氦检仪有关介绍.doc

合肥皖仪科技有限公司公司介绍一、 公司介绍安徽皖仪科技股份有限公司位于合肥市高新技术开发区华亿科学苑皖仪大厦，注册资金4500万元。皖仪科技是一家专业从事质谱与真空产品的开发、生产、销售的科技型企业，是国家科技部中小企业技术创新基金和国家重点新产品计划项目承担单位。2004年12月，皖仪科技被安徽省信息产业厅认定为软件企业。公司现已通过ISO9000质量体系认证，被信息产业厅认定为双软企业和高新技术企业。2007年公司列入合肥市科技创新型试点。公司现有员工700人左右，技术与管理人员93名，平均年龄35岁，是一支年轻而富有朝气的团队。研发人员200多人，本科以上学历占公司员工总数的90%以上，科研人员占42%。公司生产用地8000多平方米，拥有先进的各类生产设备、检测仪器和专业技术人员。优越的基础条件和高素质的研发、管理队伍为公司今后的发展奠定了基础。另外，公司采用国际集优化的采购原则，设备关键元器件均采用国际知名品牌，确保了产品的可靠性和稳定性，在行业内受到广大用户的高度赞誉。通过多年的努力，我公司氦质谱检漏仪及真空箱检漏系统等产品自2006年起年销售量已居中国第一。公司近年来发展迅速，市场占有率快速提高，客户遍布航空航天、军工制造、科研等各行业，皖仪科技现已成为业内广大用户的首选品牌。二、 经营情况目前，皖仪科技业已形成了以公司营销部为主体，北京办事处、上海办事处、广州办事处、深圳办事处、沈阳办事处、西安办事处、成都办事处为主干的营销网络，公司产品市场开拓状况良好，全自动氦质谱检漏系列产品现已行销到全国每个省市自治区，年市场占有率全国第一。三、 研发情况我公司成立以来，一直从事检漏设备的研发、生产、销售，成功研发了全自动氦质谱检漏仪系列产品、真空箱氦检漏系统、真空计等一系列真空产品。全自动氦质谱检漏仪专利号：ZL 2004 2 0024777.3。其中全自动氦质谱检漏仪获2004年国家科技部创新基金支持，2005年被评为国家重点新产品，2006年被评为省级重点新产品，2006年公司被评为高新技术企业，2006年全自动氦质谱检漏仪通过国家科技部的验收，2006年全自动氦质谱检漏仪被评为国家火炬计划项目。公司研发中心现有研发人员200多名，全部具有本科以上学历，其中硕士以上学历一半以上，高级工程师50名，是一支从事光机电一体化设备研发多年的专业化研发团队，涵盖真空、电子、机械、软件、物理等领域，先后获得各项国家专利和行业技术创新成果。同时公司与中国科技大学、合肥工业大学等单位建立了紧密的产学研合作关系，具备了较强的研发能力和技术创新能力。四、 企业成果l 2004年被安徽省信息产业厅认定为双软企业；l 2004年全自动氦质谱检漏仪获专利，专利号：ZL 2004 2 0024777.3；l 2004年全自动氦质谱检漏仪获国家科技部中小企业创新基金立项；l 2005年全自动氦质谱检漏仪顺利通过国家科技部验收，并被列入国家级重点新产品；l 2005年通过ISO9001认证（注册号：03805Q10531R0M）；l 2006年全自动氦质谱检漏仪通过安徽省科学技术厅科学技术成果鉴定；l 2006年全自动氦质谱检漏仪被列入安徽省重点新产品；l 2006年四级质谱仪获专利申请号：200620074628.7；l 2006年真空箱检漏回收系统通过市创新办立项；l 2006年全自动氦质谱检漏仪通过省发改委立项；l 2006年全自动氦质谱检漏仪（国家火炬计划项目）通过国家科学技术部立项；l 2007年公司列入合肥市科技创新型试点。产品优势l 逆流法检漏模式使得灯丝寿命更长l 采用液晶屏显示，通过触摸方式操作，达到国际先进技术l 采用新型进口复合性分子泵提高了抽气速率，改善了氦本底的清除时间，有效防止氦污染l 180扇型偏转磁场的质谱室设计，提高了检漏仪的稳定性l 电磁阀组合阀座的设计减少了连接管道，缩小了体积，使产品更可靠l 全自动控制操作模式，使用更方便、快捷l 按下调零键既可快速清楚氦本底信号l 离子源内双灯丝自动切换，灯丝为钇丝涂氧化钇，使得离子源寿命更长久l 进口放大器的使用，提高了放大器的性噪比，从而提高了检漏灵敏度l 机械部件和电气、电子部分严格分开，避免了电磁场和温度的干扰，让仪器运行更可靠l 故障诊断信息提示，使故障判断变得容易l 电气部件的模块化设计使得维护更方便l 外观简洁大方，结实牢固具体型号见下页 SFJ-231型氦质谱检漏仪（15.8万）产品介绍：SFJ-231型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上先进水平。主要技术指标：最小可检漏率：510-12Pam3/s漏率显示范围：110-3110-12Pam3/s启动时间：5min响应时间：1s检漏口最高压力：1000Pa极限真空：510-4Pa外型尺寸：900(W)560(D) 650(H)性能特点：操作简单，通常只需两键（检漏和放气）进口的多口分子泵双灯丝自动切换自动调零自动校准 自动量程切换 主要配置：莱宝复合型分子泵 莱宝机械泵宝蒂电磁阀 美国AD放大器内置标准漏孔 SFJ-211型氦质谱检漏仪（13.8万）产品介绍：SFJ-211型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上先进水平。主要技术指标：最小可检漏率：510-12Pam3/s漏率显示范围：110-3110-12Pam3/s启动时间：5min响应时间：1s检漏口最高压力：1000Pa极限真空：510-4Pa外型尺寸：900(W)560(D) 650(H)性能特点：操作简单，通常只需两键（检漏和放气）进口的多口分子泵双灯丝自动切换自动调零自动校准 自动量程切换 主要配置：瓦里安70型复合型分子泵 莱宝D8C机械泵宝蒂电磁阀 美国AD放大器内置标准漏孔SFJ-261型氦质谱检漏仪（18.8万）产品介绍：SFJ-261型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上先进水平。性能特点：操作简单，通常只需两键（检漏和放气）进口的多口分子泵双灯丝自动切换自动调零自动校准 自动量程切换主要技术指标：最小可检漏率：510-12Pam3/s 漏率显示范围：110-3110-12Pam3/s启动时间：5min响应时间：1s检漏口最高压力：1000Pa极限真空：510-4Pa主机尺寸：560（W）460（D）300（H）主要配置：进口复合型分子泵爱发科机械泵宝蒂电磁阀美国AD放大器内置标准漏孔 氦质谱检漏仪的工作原理氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器其质谱原理如图所示。接收器离子源磁场轻离子重离子氦离子氦质谱检漏仪的质谱学原理灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径 式中R 离子偏转轨道半径（cm） B 磁场强度（T） 离子的质（量）（电）荷比（正整数） U 离子加速电压（V）由上式可知，当R、B为定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。氦质谱检漏仪的检漏方式氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。机械泵进气口氦检漏口质谱室分子泵分子泵进气口机械泵分子泵出气口机械泵出气口分子泵进气口逆扩散的气体被抽出的气体逆扩散原理逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，SFJ-231/241型氦质谱检漏仪可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命产长等优点，具体方法请看下页常用检漏方法检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，基本上有五种检漏方法。1、 喷吹法-确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。下图是喷吹法原理示意图。装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。2、 吸入法确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。被检件装有氦气的压力容器吸枪检漏仪漏孔3、 钟罩法测总漏率将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，最终达到质谱管被检测（图l6）。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。装有氦气的压力容器罩被检件漏孔检漏仪可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。4、 背压法测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。图17为背压法检漏示意图。检漏仪压入氦的被检件密闭的容器漏孔5、 辅助真空系统检漏仪辅助机械泵阀对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若