UJ-PMD-WI-014 蚀薄铜线作业规范.doc

文件类别Type：作业指导书Work Instruction文件名称Name：蚀薄铜线作业规范文件编号Code版本号Revision页数PageUJ-PMD-WI-014A/010/10WI修正摘要：WI Modification Summary版本Rev.更改说明（粗斜体部分为今次修改之处）Description( The bold, italic places are amended)制订人Initiator生效日期Eff. DateA/0首次编制、发行Initial Organization, Issue张俊2011/11/7编制 Initiator： 审核 Auditor： 批准 Approval： 内部控制文件，严禁以任何形式全部或部分复制。Internal document under control is prohibited from being partially or entirely duplicated in any way.1.1目的：1.1.1 针对宇宙蚀薄铜线的操作细节及保养规范，详加说明使作业者能在短期内获得作业技能，达成成品质量及效率的要求；1.1.2建立详细的设备操作作业规范及保养规范，籍以稳定产品品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据；1.1.3 在正确的使用及维护说明下，确保设备使用寿命；1.1.4 此份文件同时也是本岗位新进员工培训之教材。2.1适用范围：2.1.1适用机型：宇宙蚀薄铜生产线2.1.2适用制程：本规范适用层压课宇宙蚀薄铜线制程，凡操作本设备之人员均需依此规范。2.1.3适用原料及尺寸：2.1.3.1适用PCB尺寸： 2.1.3.1.1最大：610mm*625mm2.1.3.1.2最小：230mm*230mm2.1.3.1.3厚度：0.3mm5.5mm(不含铜)2.1.3.2适用原料：FR-4板材；2.1.3.3 输送速度：16米/分钟2.1.3.4 输送面阔渡：700mm（有效工作面阔度：625mm）2.1.4电源要求:3相 380V AC 50HZ 107KW3.1职责：3.1.1生产部：负责设备操作，保养及工艺参数制定；3.1.1.1作业员3.1.1.1.1按制程提供的参数制造出符合要求的产品并作好相关记录，由领班确认。3.1.1.1.2按规定的要求进行机器操作和机器设备日常保养、点检并作好相应记录，由领班确认。 3.1.1.2工程师 对员工进行操作和技术培训及考核，并制定设备相关工艺参数，以符合产品需求；3.1.2品保部：负责设备保养及工艺参数稽核3.1.3 设备设施管理部：负责设备动力、公共设施保养及维修4.1作业内容：收 板 4.1.1流程： 4.1.1.1 生产流程 层压 X-ray钻靶 锣边框 蚀薄铜 钻孔 4.1.1.2 工艺流程自动放板 蚀刻(1) 蚀刻(2) 酸洗 溢流水洗(2) 溢流水洗(3) 溢流水洗(4) 溢流水洗(5) 清水洗 干板组合 自动收板4.1.2制程原理说明 利用蚀刻液将厚铜咬掉成薄铜以到产品的特性要求的制程。4.1.3机台操作画面介绍 画面管理 20YY/MM/DD HH:MM蜂鸣无效停机帮助画面管理主画面报警管理预留运行参数添加设置预留I/O状态调试预留自动手动维护预热4.1.3.1帮助：可进入相应的帮助画面查看帮助信息，熟悉此信息更利于掌握机器的4.1.3.2主画面：可进入主画面了解机组控制按钮；4.1.3.3运行参数：可进入运行参数画面进行相应的运行参数设置；当各功能设置为“有效”时，表示相应的功能启动，设置为“无效”时，表示不使用该功能； 4.1.3.3.1正常工作时为保障设备及人生的安全，务必使各保护功能时刻处于有效状态； 4.1.3.3.2如果有两段独立输送共享一个触摸屏控制，除预热和维护共享控制外，其余各画面功能均为独立控制，各参数的设置互不影响。4.1.3.4自动：进入自动启动画面是会弹出如下启动提示画面：安全起见，请检查各过滤器盖是否已锁紧，各个段落的顶门或侧门是否已关好！启动退出启动后全线各段会的液泵等开始分段延时启动，同时触摸屏主画面上各工序段按钮框颜色变化，示意已启动；4.1.3.5 手动：进入手动主画面，在电控面板上按“启动”按钮。根据生产实际要求依次按下主画面中的相应的工序段按钮，相应按钮闪烁，表示选中；若按钮框颜色反显，则表示已开始工作；4.1.3.6 添加设置：需密码方可进入！设定各槽各项添加面积(片数)与添加时间之动作，设定板子尺寸,并选择目前PUMP为自动、OFF、手动状态；4.1.3.7 报警管理：显示异常之项目及时间；4.1.3.8 I/O 状态：I/O表，表示设备运行状态；4.1.4工艺控制 4.1.4.1放板速度：H/H OZ原始铜厚减薄至12 um9 um备注放板速度34003800mm/min18003200mm/min蚀刻1关闭蚀刻2打开1/1 OZ原始铜厚减薄至18um蚀刻1 、蚀刻2全部打开放板速度20002400mm/min 实际作业时，需依工单要求，调整速度使铜厚在要求范围内4.1.4.2 微蚀刻槽(1600L)4.1.4.2.1作用：利用双氧水、硫酸与铜反应，从而达到所需铜之厚度。4.1.4.2.2溶液组分： H2SO4 8-12% H2O2 6-8% 抑制剂 POI-401M Cu2+ 45g/L4.1.4.2.3开缸步骤：1) 加1/2缸体积的DI水；2) 缓慢加入160L 98%CP级H2SO4，搅拌均匀。若为50%CP级H2SO4，则需加320L； 3) 再缓慢加入112L 35%H2O2，搅拌均匀； 4) 再缓慢加入1.5桶双氧水抑制剂POI-401M（20L/桶），搅拌均匀； 5) 补加DI水至标准液位，搅拌均匀，加热至405； 6) 取样分析药水浓度，直至OK为止；4.1.4.2.4操作条件：1) 温度 4052) 工艺配备 加热、过滤、循环、水刀式喷淋3) 后处理 酸洗4.1.4.2.5药水补加与换缸1) 正常生产时依据每班分析结果补加；2) 正常生产过程每20m2补加3.2L H2SO4、1.6 L H2O2、0.5 L POI-401M。3) 双氧水抑制剂POI-401M不需要分析，依据H2O2分析结果。按H2O2：双氧水抑制剂POI-401M=3:1的比例添加或稀释4) 正常生产时Cu2+ 45g/L时全缸更换一次。4.1.4.2.6 维护与保养： 1) 每两周清洗一次滤芯，每月更换一次滤芯；2) 其后酸洗缸每班排空清洗、更换一次。.4.1.4.3酸洗（100L）4.1.4.3.1 作用：除去板面残留蚀刻药水。4.1.4.3.2 溶液成份： H2SO4 5.01.0%4.1.4.3.3 开缸步骤 1) 加1/2缸体积的DI水； 2) 缓慢加入10升 CP级H2SO4（50%），搅拌均匀； 3) 补加DI水至标准液位，搅拌均匀； 4) 取样分析药水浓度，直至OK为止；4.1.4.3.4操作条件:1) 温度 室温2) 工艺配备： 喷淋、循环过滤3) 喷淋压力： 1.00.5kg/cm24.1.4.3.5药水补加与更换1) 正常生产时依据每班分析结果补加；2) 正常生产时每班全缸更换一次； 4.1.4.4 溢流水洗（100L*4） 4.1.4.4.1作用：去除蚀刻、酸洗残留槽液，避免板面有残留药水印。 4.1.4.4.2喷压：1.00.5kg/cm24.1.5操作程序4.1.5.1开机前检查4.1.5.1.1从左到右依序检查加压水洗槽，蚀刻槽，酸洗槽，水洗槽液位是否到达标准液位；4.1.5.1.2 从前至后依序检查排液管，自来水管，DI水管，冰水管是否有漏液(机台操作面为前，反之为后)；4.1.5.1.3 双手将加压水洗槽，蚀刻槽，酸洗槽，水洗槽槽盖打开，将其竖起靠着槽体，检查滤网是否堵塞；4.1.5.1.4 将加压水洗槽，蚀刻槽，酸洗槽，水洗槽滤网抽出检查是否有杂物及堵塞；4.1.5.1.5 从左至右依序检查各输送滚轮有无破损及污染物残留；4.1.5.1.6 将各槽连接处之槽盖打开，检查档水滚轮有无破损及污染物残留；4.1.5.1.7 将水洗槽与烘干段连接处之槽盖打开检查吸水滚轮有无硬化或破损现象；4.1.5.1.8从左至右检查收板机输送带有无破损及污染物残留；4.1.5.1.9从左至右检查各槽门窗是否关好。如没关好视窗，控制箱上指示灯会闪烁；4.1.5.1.10从左至右依序检查各压力表是否归零；4.1.5.1.11吸水辘应保持湿润无残留污物；4.1.5.2开机程式 4.1.5.2.1手动开机程序：打开机台总电源画面管理手动面板启动 4.1.5.2.2自动开机程序：打开机台总电源自动开启画面自动启动 4.1.5.3关机程式 4.1.5.3.1手动关机程序：各工序关闭面板停止关闭机台总电源 4.1.5.3.2自动关机程序：自动开启画面关闭关闭机台总电源4.1.5.4生产前准备4.1.5.4.1 生产前先确认当日之生产板所需要之数量，预估生产所需物料，及时领料，以备生产之用；4.1.5.4.2 开机将各槽循环、加热打开；4.1.5.4.3 当各槽槽液温度达到要求后，通知化学实验室人员取样化验；4.1.5.4.4 药水化验OK后，根据化验结果将药水调整至规格中值。若药水化验NG，则依据化验结果添加或稀释后，循环5分钟后，重新取样化验，直至OK为止；4.1.5.4.5 药水化验OK后，化验人员进行微蚀量测试。若微蚀量NG，调整线速，直至OK为止；4.1.5.5设备点检及保养4.1.5.5.1 开机前先对设备做初步检查，便于生产时及时发现异常；4.1.5.5.2 然后对设备做清洁保养，若清洁保养时发现异常状况，及时向领班或维修工程师报告，在其协助下处理，直至OK为止；4.1.5.5.3 依据减铜线日常点检表开始对设备进行点检，并记录。若发生点检异常，及时向领班或维修工程师报告，在其协助下处理，直至OK为止；4.1.5.6 操作注意事项4.1.5.6.1开机生产时必须把各溢流DI水洗打开，如果水洗流量达不到要求，必须停产，待水洗流量达到要求方可开机生产，同时记录因停水造成的误工时间记录在各工序误工时间统计表；4.1.5.6.2 加药水前必须核对所加药水的名称数量，并在领班监控下添加，加料时要搅拌或过滤，直至药水溶解混和均匀；4.1.5.6.3 每次开机生产时待温度达到设定值时方可放板；4.1.5.6.4 生产板在放板的过程中要手套，收板要放隔纸（胶片或牛皮纸）；4.1.5.6.5 放板要保持30mm以上的间距，防止叠板；4.1.5.6.6 每种不同板先做1PNL首件，品质确认合格后方可批量生产。自主检查并记录在减铜线首件/自主检查记录表，自主检查频率1次/25PNL；4.1.5.6.7 生产现场的未减铜生产板、已减铜生产板等须摆放整齐并标识清楚4.1.5.6.8减铜所使用药水主要有硫酸，NaOH，双氧水，双氧水抑制剂存储场所的温度应在30以下，且强酸与强碱性物质隔开存放；具体参照现场MSDS上的药水特性和使用说明；4.1.5.6.9 配置添加药水时需戴口罩手套护目镜围腰4.1.5.6.10 拆卸风刀时，戴手套以防烫伤；4.1.5.6.11 操作中勿将设备保护盖打开，以防药水伤害；4.1.5.6.12 药水在搬动存储时最多只能叠两层，以防压破；4.1.5.6.13 生产结束后，关闭电源、水源、气源。4.1.6保养作业4.1.6.1日常保养点检内容：详见减铜线设备保养记录表4.1.6.2酸洗、水洗、蚀刻槽洗槽（每月一次）1) 先将槽体加入80%*槽体的自来水；2) 根据槽体体积及洗槽浓度（35%）计算出所需之碱需求量加入槽体（注意：固体碱不可直接加入槽体，应先于其他容器内溶解后再加入到槽体，以免堵塞排水管道或溶解烧坏槽体）；3) 再补充自来水至标准液位；4) 开启循环和喷洒及加热，循环4H后，将槽液排放掉；5) 加入自来水至标准液位，开启循环和喷洒及加热，循环1H后，将槽液排放掉；6) 先将槽体加入80%*槽体的自来水；7) 根据槽体体积及洗槽浓度（35%）计算出所需之酸需求量加入槽体；8) 再补充自来水至标准液位；9) 开启循环和喷洒及加热，循环4H后，将槽液排放掉；10) 加入自来水至标准液位，开启循环和喷洒及加热，循环1H后，将槽液排放掉；11) 加纯水至标准液位，待生产。4.1.7 品质控制4.1.7.1首板控制：4.1.7.1.1正式生产前先通知化验室测定微蚀速率，根据微蚀速率调整放板速度。4.1.7.1.2先拿1PNL生产板用表铜测厚仪测量板子两面在蚀铜前的表铜厚度 (每面取5点测量) ，并记录数据；蚀铜后再测量板字两面的表铜厚度，并记录数据；铜厚减薄量偏差在1um之内方可批量生产。4.1.7.1.3均匀性测试5mm5mm1）取一块16inch*20inch裸铜板，以4m/min线速走完整个减铜流程2）用铜厚量测仪按上图方式有序量测各点铜厚，并记录下数据3）均匀性计算方式：均匀性=（1-min/max）*100%4）均匀性要求：90%5）测试频率：1次/月4.1.7.1.4在生产中发现问题及时反馈给课长解决；4.1.8安全注意事项4.1.8.1添加强酸（H2SO4）、强氧化性（H2O2）药水时应戴好