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文档简介

1 保密 线碱制绒良率改善 当前状况 2 从8月份的数据来看 1 2线碱制绒的良率与目标有1 的差异 主要贡献在Q2 Q4 低功率和制程破片上 3 原因分析 98 4 Q2 Q4 碎片 低功率 绒面不良 水痕 来料气孔 少片 制绒漂片 机械手摔花篮 浆料污染 印刷不良 PECVD没有有效隔离 人为导致绒面不良 人为碎片 扩散工艺不稳定 刻蚀 未刻好 丝网工艺卫生 低功率中Q4 出烧结后掉片子 PSG扩散面放反 探针压碎 丝网隐裂 丝网隐裂 延时 刻不动 操作员经验不足 操作中接触绒面 手套脏污 没检查外观 对外观标准不明确 工艺调试 线痕片 漏浆 粘碎片 台面有异物 网板纸异常 顶杆子异常 台面不平整 花篮太轻 40批后气泡多 浮力大 机械手异常 花篮漂动 操作技能欠缺 不按要求操作 工作态度不端正 无防呆标识 扩散面不易区分 方阻异常 掉偏磷酸 测试处有碎片 片子走歪 台面有异物 台面不平整 顶秆异常整 过刻 未刻透 未清理 浆料交叉污染 测试速度慢 内部隐裂 未按要求做工艺卫生 工艺不稳定 技能欠缺 4 改善内容 1 Q2的改善 5 改善内容 1 Q4的改善 6 改善内容 3 碎片的改善 7 改善内容 4 低功率的改善 1 工序组长 班长对改善内容每日检查 2 各班长于每周日给出产线问题汇总 3 对产线问题

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