Color Filter introduction.ppt

ColorFilter簡介 TFT Polarizer CF Polarizer PCB LightGuide LCcell TFT LCDStructure 黑色矩陣製程 BMpatterningprocess Unpacker Initialcleaner 鉻膜濺鍍 鉻玻璃清洗 正光阻塗佈 1 素玻璃投入 1 Crsputtering Cr 正光阻塗佈 2 Crsputter Crglass Pre cleaner Slitcoater Spincoater 2 BMphotoline 鉻玻璃 CrNy CrOx Substrate 蝕刻 去光阻 紫外線曝光 顯影 烘烤 去掉邊緣光阻 EBR EdgeBeadRinse Aligner Developer Hotplate 3 Etchingline Etching Stripping BMpatternglass 真空乾燥 VacuumDryer 預烘烤與冷卻 Pre bake Coolplate CF製程檢查項目 黑色矩陣製程 BMpatterningprocess BMPHOTO EtchingLINE 顯影後缺陷檢查ADI AfterDeveloperInspection 巨觀檢查 Macroreview 1 2 3 蝕刻後缺陷檢查AEI AfterEtcherInspection 紅色光阻塗佈 1 紅色光阻塗佈 2 Pre cleaner Slitcoater Spincoater BMpatternglass清洗 紫外線曝光 顯影 去掉邊緣光阻 EBR EdgeBeadRinse 烘烤 Oven 真空乾燥 預烘烤與冷卻 Pre bake Coolplate RGB製程 RGBprocess 1 RLine 綠色光阻塗佈 1 綠色光阻塗佈 2 Pre cleaner Slitcoater Spincoater Rglass清洗 紫外線曝光 顯影 去掉邊緣光阻 EBR EdgeBeadRinse 烘烤 2 GLine 真空乾燥 VacuumDryer 預烘烤與冷卻 Pre bake Coolplate 藍色光阻塗佈 1 藍色光阻塗佈 2 Pre cleaner Slitcoater Spincoater R Gglass清洗 紫外線曝光 顯影 去掉邊緣光阻 EBR EdgeBeadRinse Developer 烘烤 Oven 真空乾燥 VacuumDryer 預烘烤與冷卻 Pre bake Coolplate 3 BLine RGB製程 RGBprocess CF製程檢查項目 1 2 1 PixelCD2 Overlay3 厚度 4 色度量測 3 ITO製程 ITOsputteringprocess ITOpre cleaner 氧化銦錫膜濺鍍 R G B璃投入 ITO玻璃 ITOsputter ITOglass Repair DefectInspection UVasher 缺陷檢查機 紫外線灰化 修補 3 ITO製程 ITOSputteringprocess CF製程檢查項目 1 色度量測2 Rs值量測 MVA製程 Multi domainVerticalAlignment 正光阻塗佈 1 正光阻塗佈 2 Pre cleaner Slitcoater Spincoater ITOglass清洗 紫外線曝光 顯影 去掉邊緣光阻 EBR EdgeBeadRinse Aligner Developer 烘烤 Oven 4 SLine 真空乾燥 VacuumDryer Pre bake Coolplate 預烘烤與冷卻 最終檢查 Finalinspection Macroinspection 巨觀檢查 AOIPre cleaner 光學檢查前清洗 AOI Auto Opt