ESD量测方法与步骤.ppt

WI029 1 ESD量測方法與步驟 Griss07 10 3 WI029 2 適應範圍與目的 1 適應範圍 適用于公司內部所有靜電防護措施的檢測2 規范公司內部靜電防護用具測試方法 做到統一化管理 WI029 3 內容摘要 標題1適應範圍與目的2靜電地板的測試4 6廠房靜電接地系統測試7 8靜電桌墊測試9 11機器 儀器 治具接地 用三腳插座的 靜電電壓測試12機器 儀器 治具 靜電桌墊接地線測量13 14台車接地鐵鏈測試15靜電手環測試16 17靜電手環 靜電鞋系統測試18 19END20 WI029 4 靜電地板的測試 一 1 使用設備 表面電阻測試儀 3M 701TestKit 2 測試時間 每季度第一週3 測試步驟 a 取出表面電阻測試儀 兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨 將接的兩端分別插入地雷和測試儀 并將測試儀調至100V當 WI029 5 b 面對面測試 取靜電地板區域任意兩點 兩點間距离為0 9 1 5m 各放置一地雷 按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數 紀錄于 靜電地板測試紀錄表 如上方法再任意取與前面不相同的兩點進行測試 結果分別紀錄于表格中面對面對應6個項次 靜電地板的測試 二 WI029 6 c 面對地測試 取靜電地板上任意一點及大地上任意一點 分別放置一地雷 按下TEST按鈕進行測試 讀出儀器指針讀數 紀錄于表格中面對地對應項 d 測試結果與相應項次SPEC值比對 若七項都在規格內則視為OK 在結果欄內填寫 OK 反之只要有一項不在規格之內就判為 NG e 維護課對結果NG的靜電地板作异常處理并將結果填寫于表格內 靜電地板的測試 三 WI029 7 廠房靜電接地系統測試 一 1 使用設備 接地搖表2 測試時間 每月第一週3 測試步驟 a 將室外接地的二只銅棒插入地下0 5m 二只銅棒距離 2 5m b 接地搖表接線 將搖表P T 兩端子分別接室外接地銅棒 E 端接測試點 WI029 8 c 一只手搖表 另一只手調節表值 當指鐘為 0 讀取數值 并紀錄于 廠房靜電測試紀錄表 d 測試結果于規格阻抗值不大于4ohm進行比對 不合格的由維護課對接地系統進行檢查 對損坏部分進行更換 廠房靜電接地系統測試 二 WI029 9 靜電桌墊測試 一 1 使用設備 表面電阻測試儀 3M 701TestKit 2 測試時間 每月第一週3 測試步驟 a 取出表面電阻測試儀 兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨 將接的兩端分別插入地雷和測試儀 將測試儀調至10V當 WI029 10 b 面對面測試 取靜電桌墊上任意兩點 兩點間距离為0 9m 1 5m 各放置一地雷 按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數 紀錄于 ESD桌墊靜電扣接地每月查核紀錄表 靜電桌墊測試 二 WI029 11 c 面對地測試 取靜電桌墊上任意一點及大地上任意一點 分別放置一地雷 按下TEST按鈕進行測試 讀出儀器指針讀數 紀錄于表格中面對地對應項 d 測試結果與規格進行比對 兩項都在規格之內則為OK 有一項不在規格之內則視為NG NG的靜電桌墊須進行更換處理 靜電桌墊測試 三 WI029 12 機器 儀器 治具接地 用三腳插座的 靜電電壓測試 1 使用設備 万用電表2 測試時間 每週第一個工作日3 測試步驟 a 將万用電表調至AC擋b 測試機器 儀器 治具金屬外殼對大地間的漏電電壓 將測試值填寫于 儀器設備接地每週查核紀錄表 c 測量標準應小于5ACV 否則判為NG 對NG須重新檢查接地狀況 并維修 WI029 13 機器 儀器 治具 靜電桌墊接地線測量 一 1 使用設備 万用電表2 測試時間 每週第一個工作日3 測試步驟 a 將万用電表調至歐姆擋b 測試接地線兩端間的阻抗值 万用電表的黑表筆用靜電接地線的鱷魚夾夾住 紅表筆接触靜電線靜電扣金屬部分 將測試值填寫于 儀器設備接地每週查核紀錄表 測試時需以45度角晃動靜電線 看測試值是否會因損坏而跳變 若跳變在規格范圍1M 20 歐姆之間 表示正常 若超出此規格 則視為NG 如下圖 WI029 14 c 測量標準應在1M 20 歐姆之間 否則判為NG 對NG的接地線作更換處理 機器 儀器 治具 靜電桌墊接地線測量 二 WI029 15 台車接地鐵鏈測試 使用設備 万用電表2 測試時間 每週第一個工作日3 測試步驟 a 將万用電表調至歐姆擋b 測試接地鐵鏈兩端間的阻抗值 万用電表的黑表筆接触接地鐵鏈末端 紅色表筆接触接地鐵鏈與台車的耦合處 黑色表筆將鐵鏈外拉 將鐵鏈拉直 將測試值填寫于 儀器設備接地每週查核紀錄表 c 測量標準應不大于4歐姆 否則判為NG 對NG的接地鐵鏈作更換處理 WI029 16 靜電手環測試 一 1 使用設備 靜電環測試儀或万用電表2 測試時間 每班開線前3 測試步驟 a 用靜電環測試儀測試步驟 將靜電手環正确佩戴于左手腕 手環的鱷魚夾夾于測試儀的夾子上 用右手按測試儀的測試按鈕 如果測試儀亮綠燈 表示靜電手環靜電規格OK 否則為NG 測試的同時晃動戴靜電手環的手 以便檢測出接触不良 WI029 17 b 用万用電表測試步驟 將万用電表調至歐姆檔 万用電表的黑表筆與靜電手環連接線鱷魚夾部分接触 万用電表的紅色表針與靜電手環的金屬須緊貼皮膚的部分接触 如圖 若指針指示在0 9 35M 內 表示靜電手環OK 否則為NG 測試時以45度角度晃動靜電扣 看万用電表顯示的阻值是否會變動 若變動超出0 9 35M 規格范圍則視為NG 用于測試靜電扣是否有接触不良現象 靜電手環測試 二 WI029 18 靜電手環 靜電鞋系統測試 一 1 使用設備 手環腳環測試器2 測試時間 每班開線前3 測試步驟 參考生產線手環腳環測試器旁邊的操作手冊進行測試 a 正确佩帶靜電手環于一手 將靜電手環鱷魚夾測試點 用另一手食指按TEST按鈕 若綠燈為PASS結果OK 反之為NG 測試的同時晃動戴靜電手環的手 若測試結果出現一會亮紅燈 一會亮綠燈代表靜電手環NG WI029 19 b 穿上靜電鞋將右腳踩在金屬板上 手按TEST按鈕 若亮綠燈代表OK 再將左腳踩在金屬板上