操作人员切换选择开关至自动位置，按下启动按钮,真空泵启动运转,冷却水及真空管道阀延时5秒后打开,真空泵进入自动运行. 5.3 操作顺序 1.打开冷却水2.打开真空管道阀3.启动真空泵 4.真空泵正式运转 5.4 关闭程序 1.关闭真空泵 2真空泵完全停止后3.关闭冷却水4.关闭真空管道阀 off Valve5.打开真空桶底部排水阀,泄放残余真空,排出桶槽存积液. 5.5 系统启动后检查项目5.5.1 检查真空泵马达是否有杂声或异常震动。5.5.2马达运行电流是否在规定范围内。 5.5.3 真空泵头是否发热,冷却水回收水箱液位是否正常。5.6 真空系统维护保养规程 5.6.1真空系统组员根据真空系统保养计划做好设备保养。5.6.2当值人员巡查发现系统设备故障，应立即进行切换维修，并报告主管管理员。设备维修过程所要更换的零件，必须做详细记录。5.6.3 根据系统设备的特点，定时给马达轴承加注黄油或更换轴承、调校联轴器、紧固螺丝等工作。6.参考文件 Reference6.1 文件管制管理程序(RB-DC-GS01)6.2 记录管理程序(RB-DC-GS02)7. 附件 Attachment 7.1 PCW/PV系统每日点检表 RC-FI-OI06-017.2 PCW/PV系统定期检查表 RC-FI-OI06-027.3 设备维护保养记录表RC-FI-OI06-03 本资料为瑞世逹科技(厦门)有限公司专有之财产,非经书面许可，不准透露或使用本数据，亦不准复印、复制或转变成任何其它形式使用。The information ontained herein is the exclusive property of Ray-Star Technology (Xiamen) INC. and shall not be distributed reproduced, or disclosed in whol