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文档简介
测量标准技术报告 测量标准名称 多功能校准源标准装置 计量技术机构名称编写 年 月 日 审核 年 月 日目次一、 测量标准概述 (1)二、 测量标准性能 (2)三、 构成测量标准的测量器具及配套设备 (3)四、 检定人员 (4)五、 校准(检定)环境条件 (4)六、 测量标准不确定度的评定 (5)七、 测量标准重复性 (25)八、 测量标准稳定性 (35)九、 测量标准不确定度的验证 (37)十、 结论 (39)十一、附录 (39)共39页 第1页一、测量标准概述随着新装备的发展和科学研究、生产、试验对测量准确度的要求越来越高,新装备试验中使用的数表越来越多,准确度越来越高,一般的标准检定装置远不能满足要求。为了满足工厂军工产品的生产、试验的需要,为进一步促进计量事业的发展,因此建立多功能校准源标准装置该项测量标准。该项测量标准由多功能校准源、数字多用表等设备组成。工作原理见图1,即用5720A多功能校准源输出标准值,对被检数表进行直接测量。具体方法是:以标准源输出的示值UN为标准值,被检数表的显示读数UX为测量结果,则被检数表的误差可表示为:= UX - UN被检表5720A多功能校准源图1依据规程如下:1、JJG315-83直流数字电压表检定规程2、JJG598-89直流数字电流表检定规程3、JJG724-91直流数字式欧姆表检定规程4、JJG(航天)34-87交流数字电压表检定规程5、JJG(航天)35-87交流数字电流表检定规程 共39页 第2页二、测量标准性能多功能校准源标准装置可以对数字多用表的直流电压、直流电流、交流电压、交流电流和直流电阻进行校准、检定。多功能校准源标准装置的测量范围及相对不确定度如下:功能 测量范围 不确定度DCV (10mV1000V) 3.610-64.810-5 DCI (10A2.2A) 3.810-59.210-5 DCR 1100M 0.810-51.010-4 ACV 10mV1000V(10Hz1MHz) 5.010-5 1.810-3 ACI 1mA2.2A(10Hz10kHz) 1.810-4 7.210-3 共39页 第3页 三、构成测量标准的测量器具及配套设备名 称型号规格出厂编号生产国别厂家购进时间测量范围允许误差极 限校准(检定)机构校准(检定)时间校准(检定)证书号测量器具多功能校准源5720A93355202美国Fluke2006DCV: (10mV1000V)DCI : (10A2.2A)DCR: 1100MACV: 10mV1000V (10Hz1MHz)ACI: 1mA 2.2A (10Hz10kHz)4.310-64.810-51.010-55.910-51.810-4 中国航天科技集团公司第五研究院第五一四研究所2009-4-27DD09-2955配 套 设 备数字多用表8508A884750232美国Fluke2005DCV:(10mV1000V)ACV: 10mV1000V(10Hz1MHz)DCI:(10A 20A)ACI: 1mA20A(10Hz10kHz)DCR: 1100M4.510-61.010-41.910-55.010-41.010-5上海市计量测试技术研究院2008-10-272008F11-20-001074 共39页 第4页 四、检定人员姓 名技术职称从事本专业年限检定专业项目检定员证号五、校准(检定)环境条件项目名称要 求实 际 情 况温度(202)(1822)湿度(4575) %RH(4575) %RH 共39页 第5页六、测量标准不确定度的评定(一)、直流电压1.1 评定5720A校准源直流电压11V量程10V点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:1.1.1 上级标准引入的标准不确定度分量为uB1。检定证书上直流电压10V点给出的相对扩展不确定度Ur=1.410-6(k=2),则:uB1= U/k = 1.410-6 10V /2 = 710-6 V1.1.2 5720A校准源输出直流电压10V引入的标准不确定度分量为uB2。其直流电压10V点的技术指标为(410-6输出3V)4310-6 V,置信概率为99%,k=2.58, 则:uB2=4310-6 V /2.58=16.710-6 V1.1.3 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB3。其直流电压10V点的调节细度为 110-6 V,半宽度为0.510-6 V,属于均匀分布,取k = 则:uB3=0.510-6 V /= 0.2910-6 V1.1.4 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB4。被检表分辨力(工作点直流电压10V)为0.110-6 V,半宽度为0.0510-6 V,属于均匀分布,取k =,则:uB4 = 0.0510-6 V /=0.02910-6 V 共39页 第6页六、测量标准不确定度的评定1.1.5 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由直流电压重复性评定所得的数据可以得出s(x)=2.710-7V,其中n=10, 则:uA = s(x)/= 2.710-7V /=0.08510-6 V1.1.6 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: =1.810-5V因此,5720A校准源直流电压11V量程10V点的合成标准不确定度=1.810-5V 扩展不确定度为 =3.610-5V (k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 3.610-61.2 评定5720A校准源直流电压220mV量程10mV点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:1.2.1 5720A校准源输出直流电压10mV引入的标准不确定度分量为uB1。其直流电压10mV点的技术指标为(7.510-6输出0.4V) =4.7510-4 mV,置信概率为95%,k=2, 则:uB1=4.7510-4 mV /2=2.37510-4 mV 共39页 第7页六、测量标准不确定度的评定1.2.2 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB2。其直流电压10mV点的调节细度为 110-5 mV,半宽度为0.510-5 mV,属于均匀分布,取k = 则:uB2=0.510-5 mV /= 2.910-6 mV1.2.3 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB3。被检表分辨力(工作点直流电压200mV)为110-6 mV,半宽度为0.510-6 mV,属于均匀分布,取k =,则:uB3 = 0.510-6 mV /=0.2910-6 mV1.2.4 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由直流电压重复性评定所得的数据可以得出s(x)=1.510-5mV,其中n=10, 则:uA = s(x)/= 1.510-5mV /=4.710-6 mV1.2.5 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: =2.410-4mV因此,5720A校准源直流电压220mV量程10mV点的合成标准不确定度=2.410-4mV扩展不确定度为 = 4.810-4mV (k =2)共39页 第8页六、测量标准不确定度的评定相对扩展不确定度为 Ur= 4.810-51.3 综上所述,直流电压的不确定度范围是:3.610-64.810-5 共39页 第9页六、测量标准不确定度的评定(二)、直流电流2.1 评定5720A校准源直流电流2.2mA量程1mA点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:2.1.1 上级标准引入的标准不确定度分量为uB1。检定证书上直流电流1mA点给出的相对扩展不确定度为Ur =3.910-6 (k=2),则:uB1= U/k =3.910-61mA /2 = 1.9510-6mA2.1.2 5720A校准源输出直流电流1mA引入的标准不确定度分量为uB2。其直流电流1mA点的技术指标为(4010-6输出8nA) = 4810-6mA,置信概率为99%,k=2.58,则:uB2= 4810-6mA /2.58=18.610-6mA2.1.3 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB3。其直流电流1mA点的调节细度为110-6mA,其半宽度为0.510-6mA,属于均匀分布,取k =,则:uB3 = 0.510-6mA /= 0.28910-6mA2.1.4 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB4。被检表分辨力(工作点直流电流1mA点)为0.110-6mA,其半宽度为0.0510-6mA属于均匀分布,取k =,则:uB4= 0.0510-6mA /= 0.028910-6mA共39页 第10页六、测量标准不确定度的评定2.1.5 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由直流电流重复性评定所得的数据可以得出s(x)=1.710-7 mA,其中n=10, 则:uA = s(x)/= 0.053810-6mA2.1.6 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 1.910-5mA因此,5720A校准源直流电流2.2mA量程1mA点的合成标准不确定度为:= 1.910-5mA扩展不确定度为 =3.810-5mA (k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 3.810-52.2 评定5720A校准源直流电流2.2A量程1A点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:2.2.1 上级标准引入的标准不确定度分量为uB1。检定证书上直流电流1A点给出的相对扩展不确定度为Ur =4.310-6(k=2),则:uB1= U/k =4.310-61A /2 =2.1510-6A2.2.2 5720A校准源输出直流电流1A引入的标准不确定度分量为uB2。其直流电流1A点的技术指标为(8010-6输出12A) 共39页 第11页六、测量标准不确定度的评定= 9210-6A,置信概率为95%,k=2,则:uB2= 9210-6A /2=4610-6A2.2.3 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB3。其直流电流1A点的调节细度为110-6A,其半宽度为0.510-6A,属于均匀分布,取k =,则:uB3 = 0.510-6A /= 0.28910-6A2.2.4 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB4。被检表分辨力(工作点直流电流1A点)为0.110-6A,其半宽度为0.0510-6A属于均匀分布,取k =,则:uB4= 0.0510-6A /= 0.028910-6A2.2.5 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由直流电流重复性评定所得的数据可以得出s(x)=1.810-7 A,其中n=10, 则:uA = s(x)/= 0.056910-6A2.2.6 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 4.610-5A因此,5720A校准源直流电流2.2A量程1A点的合成标准不确定度为:= 4.610-5A 共39页 第12页六、测量标准不确定度的评定扩展不确定度为 =9.210-5A (k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 9.210-52.3 综上所述,直流电流的不确定度范围是:3.810-59.210-5 共39页 第13页六、测量标准不确定度的评定(三)、直流电阻3.1 评定5720A校准源直流电阻1k点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:3.1.1 上级标准引入的标准不确定度分量为uB1。检定证书上直流电阻1 k点给出的相对扩展不确定度Ur= 210-6(k=2),则:uB1 = U/k = 210-61k/2= 110-6k3.1.2 5720A校准源输出直流电阻1k点引入的标准不确定度分量为uB2。其直流电阻1k点的技术指标为1010-6输出1010-6k,置信概率为99%,k=2.58,则:uB2 = 1010-6k/2.58=3.8810-6k3.1.3 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB3。其直流电阻1k点的调节细度为110-7k,其半宽度为0.510-7k,属于均匀分布,取k = ,则:uB3 =0.510-7k/= 0.028910-6 k3.1.4 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB4。被检表分辨力(工作点直流电阻1k点)为110-7k,半宽度为0.510-7k,属于均匀分布,取k =,则uB4= 0.510-7k/= 0.028910-6 k 共39页 第14页六、测量标准不确定度的评定3.1.5 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由直流电阻重复性评定所得的数据可以得出s(x) = 1.110-7k,其中n=10, 则:uA= s(x)/ =0.03510-6 k3.1.6 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 4.010-6 k因此,5720A校准源直流电阻1k量程的合成标准不确定度为:= 4.010-6 k 扩展不确定度为 =0.8010-5 k(k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 0.8010-53.2 评定5720A校准源直流电阻100M点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:3.2.1 上级标准引入的标准不确定度分量为uB1。检定证书上直流电阻100M点给出的相对扩展不确定度Ur= 1.010-5(k=2),则:uB1 = U/k = 1.010-5100M/2= 110-3M3.2.2 5720A校准源输出直流电阻100M点引入的标准不确定度分量为uB2。其直流电阻100M点的技术指标为10010-6输出1.010-2M,置信概率为95%,k=2,则: 共39页 第15页六、测量标准不确定度的评定uB2 = 1.010-2M/2=5.010-3M3.2.3 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB3。其直流电阻100M点的调节细度为110-5M,其半宽度为0.510-5M,属于均匀分布,取k =,则:uB3 =0.510-5M/= 2.8910-6 M3.2.4 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB4。被检表分辨力(工作点直流电阻100M点)为110-5M,半宽度为0.510-5M,属于均匀分布,取k =,则uB4= 0.510-5M/= 2.8910-6M3.2.5 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由直流电阻重复性评定所得的数据可以得出s(x) = 1.710-4M,其中n=10, 则:uA= s(x)/ =5.410-5 M3.2.6 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 5.110-3 M因此,5720A校准源直流电阻100M量程的合成标准不确定度为:= 5.110-3 M 共39页 第16页六、测量标准不确定度的评定扩展不确定度为 =1.010-2 M(k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 1.010-43.3 综上所述,直流电阻的不确定度范围是:0.8010-51.010-4 共39页 第17页六、测量标准不确定度的评定(四)、交流电压4.1 选用5720A校准源交流电压22V量程10V(1kHz)点来评定交流电压的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:4.1.1 上级标准引入的标准不确定度分量为uB1。检定证书上交流电压10V(1kHz)点给出的相对扩展不确定度Ur=1.810-5 (k=2), 则:uB1= U/ k = 1.810-510V /2 = 9010-6V 4.1.2 5720A校准源输出交流电压10V引入的标准不确定度分量为uB2。其交流电压10V(1kHz)点的技术指标为(5210-6输出70V)59010-6V,置信概率为99%,k=2.58,则uB2=59010-6V /2.58= 22910-6V 4.1.3 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB3。其交流电压10V(1kHz)点的调节细度为1010-6V,其半宽度为510-6V, 属于均匀分布,取k =, 则uB3= 510-6V /= 2.8910-6V4.1.4 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB4。被检表分辨力(工作点交流电压10V(1kHz)点)为1010-6V,其半宽度为510-6V,属于均匀分布,取k =,则 共39页 第18页六、测量标准不确定度的评定uB4= 510-6V /= 2.8910-6V4.1.5 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由交流电压重复性评定所得的数据可以得出s(x)= 1.110-5V,其中n=10,则:uA= s(x)/= 3.4810-6V4.1.6 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 2.510-4 V 因此,5720A校准源交流电压22V量程10V(1kHz)点的合成标准不确定度为:= 2.510-4 V 扩展不确定度为 = 5.010-4 V(k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 5.010-54.2 选用5720A校准源交流电压22V量程10V(1MHz)点来评定交流电压的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:4.2.1 5720A校准源输出交流电压10V引入的标准不确定度分量为uB1。其交流电压10V(1MHz)点的技术指标为(150010-6输出3200V)18.210-3V ,置信概率为95%,k=2,则uB1=18.210-3V /2= 9.110-3V 共39页 第19页六、测量标准不确定度的评定 4.2.2 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB2。其交流电压10V(1MHz)点的调节细度为1010-6V,其半宽度为510-6V, 属于均匀分布,取k =, 则uB2= 510-6V /= 2.8910-6V4.2.3 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB3。被检表分辨力(工作点交流电压10V(1MHz)点)为1010-6V,其半宽度为510-6V,属于均匀分布,取k =,则uB3= 510-6V /= 2.8910-6V4.2.4 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由交流电压重复性评定所得的数据可以得出s(x)= 1.510-4V,其中n=10,则:uA= s(x)/= 4.710-5V4.2.5 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 9.110-3 V 因此,5720A校准源交流电压22V量程10V(1MHz)点的合成标准不确定度为:= 9.110-3 V 扩展不确定度为 = 1.810-2 V(k =2)共39页 第20页六、测量标准不确定度的评定相对扩展不确定度为 Ur= 1.810-34.3 综上所述,交流电压的不确定度范围是:5.010-51.810-3共39页 第21页六、测量标准不确定度的评定(五)、交流电流5.1 评定5720A校准源交流电流22mA量程10mA(1kHz)点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:5.1.1、上级标准引入的标准不确定度分量为uB1。检定证书上交流电流10mA(1kHz)点给出的相对扩展不确定度Ur=1.210-4 (k=2), 则:uB1= U/ k = 1.210-410mA /2 = 610-4mA5.1.2、5720A校准源输出交流电流10mA引入的标准不确定度分量为uB2。其交流电流10mA(1kHz)点的技术指标为(14010-6输出400nA)= 1810-4mA,置信概率为99%,k=2.58,则:uB2= 1810-4mA /2.58= 7.010-4mA5.1.3、由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB3。其交流电流10mA(1kHz)点的调节细度110-4mA,其半宽度为0.510-4mA,属于均匀分布,取k =,则uB3= 0.510-4mA /=0. 28910-4mA5.1.4、由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB4。被检表分辨力(工作点交流10mA(1kHz)点)为0.110-4mA,其半宽度为0.0510-4mA,属于均匀分布,取k =,则 共39页 第22页六、测量标准不确定度的评定uB4= 0.0510-4mA /=0.028910-4mA5.1.5、测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由交流电流重复性评定所得的数据可以得出s(x)= 1.210-5mA,其中n=10,则 :uA= s(x)/= 0.037910-4mA5.1.6 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 9.210-4mA因此,5720A校准源交流电流22mA量程10mA(1kHz)点的合成标准不确定度为:= 9.210-4mA 扩展不确定度为 = 1.810-3mA(k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 1.810-45.2 评定5720A校准源交流电流2.2A量程1A(10kHz)点的不确定度,各标准不确定度分量来源如下:5.2.1 5720A校准源输出交流电流1A引入的标准不确定度分量为uB1。其交流电流1A(10kHz)点的技术指标为(700010-6输出160A)= 7.210-3A,置信概率为95%,k=2,则:uB1= 7.210-3A /2 = 3.610-3A共39页 第23页六、测量标准不确定度的评定5.2.2 由5720A校准源调节细度引入的标准不确定度分量为uB2。其交流电流1A(10kHz)点的调节细度110-5A,其半宽度为0.510-5A,属于均匀分布,取k =,则uB2= 0.510-5A /=0. 28910-5A5.2.3 由被检表的分辨力引入的标准不确定度分量为uB3。被检表分辨力(工作点交流1A(10kHz)点)为110-6A,其半宽度为0. 510-6A,属于均匀分布,取k =,则uB3= 0. 510-6A /=0. 28910-6A5.2.4 测量标准重复性引入的标准不确定度分量为uA。由交流电流重复性评定所得的数据可以得出s(x)= 5.110-6A,其中n=10,则 :uA= s(x)/= 1.610-6A5.2.5 以上各不确定度分量相互独立,则合成标准不确定度为: = 3.610-3A因此,5720A校准源交流电流2.2A量程1A(10kHz)点的合成标准不确定度为:= 3.610-3A 共39页 第24页六、测量标准不确定度的评定扩展不确定度为 = 7.210-3A(k =2)相对扩展不确定度为 Ur= 7.210-35.3 综上所述,交流电流的不确定度范围是:1.810-47.210-3共39页 第25页七、测量标准重复性(一)、直流电压10V点重复性用8508A数表对5720A校准源直流电压11V量程10V点,在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出直流电压10V给8508A数表,测量结果如下: 序号xi (V)19.99998726E-083.6E-1529.9999870-1.4E-071.96E-1439.99998726E-083.6E-1549.99998742.6E-076.76E-1459.9999868-3.4E-071.156E-1369.9999871-4E-081.6E-1579.9999868-3.4E-071.156E-1389.99998775.6E-073.136E-1399.9999870-1.4E-071.96E-14109.99998726E-083.6E-159.99998714/重复性按下式计算=2.710-7 Vs(x) 2/3uc(2/3uc=1.210-5 V)结论:直流电压10V点测量重复性符合要求。共39页 第26页七、测量标准重复性(二)、直流电压10mV重复性用8508A数表对5720A校准源直流电压220mV量程10mV点,在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出直流电压10mV给8508A数表,测量结果如下: 序号xi (mV)110.000362-8.8E-067.744E-11210.0003922.12E-054.4944E-10310.0003821.12E-051.2544E-10410.0003821.12E-051.2544E-10510.000352-1.88E-053.5344E-10610.000354-1.68E-052.8224E-10710.000353-1.78E-053.1684E-10810.0003851.42E-052.0164E-10910.0003712E-074E-141010.0003754.2E-061.764E-1110.0003708/重复性按下式计算=1.510-5 mVs(x) 2/3uc(2/3uc=1.610-4 mV)结论:直流电压10mV点测量重复性符合要求。 共39页 第27页七、测量标准重复性(三)、直流电流1mA重复性用8508A数表对5720A校准源直流电流2.2mA量程1mA点,在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出直流电流1mA给8508A数表,测量结果如下:序号xi (mA)11.0000089-1.1E-071.21E-1421.0000088-2.1E-074.41E-1431.0000089-1.1E-071.21E-1441.00000921.9E-073.61E-1451.0000088-2.1E-074.41E-1461.00000932.9E-078.41E-1471.0000090-1E-081E-1681.00000919E-088.1E-1591.00000919E-088.1E-15101.0000090-1E-081E-161.00000901/重复性按下式计算=1.710-7 mAs(x) 2/3uc(2/3uc =1.310-5 mA)结论:直流电流1mA点测量重复性符合要求。 共39页 第28页七、测量标准重复性(四)、直流电流1A重复性用8508A数表对5720A校准源直流电流2.2A量程1A点,在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出直流电流1A给8508A数表,测量结果如下:序号xi (A)11.00030056E-083.6E-1521.00030061.6E-072.56E-1431.0003004-4E-081.6E-1541.0003002-2.4E-075.76E-1451.00030061.6E-072.56E-1461.00030072.6E-076.76E-1471.0003002-2.4E-075.76E-1481.00030061.6E-072.56E-1491.0003003-1.4E-071.96E-14101.0003003-1.4E-071.96E-141.00030044/重复性按下式计算=1.810-7 As(x) 2/3uc(2/3uc =3.110-5 A)结论:直流电流1A点测量重复性符合要求。 共39页 第29页七、测量标准重复性(五)、直流电阻1k重复性用8508A数表对5720A校准源直流电阻1k点在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出直流电阻1k给8508A数表(实际输出值为:1.0000400k),测量结果如下:序号xi (k)11.00004651E-071E-1421.0000463-1E-071E-1431.00004640041.0000463-1E-071E-1451.00004651E-071E-1461.0000463-1E-071E-1471.0000463-1E-071E-1481.00004640091.00004662E-074E-14101.0000464001.0000464/重复性按下式计算=1.110-7ks(x) 2/3uc(2/3uc =2.710-6 k)结论:直流电阻1k点测量重复性符合要求。 共39页 第30页七、测量标准重复性(六)、直流电阻100M重复性用8508A数表对5720A校准源直流电阻100M点在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出直流电阻100M给8508A数表,测量结果如下:序号xi (M)1100.00656-7.5E-055.625E-092100.006728.5E-057.225E-093100.006900.0002657.0225E-084100.006673.5E-051.225E-095100.00655-8.5E-057.225E-096100.00630-0.0003351.12225E-077100.006800.0001652.7225E-088100.00663-5E-062.5E-119100.006739.5E-059.025E-0910100.00649-0.0001452.1025E-08100.006635重复性按下式计算=1.710-4Ms(x) 2/3uc(2/3uc =3.410-3M)结论:直流电阻100M点测量重复性符合要求。 共39页 第31页七、测量标准重复性(七)、交流电压10V重复性用8508A数表对5720A校准源交流电压22V量程10V点(频率为1kHz),在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出交流电压10V(1kHz)给8508A数表,测量结果如下:序号xi (V)19.99972-4E-061.6E-1129.999736E-063.6E-1139.99972-4E-061.6E-1149.999741.6E-052.56E-1059.99972-4E-061.6E-1169.999741.6E-052.56E-1079.999736E-063.6E-1189.99971-1.4E-051.96E-1099.99971-1.4E-051.96E-10109.99972-4E-061.6E-119.999724/重复性按下式计算=1.110-5Vs(x) 2/3uc(2/3uc =1.710-4 V)结论:交流电压10V(1kHz)点测量重复性符合要求。 共39页 第32页七、测量标准重复性(八)、交流电压10V(1MHz)重复性用8508A数表对5720A校准源交流电压22V量程10V点(1MHz),在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出交流电压10V(1MHz)给8508A数表,测量结果如下:序号xi (V)110.013450.0003491.21801E-07210.013290.0001893.5721E-08310.013154.9E-052.401E-09410.01300-0.0001011.0201E-08510.01302-8.1E-056.561E-09610.01303-7.1E-055.041E-09710.01303-7.1E-055.041E-09810.01300-0.0001011.0201E-08910.01304-6.1E-053.721E-091010.01300-0.0001011.0201E-0810.013101重复性按下式计算=1.510-4Vs(x) 2/3uc(2/3uc =6.110-3 V)结论:交流电压10V(1MHz)点测量重复性符合要求。 共39页 第33页七、测量标准重复性(九)、交流电流10mA(1kHz)重复性用8508A数表对5720A校准源交流电流22mA量程10mA点(1kHz),在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出交流电流10mA(1kHz)给8508A数表,测量结果如下:序号xi (mA)19.99977-9E-068.1E-1129.999781E-061E-1239.99977-9E-068.1E-1149.999781E-061E-1259.999791.1E-051.21E-1069.99976-1.9E-053.61E-1079.99977-9E-068.1E-1189.999781E-061E-1299.999802.1E-054.41E-10109.999791.1E-051.21E-109.999779/重复性按下式计算=1.210-5mAs(x) 2/3uc(2/3uc =6.110-4 mA)结论:交流电流10mA(1kHz)点测量重复性符合要求。 共39页 第34页七、测量标准重复性(十)、交流电流1A(10kHz)重复性用8508A数表对5720A校准源交流电流2.2A量程1A点(频率为10kHz),在短期内同一条件下进行10次测量,方法是:由5720A校准源输出交流电流1A(10kHz)给8508A数表,测量结果如下:序号xi (A)10.999790-1.18E-051.3924E-1020.999799-2.8E-067.84E-1230.999798-3.8E-061.444E-1140.9998031.2E-061.44E-1250.9998053.2E-061.024E-1160.9998031.2E-061.44E-1270.9998086.2E-063.844E-1180.9998042.2E-064.84E-1290.9998031.2E-061.44E-12100.9998053.2E-061.024E-110.9998018重复性按下式计算=5.110-6As(x) 2/3uc(2/3uc =2.410-3 A)结论:交流电流1A(10kHz
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