雷妮绍激光干涉仪的使用.ppt

雷尼绍激光干涉仪的使用 设备部 杜康 第一步 激光干涉仪的安装 三脚架的固定 激光头的安装与固定 补偿器XC 包括环境空气温度传感器和工作台表面温度传感器 的安装与固定 激光头和补偿器通过数据线与计算机的连接 激光头电源线的连接 现场演示 按下激光头电源按钮 预热5 6分钟 直到指示灯变为红色表示预热完成 找到 开始 RenishawLaserXL 线性测长 单击打开雷尼绍测量软件 机床预热 机床各轴在匀速状态下运转10分钟左右 第二步 激光光路对正 见附图 掌握干涉镜和反射镜的安装方法 根据测量轴的不同 安装方法有所不同 注意观察箭头所指方向 激光从箭头尾部射入 将机床各轴原点复归 微调方式下 调整干涉镜和反射镜的位置 使两者靠近 目测能够尽量上下左右对齐 移动三脚架使激光头的光源穿过干涉镜 此时能够看到2个光点 微调方式下 调整机床侧使2个光点重合 转动激光头 观察激光头上方的LED灯点亮情况 5个全亮最好 微调方式下 将测量轴远离干涉镜 直到LED灯只剩一个时停止移动 此时调整激光头的各个微调旋钮等 直到将光路再次调整到5个LED灯全亮 微调方式下 将测量轴再次远离干涉镜 重复第7 步 直到测量终点处 此时 反向摇回来 观察LED灯 保证到起点处均保持5个LED灯全亮 若不能满足 则继续调整至全亮 第三步 机床程序编制及参数设定 编制测量运行程序 根据测量轴和测量行程修改相应程序 坐标系中 G54中将对应轴清0 模式打到 程序运行 倍率打至0 第四步 软件设置 采集来自环境空气温度值 物体表面温度值 物体膨胀效应补偿 不带光栅尺的为11 7 带光栅尺的为8 0 点击软件最左边第一个工具 进入设置对话框 采集数据设定第一项 设置第一定位点 最终定位点 间距值 完成后进入下一项 采集数据设定第二项 定位方式选择 线性定位方式 测量次数一般设为2 选择方向为 双向 其他不变 点击进入下一项 采集数据设定第三项 填写 机器名称 轴 等信息 采集数据设定第四项 越程量大小改为 0 0000mm其他保持不变 点击完成设定 第五步 执行测量程序 打开倍率旋钮开关 将程序中第一步的1mm余量走完后 再次关闭倍率旋钮 软件清0 注意正负号 打开倍率旋钮 即可自动执行程序采集测量数据 绘制测量曲线 等待程序执行完毕后 按 回车 键结束 机床侧按 RESET 键结束程序执行 第六步 分析测量数据 点击 分析数据 进入数据分析窗口 点击 分析数据 选择一个标准 点击进行曲线分析机床的各项指标 若检测下来机床的精度需要提高 则可按照当前检测结果进行补偿 点击 误差补偿图表 弹出误差补偿表格窗口 图表类型选择 均值补偿 补偿分辨率设为1 正负符号转换选择 补偿值 参考点位置为0 0000mm 补偿起点和补偿终点依情况而定 补偿间隔为20 0000mm 点击 绘制误差补偿图表 按照均值补偿值对机床进行补偿 若发现补偿值中有数据大于8 则需修改第4 步的补偿分辨率进行调整 同时 机床参数3623也要做相同修改 重新生成补偿值再补入机床 补偿时 注意 20mm对应位置 按照均值补偿表从下往上依次补入 补完即可 参考参数3620 重新测量之后 观察测量曲线变化情况 与未补偿前的测量数据进行对比分析 观察补偿后的机床精度是否有所改善 第七步 输入补偿值之后 再次测量 注意及时保存需要的测量数据 附录 激光干涉仪加工中心测量程序 X轴 O0400G0G90X1 主程序 G4X1 X0 G4X4 M98P0401L14 X 1 G4X1 X1