Despatch烧结炉ppt课件.ppt

Despatch烧结炉 1 1 外观图 2 2 结构简图 3 烧结炉所在的位置 4 3 Despatch烧结炉开关机操作规程 手动操作模式 3 1开机 打开炉子的facilities电源确保facilities的排放系统已运行打开压缩空气供应 确保达到0 75MPa打开冷却水供应 确保达到0 4MPa启动电脑选择运行程序并上载依次启动utilities conveyor heater按钮如果有必要 通过流量表调节气体流量如果有必要 调节冷却水流量等到系统显示ready 开始装载硅片 5 3 2关机 关闭加热器heater 冷却炉带到200 停止炉带conveyor当炉带速度小于10ipm 1英寸 2 536CM 关闭utilities关闭电脑关闭炉体气体供应关闭炉体水供应关闭主电源 6 3 3烧结炉开关机操作规程 自动操作模式 自动运行 当注册人员在操作时 系统在导入程序后提供一个自动按钮 点击RUN按钮会启动自动循环系统 这样进入运行 然后在运输系统达到设定的工作点并稳定工作时 加热器开始工作 当加热状态准备好时 说明加热器到达理想的工作点 7 停止自动运行 同样的一个RUN按钮可以停止自动过程 点STOP按钮会启动终止程序 这样加热器开始冷却 当加热器失效 加热区温度开始下降而其他功能键换是灰色 一旦温度达到200 加热器显示失效并且运输停止 并立刻导致功能键就失效 8 4 操作界面 1 10 15 14 13 12 11 6 7 8 9 3 4 5 1 20 18 16 2 17 19 9 4 1CDFInfraredDrying FiringScreen桌面各菜单的含义 1 SystemStatus Displayscurrentstateofheaters conveyorandutilitiesorothersystemfunctions 显示目前的加热 传送和功效的状态 2 ENABLE DISABLE SwitchesTurnseparatesystemsON ENABLE orOFF 加热和传送还有功效可以单独控制 3EXIT PresstoexitCDFSystemOperation Figure15showsExitdialogscreen 退出当前的操作系统 4UserInformation Displaysdateandtime UserIDandsecuritylevelofuse 显示时间日期和用户的级别 5LightTower Status 灯的显示状态 Green yellow orredlightturnsONorOFFcorrespondingtolighttowerstatus Red Alarmcondition Yellow Systemrequiresoperatorassistance Green Systemreadyorrunning 10 6 RECIPEINUSE Currentrecipeusedbysystem 目前用的菜单系统 7DataLogging Presstomonitorprocessprofilesbychoosingdatatotrack 历史的数据和图象 8CHILLEDWATER TEMPERATURE SUPPLY RETURNCurrentsupplyandreturntemperatures Celsius 冷却水的进出水温度 9EXHAUST PRESSURECurrentexhaustpressureinmmH2O 目前的水压 11 10 SETUP Presstoaccesssetupscreenandchangeorcreateuserprivileges Availableonlywhenloggedinasasupervisor 管理者可以进入的窗口 11 LOGOUT Presstologcurrentuserinorout 登录者调离当前用户 12 CALIBRATION DisplayAnalogInput OutputCalibrationscreen 校对当前的输出和输入 13 PID DisplayPIDLoopTuningandControlscreen 显示PID的控制 12 14 ALARMSTATUS Displayalarmstatusscreen 显示报警的状态 15 SYSTEMPARAMETERS Presstodisplaysystemsparameterscreenandsetthosevariablesthatremainconstantinallrecipes 系统参数 16THROUGHPUTCALCULATOR Calculatewaferthroughputcapacity refertoSection 硅片计算器 17I OACCESS PresstodisplaytheI OAccessscreen whichprovidesirectaccesstotheI Ocontrolmodules 输入和输出控制 13 18 RecipeDirectory Listofcurrentlyavailablerecipes 列出了可以直接调用的程序 19 MONITOR RECIPETab Identifiessectionscreentheuserisworkingon eitherworkingwitharecipeormonitoringthecurrentsystem 当前的菜单工作还是监视状态 20 Dryer FurnaceTemperatures Comparecurrentactualtemperatures inCelsius setpointtemperaturesandcalculatesPIDCV currentactualvaluecomparedtosetpointvalueasapercentageforeachrecipeprocessparameter 当前的温度显示 控制热区的模式使用的PID闭环温度控制或固定可控硅电源控制 图14 14 4 2两种控制方式 OptionalIconAPowerControlMode 可控硅功率控制 OptionalIconBIndicatesPIDLoopTemperatureControlMode PID闭环温度控制 15 4 3StatusDisplay状态显示 ColumnshowsOnlineorOfflineStatus 联机状态 ColumnshowsStabilizingorStableStatus 稳定性状态 ColumnshowsSystemReadyorNotReadyStatus 显示系统有没有准备好 ColumnshowsAlarmStateStatus 报警的状态 16 4 4CreateRecipes创建新的温度工艺菜单 Changesetpointswithup downarrow温度通过上下键来调节 Renamerecipebeforesavingchanges在修改后保存之前要先命名 17 4 5警报的控制范围的设定 18 前面的图是指高于5度或低于5度时会有黄色的预警信号 高于10度或低于10度时会有红色的报警信号 19 4 6管理工艺菜单 加载 浏览 删除 恢复 20 4 7ChangingParameters修改参数 在修改参数后一般要做以下操作 SAVE 保存RESTORE 恢复EXIT 退出 21 4 8FaultRecovery错误恢复 点击桌面的14 ALARMSTATUS 警报按键进入报警查看菜单 点击该报警菜单上的 ACKDISPLAYEDALARMS 改正报警引起的条件 做修改 退出报警对会框按运行键或者有效键重新开始运行 22 4 8 1WorkingwiththeEventHistoryScreen EventHistory ACKDISPLAYEDALARMS AlarmHistory 23 点击后显示所有的报警可以通过拨ShowAllEvents和ShowAlarmEventsOnly之间的按键来选择所有显示和重要的报警显示 EventHistory ToggletoShowAllEventsorShowAlarmEventsOnly 显示重要的报警 24 4 8 2WorkingwiththeAlarmHistoryScreen 点击就会出现下面的图 显示所有的报警 点击RESET就可以清除所有的报警 AlarmHistory RESET 25 4 8 3WorkingwiththeDataGraphScreen工作曲线 DataLogFileStatus显示该文件的信息 PlotSelectionList在痕迹选择盒里选择痕迹 ScaleDialog每条曲线的规模程度 Enable DisableCheckBox AttributeTraceList图象痕迹 TraceSelectionLists痕迹选择清单 调整对话框参数的设置 26 调整对话框里参数的设置 每10秒更新一次 12小时后自动保存 设置15小时数据保存的大小排列 当清理文件时将出现此对话框 27 4 8 4WorkingwiththeRuntimeStatisticsScreen运行时间段的数据 ClickRESETtoclearallvaluesandresetthemtozero 清除以前保存的数据 ClickEXITtocloseandreturntothemainscreen 退出这个对话框 28 4 8 5WorkingwiththeI OAccessScreen 电压的输入和输出和热电偶的输入等 29 4 8 6WorkingwiththePIDLoopTuningandControlScreen 30 5 BeltCleaningwiththeUltrasonicCleaningSystem Optional 传送带的清理 在I O控制屏幕上点击BELTCLEANING 就会出现下面的对话框清洗的步骤 1 时间的填写 清洗时间和进水 排水时间的填写 2 带速的填写3 点击开始清理 31 5 1ACoolingWaterLoopDoesNotHaveWaterFlow冷却水循环没有冷却水流出 1 确保冷却水报警的错误2 确保I O界面CoolingWaterEnableis是开的3 确信冷却水的提供是有的 并且进水是开的 4 确信过滤器是开的 并且不是堵的 5 确保过滤器旁的电磁阀是好的 此按键是激活的 显绿色 32 33 5 2ThereIsNoHeatInADrierOrFurnaceOven烘感干区或者烧结区不能加热 1 确信错误的报警信息 并采取纠正方法 2 在模拟输入信号中查看加热管的状态 看是不是在工作 绿色的说明是好的 3 检查相关线路的保险丝是不是好的 4 检查有没有输出电压 可更换可控硅 5 如果没有电压的输出 请换烧结炉的软件或者重启 6 如果没功率的输出 检查是不是线路出了问题 34 7 IftheSCRhasoutputpower thereisnobrokenwire andtheheaterdoesnotwork useanOhmmeterandchecktheheaterresistance Replacetheheateriftheresistanceisinfinite 模拟输出信号 DiscreteInputs 35 OvenHeaterCircuitBreaker Fusesg烘箱短路器和保险丝 HeaterSCR 可控硅 36 5 3ConveyorBeltMotorisONbutBeltNotRotating电机是开的带子不走 1 确信报警信息 并给于纠正 2 确认PIDLOOP不是设置在手动 3 确信CONVEYORENABLE在I O中是激活的 4 确保传送带没有堵塞 刮到什么地方 5 如果轮子转动而传送带不转 可能是由于带子太松的原因 只要剪掉一段就好了 6 调整轮子外面的离合器 37 7 检查电机的触发板上的指示灯亮不亮 绿色的 亮是好的 不亮说明上面的保险丝坏了 待更换 8 如果那个绿灯是亮的 检查4到20MA的触发信号 GreenLEDlitindicatescontrollerON 绿灯是亮的 38 9 测量电机有没有直流电压 有的话说明电机有问题 要么更换电机等10 有必要的话就重启系统 39 1 确信报警信息 并给于纠正2 在I O中检查AirCoolSupFan1and2 andAirCoolExhFan1and2是开的3 检查每个风扇的接触器 4 检查每个风扇的变频速度是不是一样的 看指示和指示灯的亮度 5 检查每个电机有没有电压 有电压不运行基本是电机是坏了 更换 6 下页有图 5 4SupplyAndExhaustFansDoNotRun外部排风不运行了 40 CoolingSupplyFanCircuitBreaker ExhaustFanCircuitBreaker ConveyorMotorCircuitBreaker SupplyFanDrive冷却风扇 ExhaustFanDrive 41 5 5MainCircuitBreakerisONbutComputerWillNotTurnON线路接触器是开的但仍然不能打开电脑 1 确信电脑和监视器是开的 2 检查电脑的电源线是否连接正确 3 检查110VAC交流断路器 4 确信电脑前面的UPS是开的 42 5 6MainContactorCannotBeReset主接触器不能复为位 1 确信主空气开关是工作的 接触器除了有电源才能复位 2 检查所有的急停按钮是不是都是拔出的 检查末端急停开关的电源提供120VAC和急停24VDC的线路是否正常 是否有24VDC在急停开关上 3 如果系统上有UPS 确保他是开的 4 下页有图 43 MainContactor主接触器 CDF CFMainDisconnect主空气开关 E StopPowerSupply急停开关电源 44 5 7OperationbySupervisor管理者的操作 1 从程序目录中直接调用所要的程序 程序RecipeDirectory菜单 见下页图 2 先开UTILITIES 功效 使之运行 显绿色 3 再开CONVEYOR功能 使之运行 显绿色 4 等UTILITIES和CONVEYOR运行稳定后再开HEATERS 功效是开传送和加热的基础 图见下页 45 加载程序 监控 菜单 46 5 7 1OperationbyOperator普通操作员的操作 1 直接从程序菜单中 调取所要的程序 2 直接点击RUN就可以了 47 6 WorkingwiththePIDLoopTuningandControlScreen PID的调整与控制 LoopParameters循环参数 LoopSelection循环选择 ScaleDialog PlotLabelOptions AttributeTraceList曲线属性菜单 48 7 1Troubleshooting维修故障 线的颜色Redwiresindicate120VACwiring 红线 Pink粉红wiresindicate24VACwiring returnwirewhite Blue蓝wiresindicate24VDCwiring returnwirebluewithwhite蓝白线stri