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文档简介

潍坊学院教案课 题真空的获得与测量课 时6教学目的与要 求目的：1、了解真空泵、真空计的工作原理。2、了解真空泵的结构和操作方法要求：掌握低真空、高真空的获得、测量的方法教学重点与难 点重点：真空泵、真空计的工作原理。难点：仪器的操作方法。教学过程主要内容及步骤备 注一、 原理（一）真空的获得真空泵1、机械泵：利用机械的旋转造成吸气、排气过程以获得真空。机械泵的极限真空度为：注意事项：防止机械泵油倒渍。1、 油扩散泵：工作范围：。通常以机械泵作为扩散泵的前级泵。注意事项：真空度达方可开扩散泵加热器。2、 低温吸附泵利用固体表面温度足够低时可吸附气体分子的原理而制。可达的真空度3、 离子泵：利用正离子对钯原子的轰击，钯原子在沉积至阳极的过程中，将真空室内气体分子湮没的原理而制。可达的真空度（二）真空的测量真空计1、 热电偶真空计低真空的测量2、 电离真空计高真空的测量注意事项：当真空度低于时，不能接通电离真空计， 因为过高的离子流将烧毁电离规管。二、 实验内容1、 低真空的获得与测量2、 高真空的获得与测量3、 结束授课效果分析总结加强分析各
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