单晶炉检查成绩表.DOC

M/QERCZ8230367-06A版FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表 客 户 编 号 検査者 审核 日 期 上海汉虹精密机械有限公司合 格 证 FT-CZ2408BZ 单晶炉（编号 ）， 经上海汉虹精密机械有限公司品质部检验合格，准予出荷。上海汉虹精密机械有限公司FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实测值1提升机构行程提升上炉筒至上极限位置,用直尺测量上炉筒与隔离阀距离2905mm提升炉盖至上极限位置测量炉盖与中炉筒法兰面距离。2905mm提升中炉筒至上极限位置,用直尺测量中炉筒下法兰面与炉底盘法兰面距离。11000-20mm2坩锅行程手动操作面板上C/L的 Up/Down方向键,使坩埚上升或下降到极限位置,测量坩埚轴上平面与炉底盘上平面的距离。4250-5mm2750-5mm3坩锅回转精度在软件界面上设定坩锅轴低速回转2rpm、5 rpm、10rpm用秒表分别测量其实际转速3%4坩锅升降精度在软件界面上设定坩锅轴上升速度0.1mm/min、0.2mm/min、0.3 mm/min用秒表分别测量其实际速度3%FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值5籽晶绳上极限操作手动操作面板上S/L HI 的UP方向键按钮分别以速度300mm/min、400mm/min上升籽晶绳，在籽晶夹头下端面与观察窗口下母线平齐时，记录软件界面上籽晶位置读数，再继续上升籽晶夹头到上极限,记录下读数,计算两次读数的差值。29510 mm6籽晶绳下极限操作手动操作面板上的Seed Down按扭，使籽晶绳下降，在下极限位置时，测量籽晶夹头上端面偏离炉盖法兰面的距离,重复操作测量三次取其最大值。4210 mm7籽晶回转精度在软件界面上设定籽晶轴回转2rpm、10 rpm、15 rpm用秒表分别测量其实际转速3%8籽晶上升精度在软件界面上设定籽晶轴上升速度0.5mm/min 1.0mm/min、2 mm/min用秒表分别测量其实际速度3%FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值9籽晶绳对中在籽晶夹头上装上锥形对中工具，籽晶绳下降接近刻度盘（不能碰到），籽晶绳转速12rpm时，目测锥形工具头部偏离刻度盘中心的刻度刻度盘5mm10到达真空度打开主泵阀门抽真空，再打开手动阀，抽真空待真空压力传感器读数稳定时，是否小于3Pa(22.5mTorr)，再关闭主阀1小时看压力读数上升值。真空辅泵真空主泵3Pa (22.5mTorr)11保压试验6Pa/Hr(45mTorr/Hr)12上炉腔压力打开主泵抽真空，打开炉盖上的Ar阀门控制炉腔内压力在2.67Kpa(20Torr)左右，关闭隔离阀，打开上炉腔Ar阀门，充Ar气到内腔压力为101.3Kpa(760Torr)，关闭上炉腔Ar气，打开辅泵抽真空，确认其内腔最小压力，按上述要求重复测量三次其最大值作为测量值。 0.67KPa(5 Torr)FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值13空烧时炉腔外侧温度调整阀门的大小保证冷却水总流量小于350L/min，进出水管压差在 0.2Mpa以上，进水压力在0.3-0.35Mpa之间，进水温度小于25的条件下，按照功率从30KW到135KW逐步加热，按图示测量点，用红外线温度计测量各处的温度。压力表Water in流量计Water out压力表力不从心987654125014炉体表面温升35FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表序号检 查 项 目检 查 方 法示 意 图允 许 值实 测 值15Ar气流量打开Ar气阀门调节其压力在0.2Mpa左右，点操作界面上PROCESS GAS OPERRATAION设定ArFLOW流量分别为40、100、120、150、200SLM计算显示器上Ar流量的读数与其设定流量的最大差值。AR流量3SLM16安全阀动作试验关闭隔离阀，上炉筒和炉盖分别充Ar直到主真空管道和辅泵真空管道上安全阀打开，分别记录压力计读数的最大值82525Torr（1103 KPa ）FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表序号检 查 项 目检 查 方 法示意图允 许 值实 测 值1Ingot外径差用游标卡尺测量各个截面直径，取最大差值(测量截面距两端20mm)32mm2Ingot扭曲