铸锭测试题.docx

一、填空题10*21.气体模式下，最大压力值（900mbar）；真空模式下，最大压力值（5mbar）。2.DSS炉最大允许温度（1575）；最大温度允许持续时间（120秒）。3.气体模式下，压力误差值（200mbar）。4.太阳能级硅的固态和液态的密度分别（2.33）g/cm3（2.53）g/cm3。5.测量炉腔压力的两个压力计量程各为（11000），（01）。6.从能量转换角度来讲，硅熔化过程是（吸热），长晶是（放热）。7:DSS炉有几种工艺报警（熔化结束报警）（中心长晶报警）（边角长晶报警）（冷却结束报警）。8.热传导方式有哪几种（热辐射）（热对流）（热传导），多晶铸锭炉的热传导方式以什么为主（热辐射）。9.多晶铸锭工艺过程中温度控制模式是从（熔化的第一步）到（退火的第二步）。10.多晶铸锭炉铸锭工艺过程中，从（加热第一步）步到（熔化第一步）步是真空模式。二、选择题：（15*2）1.电源最大功率是（A）。A.165KVA B.163KVA C.160KVA D.168KVA2.Ar流量误差最大报警值是（A）。A：10% B.15% C.12% D.20%3.炉自动运行中断水多少秒后会关闭加热器（C）。A：5S B.10S C.20s D.30s4.TC2允许的最大温度为（A）。A：1600 B.1550 C.1570 D.15755.加热跳转到熔化的条件是（B）。A：TC1=1170 B.TC1=1175 C.TC2=1170TC2=11756.炉子在运行中TC管路压力低于多少说明存在泄露（A）。A.900mbarB.950mbarC.1000mbarD.920mbar7.暂停多少分钟会报警提示（C）。A：20B.15C.30D108.观察孔不在原位多长时间（min）会报警（B）。A.15B.10C.20D.309.罗茨泵在压力为多少mbar时打开（D）。A：20B.30C.40D.5010.V1阀在压力为多少mbar时打开（C）。A：100B.150C.200D.25011.哪个热电偶控制炉运行（A）。A：TC1B.TCOTC.TC2D.PYRO12.检查真空泵油位高是否符合标准，实际的油位应在（A）。A:1/3h2/3B：h1/3C：h2/3D：1/3h3/413.测长晶时我们的视线与石英棒上端的扎带（D）。A：俯视B：仰视C：斜视D：平视14.在预抽真空前，泵应预热（A）分钟。A：10B：20C：30D：4015.运行中F6水温曲线变化在哪个阶段最明显（C）。A：加热阶段B：溶化阶段C：长晶阶段D：冷却阶段五、简答题（6*5）1.多晶铸锭炉TC1失效后如何处理？答：TC1失效，温度显示超过1575引发120秒断电倒计时。一般TC1失效不会引发断电，处理是先尝试复位，复位无效后选择好对应配方的功率曲线引用即可，但TC1失效后温度显示高于1575会引发最大温度紧急报警，此时若不立即处理120秒后DSS炉会自动切断电源。我们可以在这120秒内立即拔出TC1外部接头进行短接或立即引用功率曲线运行，DSS炉会停止倒计时。2.多晶铸锭炉在装料前，需要做哪几项检查？答：1：确定有无报警，2：检查水流是否偏低。3，检查真空泵是否缺油。4检查加热进区：螺栓是否松动，六个电极是否正常，有无烧坏，溢流线和溢流棉是否完好，TC2氧化锆管是否开裂，加热区是否清洁等，5，recipe和主参数值是否对应正确3.如何判断中心长晶和边角长晶结束？答：中心长晶触发报警值pyrometerslopetrigger6，在曲线图像上能清楚地看到高温曲线上升，并在meltandgrowthendscreen上也能看到高温曲线上升，另外在炉盖上观察窗，查看是否中心长晶结束再决定是否延时，及延时的时间。而边角长晶报警在曲线上能看到功率曲线有明显的上升，并在meltandgrowthendscreen也能看到功率曲线上升，一般情况，上升后平稳就可以结束边角长晶。4.DSS450多晶铸锭炉SPILL报警后如何处理？答：当发现报警后我们可以根据当前的阶段判断是否直接紧急冷却。当前阶段若存在硅液应立即紧急冷却，若不存在硅液则为假报警，一般为模块或线路故障，但DSS炉同样会5秒后进入E-cool，此时我们可以连接上加热器，将E-cool步骤的参数修改成当前步骤的参数，保证DSS炉温度不降，等电工修复后再跳回运行的时的步骤。5.简述DSS450多晶铸锭炉F1到F8各自冷却的部位和报警值及紧急报警值。答：冷却位置报警值紧急值F1F3三组加热电极75F4上炉腔上部和顶盖75F5上炉腔主腔室75F6下炉腔上部2015F7下炉腔下部2015F8真空泵和出气管道426.长晶阶段长晶速率过慢可以通过那些措施调整？请用示意图描述正常长晶曲线。答：长晶阶段速率过慢一般有以下措施：1）逐步提高offset（降低配方温度）；2）提高隔热笼高度；3）还可以结合提高offset（降低配方温度）和提高隔热笼位置。五、论述题（1*20）在我们的研发过程中常会遇到一些研发技术问题，或者生产过程的问题；作为研发