線検出器tes型课件

宇宙物理実験研究室藤森玉行 TES型X線 製作 構築 話 流 天体観測 必要 X線検出器X線 原理開発 現状 研究目的TES型X線 製作TES 配線 構造X線照射実験性能評価 今後 天体観測 必要 X線検出器 微細構造 分離 1 2eV 必要 線 検出器 場合 120eV 6keV 鉄 K 線 K 線 共鳴線 禁制線 微細構造 5000万度 線 満 線検出器 線 注目 天体観測 場合 撮像型 線 検出効率 高 望 X線 線光子 素子 微小 温度上昇 測定 検出器 線光子 熱容量 熱浴 間 熱伝導度 温度変化 極低温 100mK 動作 高 分解能我 6eV 5 9KeV 実現 世界最高 2 4eV 温度計 超伝導遷移端温度計 金属薄膜 超伝導 常伝導 間 急激 抵抗変化 温度計 利用 1000 非常 高感度 温度計 超伝導状態 常伝導状態 温度計 感度 常伝導金属 金 超伝導金属 二層薄膜 用 近接効果 利用 転移温度 T 100mK注 転移温度 390mK 温度 抵抗 TES 分解能 開発 現状 今 SII 早稲田 役割分担 製作 評価 6eV 5 9KeV 実現 目標 2eV 5 9KeV 性能 原因追求 困難 変更 手間 時間 分解能 改善 都立大 装置 用 TES性能 向上全 製作 in house 行 本研究目的 TES型X線 製作 主要 TES 製作 配線 製作 薄膜 構造 製作 TES 配線 窒化膜 完成 TES 配線 TES 窒化膜 製作 両面 窒化膜 付 金 TES 両面 付 窒化膜 ReactiveIonEtching 金 除去 110 基板 TES完成 300 TES 配線完成 付 TES 付 除去 完成 3 配線 TES 窒化膜 TES 製作 金 膜厚 転移温度 関係 調 膜厚 40nm 固定 金 膜厚 変 転移温度 測定 40nm 金 80nm 転移温度 150mK 都立大 装置 特徴 高真空 10 8Pa短時間 金 切 替 2cm基板 Ti Au 1m TES 製作 塗布 型 S1818 高速回転 膜厚 薄 一定 4000rpm 乾燥 114 150 紫外線照射 現像 S1818 現像液 NMD 3 型 露光 部分 現像 溶 型 TES 配線 描 40nm金80nm 各 溶液 時間 金AURUM 101 素系 5秒550nm min 過酸化水素水 60 3時間13nm min 金 窒化膜 温度計 感度 上 行 TES 製作3 配線 製作 TES 同 宇宙研 宇宙研 塗布 配線 製作 S1818 配線用 膜厚2 m 200nm 一日漬 配線以外 取 除 TES 付 部分 配線部分 付 TES 構造 製作 窒化膜 産総研 宇宙研 窒化膜 TES 配線側 塗 完成 除去 塗布露光 現像ReactiveIonEtching 窒化膜 除去 窒化膜 窒化膜 残 部分 窒化膜 化 構造 製作1 異方性 半導体 技術 応用結晶異方性 KOH 速度 結晶面方位 強 依存 面 速度 面 比 倍遅 面 可能 構造 製作2 KOH 33 KOH 80 6時間 KOH KOH 耐性 KOH TES 配線 溶 TES 配線側 KOH 保護 行 必要 TES 配線 窒化膜 110 KOH 基板 O 押 空気 抜 穴基板下側 TES 配線 大気圧 製 構造 製作3 110 KOH 後 写真 辺BC 110 平行 合 辺BC AD 110 面 対 111 面 垂直 現 A B C D 窒化膜 E F G H I J 構造 製作4 AC方向断面図 裏 表 窒化膜 J D H I B F 裏 表 完成 TES型X線 400 m角 TES X線照射実験 1mm 1cm X線照射実験 3He 4He希釈冷凍機 120 55FeX線源 温度 100mK 下 完成 TES Fe線源 使 X線 当 性能評価 行 X線 検出 成功 転移温度 173mK 転移 TES 性能 改善 分解能 数 分解能65eV 5 9KeV 揺 7eV 等価幅 5900 6000 5800 eV 65eV 吸収体 付 大 量子効率 7 小 吸収体 付 次 課題 今後 TES 転移温度 制御 条件出 KOH 全 in house 行 TES型X線 製作 成功 X線照射実験 行 性能評価 行 X線 検出 成功 分解能 65eV 7eV 吸収体 X線 入射位置依存性 対 分解能 悪化 考 転移温度 下 吸収体 有望 検出器 今後 吸収体 付 TES 製作 確立 分解能 追及 多素子化 向 取 組 予定 揺 7eV除去不可能 電子 流 熱 乱 不均一 発生 抵抗 持 電子回路 必 発生 装置全体 熱揺 数揺 正体不明 X線 共鳴線 原子 波長 光 吸収 基底状態 励起状態 遷移 再 同 波長 光 放出 基底状態 戻 放出光 他 原子 吸収 同 繰 返 放出現象 共鳴放射 線 共鳴線 呼 禁制線 原子 分子 原子核 準位間 近似 特殊 条件 遷移 起 線 観測 禁制線 波長495 9nm 500 7nm 見 強 輝線 OIII 禁制線 星 紫外線 2階電離 酸素 基底準位 電子 星雲 中 自由電子 衝突