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简述细菌在超纯水设备运行中影响与防治1、 细菌的繁殖对半导体产品的影响半导体工业大规格集成电路生产过种中的晶片加工、制罩、成膜工程、照相制版工程、刻蚀工程及其他(工模类的洗净)各洗净工程都用高纯水除去残留晶片表面的药品和微粒子等，超纯水设备制取出纯水中若有离子、微粒子、微生物、有机物等，对晶片中的氧化膜、多结晶膜、配线等有不良影响，会造成晶片的电气特性不可靠。例如，细菌的主要成份为碳、磷、钾等，如果它附着晶片表面而烧成，会因碳析出而短路;磷(五价)扩散会使P型、N型半导体异常。在高纯水制取过程中除去的离子成份、胶体物质、溶存气体、微粒子及微生物中，微生物(即纯水中的细菌类)是纯水中唯一会增值的杂质，有藻类、线状菌、酵母、放线菌、细菌类等。前四者因为要求营养只存在于线水制造过程中的一次纯水之前，一次纯水以后细菌类是唯一的微生物。经过精混后电阻率达到18兆欧的高纯水中可增值的细菌大都是Gram染性阴性的，在几乎没有营养源的高纯水中细菌也可以充分繁殖，对半导体工业的产品产生影响，降低成品率。其主要影响有下面三点：1、成巨大粒子而突起使图案缺损，成异物而有损表面的平滑性。2、SiO2膜的铝膜之类被著膜的接著性劣化。3、搅乱以相当于ppm的atoms/cm3级控制的不纯物P、Na、Ca、Cu等的浓度。2、细菌在纯水制取过程中的影响与对策高纯水中细菌的繁殖不仅导致半导体制品成品率的下降，同时也给高纯水制取的运行管理带来很大的困难。接触空气、未经杀菌的进水、药剂、器皿等都会使细菌进入纯水系统，系统中的树脂间隙、纤维素膜(反渗透膜、超滤、微孔滤膜)表面、水箱和管道死角都是细菌积聚和繁殖的场所;在树脂间隙中或膜面繁殖细菌的结果，可能导致树脂交换性能的降低和膜结构被破坏，即影响水质，又降低产水量，树脂和膜的使用寿命缩短，运行成本增加，因此，在纯水制取各个环节都必须采取必要的杀菌措施，以保障整个系统的最终杀菌效果。而纯水制取过程中所采用的膜(反渗透膜、超滤膜等)都属于醋酸纤维素膜，尽管其本身有好的除菌效果，但经过长期使用后，细菌就会侵蚀这些膜，污染并恶化水质，使产水量下降。反渗透膜出水中细菌超标，导致后面混合离子交换柱的树脂也受到污染。因为细菌等微生物附着于离子交换树脂表面，降低了树脂交换容量，堵塞树脂层孔隙，引起压力增加，造成树脂结块。细菌主要污染阴离子交换树脂，使其交换容量下降，再生剂耗量增大，出水水质恶化，缩短树脂使用寿命。针对这一情况，可在前面加入次氯酸钠进行杀菌，由于反渗透装置出口水中残留氯直接流入后面离子交换装置，若余氯超标会对树脂起氧化破坏作用，导致离子交换树脂的交换基分解或架桥切断，体积膨胀，树脂母体会溶出高分子有机物，此种高分子有机物会吸着于彼此的树脂，招致有机物污染，树脂的交换容量降低，出水水质变差;因此，在添加次氯酸钠杀灭细菌时，一定要控制次氯酸钠的加药量，以免余氯超标导致离子交换树脂被氧化分解。通常树脂进水中游离氯含量要求小于0.1mg/l，反渗透膜进水要求游离氯含量为0.2-1.0mg/L，因此决定控制反渗透装置进口余氯为0.5mg/L.在高纯水制取过程中，为了控制细菌繁殖，除了在反渗透膜入口添加次氯酸钠溶液外，还需注意以下几点：1、次氯酸钠添加量应根据水源中细菌数进行相应调整，除了定期对细菌数进行检测外，还应对混合离子交换柱入口游离氯进行检测，以免游离氯超标，影响树脂的正常运行。2、注意用水点旋塞的污染，使用频率较小的旋塞容易成为微生物污染的对象，一旦污染，若不长时间放水冲洗，无法恢复原状态。3、市售次氯酸钠溶液容易氧化分解，若使用时间过长或系统逢节假日停运时间较长，除了从水箱放水让反渗透膜隔一段时间运行数小时、使系统保持活性外，也要对次氯酸钠溶液适时进行更换