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文档简介

彩色滤光片的研究开发和生产 深圳南玻伟光导电膜有限公司CSGSHENZHENWELLIGHTCONDUCTIVECO LTD 2005 3 23 彩色滤光片显示器的应用 彩色滤光片显示器 彩色手机 笔记本电脑 电子字典 可视电话 PDA 监控面板 游戏机 偏光片彩色滤光片定向层液晶ITO透明电极偏光片背光源 彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用 基板玻璃 基板玻璃 偏光片彩色滤光片定向层液晶TFTITO透明电极偏光片背光源 彩色滤光片在TFT显示器中的应用 基板玻璃 基板玻璃 南玻伟光CF生产线 2004年4月设备到厂 开始安装调试2004年7月投入试生产月生产能力 3万片填补了国内彩色滤光片生产的空白 CF的研究开发和生产 前言一 彩色滤光片的构成二 彩色滤光片生产线简介三 试验和研究开发工作四 彩色滤光片的品质性能五 彩色滤光片设计要点 CF的研究开发和生产 一 CF的构成透过型 TRANSMISSIVETYPE反射型 TRANSFLECTIVETYPE REFLECTIVETYPE 透过型CF的构造 红色光绿色光蓝色光透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜SiO2膜白色光白色光白色光 玻璃基板 反射型CF的构造 红色光绿色光蓝色光透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜反射膜开口白色光白色光白色光 玻璃基板 CF的研究开发和生产 二 彩色滤光片生产线简介1 CF制做方法2 CF生产流程 彩色滤光片制做方法 电着法印刷法光刻型非光刻型喷墨法颜料分散法彩胶法 颜料分散型光刻胶CF的制做 光刻胶滴胶玻璃旋转涂胶紫外线铬掩膜板图形曝光图形显像 CF生产流程 1000级净化O C线B线G线R线BK线 后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗 后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗 后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗 后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗 后烘烤预烘烤旋转涂胶清洗 CF的研究开发和生产 三 试验和研究开发工作1 工艺试验与结果2 研发工作 BK膜特性 材料 树脂类颜料分散型黑色光刻胶特点 生产流程简单成本低反射率低污染小膜厚0 8 1 5 m时 其OD值为1 8 3 5以上最小宽度 10 m BM膜厚 OD值 BK膜的样式 BMBSBL Blackmatrix BlackStripe BlackLess R G B膜的特性 1 材料 树脂类颜料分散型彩色光刻胶2 特性 色度 透过型和反射型 透光率膜厚尺寸精度 膜厚 色度 0 60 50 4y0 30 20 1000 10 20 30 40 50 60 7x 膜厚 后烘烤 膜厚 转速 膜厚均匀性 膜厚偏差 1 83 曝光能量 线宽 MASK线宽 70um 现像时间 温度 线宽 MASK线宽 70um 图形对位控制 一 MASK的制做精度和套合精度二 采用先进的图象处理和对位技术 提高对位精度三 研究设计了曝光机精密温控装置 稳定对位精度四 采取有效的工艺控制保证对位精度 O C膜层 一 材料 丙烯系树脂二 膜厚 1 2um三 功能1 保护RGB色层2 表面平坦化微观波纹度 无O C层 0 860 0 1225um有O C层 0 677 0 963um ITO膜层 镀膜工艺 RF DC镀膜温度 小于230 电阻率 1 8x10 4 cm面电阻 7 15 透过率 大于80 ITO膜电阻率 RF功率分量 CF的研究开发和生产 四 彩色滤光片的品质性能彩色滤光片产品主要性能指标 彩色滤光片产品主要性能指标 一 彩色滤光片产品主要性能指标 二 彩色滤光片产品主要性能指标 三 彩色滤光片产品主要性能指标 四 彩色滤光片产品主要性能指标 五 CF的研究开发和生产 五 彩色滤光片设计要点1 客户提出的具体CF图形排列和尺寸2 BK膜OD值和厚度3

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