N型单晶操作培最终版PPT课件.ppt

1 拉制N型单晶操作培训 1 我公司N型单晶用于制作N型高效电池 拉制N型单晶采用合金掺杂 所掺合金为磷合金 P Si 合金 P型所掺合金为硼合金 B Si 拉制N型单晶注意与P型单晶区别 生产中N型单晶沾污上P型杂质会严重影响单晶质量 导致产品不合格 拉制N型单晶少子寿命要求较高 金属杂质是影响少子寿命的主要因素 生产过程中在拆清炉 装料等环节注意避免金属杂质的引入 序言 2 着装要求 准备工作 拆清炉 拉晶工艺流程 3 目录 N型炉台操作员工及拆清人员配有专用服装 颜色与P型不一样 操作员工有固定的衣服及衣架 出入车间换衣服时 不要将自己的衣服挂在其他衣架上 车间其他员工不许动用N型专用衣架 拆清炉操作拆N型炉台时 需更换特有的衣服方可进行拆炉 一 着装要求 二次更衣室衣架 4 1 炉台转N型前须进行预处理 炉台在确定拉制N型单晶后 对炉台进行大清 确定要换的热场部件由工程师确认必须换掉 排气管道 电磁阀必须清 更换新泵油 副室 隔离阀室 籽晶夹头 钢缆需用沾酒精的纤维纸擦拭干净 所有的工作做完之后空烧20个小时 进行热场纯化 二 准备工作 5 1 工具 N型单晶拉制炉台所用拆清工具 取晶筒 拆炉车 埚帮车 埚底料铁盒 吸尘器等 并都贴有 N型专用 的标识 贴有标识的颜色为浅蓝色 如图所示 三 拆清炉 N型专用 6 三 拆清炉 7 2 工具区域划分 1 埚底料 废石英有专门的存放区域 2 石墨打磨也有固定的打磨区域 3 取晶筒 取晶盒 吸尘装置 一次性口罩 一次性PE手套 装料手套 高温隔热手套 斜口钳等工具必须放置在制定区域 4 所有工作必须在指定区域内进行 所有工具不许与P型炉台混用 使用完的工具放到指定区域里 对不清楚的事项要及时向工程师询问 三 拆清炉 8 三 拆清炉 N型埚帮车N型取晶筒 N型所用工具放置区域 9 三 拆清炉 所用工具放置区域 N型专用过滤桶N型专用埚底料盘 10 3 拆清炉注意事项 拆清过程中严格按照作业指导书进行 按照要求使用N型专用拆清工具 注意与P型拆清工具区分 三 拆清炉 11 1 拉至N型单晶硅的工艺流程卡为两张蓝色纸张 2 N型单晶目前使用原料为钛业多晶 投料量为105kg 由于是块料 为避免装不下应大小块搭配 合金放于石英坩埚中下部 3 装料期间 周边若有炉子要拆 所拆热场远离装料炉台 加热器清理工作待装料炉台合炉后进行 装料时 若发现周边已经拆炉 或者是正在装热场 可暂时推迟装料 避开周边拆装热场时装料 保证装料时没有灰尘的污染 4 装料人员在装料时 所用工具如 装料车 剪刀 酒精等 必须为贴有N型标示的专用工具 所有参与装料的人员整个过程必须带口罩 一次性手套 一次性手套破损须及时更换 装料者摸过其他物品后 更换一次性手套后方可继续装料 装料人员装料过程中不允许聊天天 其他与装料无关人员禁止围观 四 拉晶工艺流程 1 装料时注意事项 12 1 化料后沾渣严格按照沾渣作业指导书进行 所提渣头符合作业指导书标准 提渣完成之后将渣头放置于专用放置区域 2 电阻率小头要求直径30mm 长度30mm 粗细均匀的小头 要求小头进行收尾 小头测试完成后需在小头上标明日期 重量 炉次编号并且将小头放到N型小头专用放置区域 3 N型单晶小头电阻率控制在11 12 cm 若头部电阻率高于12 cm 通知现场工程师或值班人员 按照头部电阻率为11 cm继续掺N型合金 若头部电阻率在10 12 cm则继续进行单晶拉制 若小头电阻率低于10 cm则通知现场工程师或值班人员进行处理 四 拉晶工艺流程 2 化料后注意事项 13 N型单晶的拉制 采用氩气流量为60或80slpm 具体流量以炉台工艺为准 比常规工艺要大 会引起液面温度小的波动 对稳温要求高 自动引晶时操作工要多观察 避免引断或过粗 保证引晶质量 若出现各种工艺问题应及时通知工艺人员或现场工程师 四 拉晶工艺流程 3 引晶时注意事项 14 N型单晶拉制采用的工艺 晶转12 埚转放肩中由12变为8 氩气流量60或80slpm 炉内压20或14torr 直径控制在170 1mm 由于新产品工艺使用初期 操作人员在工艺运行中发现问题及时向工艺人员反馈 放肩中由于埚转的降低 熔体温度反应延迟 等径后 观察拉速与直径变化 在拉速 直径波动较小时投入 等径控制 等径过程中要多测量直径 若直径波动较大 手动保持一