平面度(测量与评定)-形位公差之二.doc

二）、平面度误差的测量和评定方法1、平面度公差：被测平面对理想平面的允许变动量。 2、平面度公差带：距离为公差值t的两平行平面之间的区域。3、平面度误差的测量方法1）直接方法（1)间隙法 ：刀口尺、平尺等 （2）指示表法 ：调整被测表面与平板平行（即确定理想平面的位置），一般有两种方法：A、对角线法（四点法）：1 43 2调整支撑使被测表面两端点等高，即1点与2点等高，3点与4点等高（结果唯一但是不符合最小条件）.B、三点法： 3 1 22 31 调整支撑使被测表面最远三点等高（结果不唯一且不符合最小条件，实测结果偏大）按一定的布点测量被测表面，同时记录数值，一般可用指示表的最大读数与最小读数之差近似地做为被测平面的平面度误差。必要时可根据记录的示值用计算法（图解法）按最小条件计算平面度误差。（3）光轴法 ：自准直仪 将反射镜放在被测表面上，并把自准值仪调整到与被测表面平行，沿对角线按一定布点测量、重复上述方法分别测量另一条对角线和被测表面上其他各直线上的各布点。把各点示值换算成线值，记录在图表上，通过中心点建立参考平面，由计算法（图解法）按对角线法计算平面度误差。必要时按最小条件计算平面度误差。标准27页（4）干涉法 ：平晶将平晶放在被测表面上，观测它们之间的干涉条纹。平面度误差为： 对于封闭环形:平面度误差等于干涉条纹数光波波 长之半（图a）， 即 对于不封闭图形:平面度误差等于条纹的 弯曲度与相邻两条纹间距之比再乘以光波波 长之半（图b） 2）间接方法（1）布点形式 矩形平面的布点形式：网格布点、对角线布点园形平面的布点形式：网格布点、对角线布点园环形平面的布点形式：对于较宽的环形平面，其圆环测量线不得少于两圈，对于较窄的环形平面，可采用单圈测量线的形式。3）水平仪法4）斑点法4、 平面度误差的评定方法1）最小包容区域法；对被测平面的偏差进行旋转和平移，不改变被测平面的平面度评定结果，是以构成平面度最小包容区域的两平行平面之一作为理想平面。最小包容区域面的判定准则A、三角形准则有三个高极点（极点是实际被测平面与最小包容区域面的接触点）与一个极低点，或相反有三个低极点与一个高极点，其中的那个低极点（或高极点）位于三个高极点（或低极点）构成的三角形内或位于三角形的一条边上。这种情况说明被测平面是凹面或凸面。B、交叉准则有两个高极点和两个低极点，其各自的连线成互相交叉的形式。C、直线准则有两个高（低）极点与一个低（高）极点成直线排列，且那个低（高）极点在两个高（低）极点之间。2）.最小二乘法3）对角线平面法：适用于中、高精度的较大平面。 基准平面经过被测实际面的一条对角线，且平行于另一条对角线，实际面上距离该基准面的最高点与最低点的代数差即为该平面的平面度误差。+1 +2 +4+3 +5 +1+4 -1 +1 f=5-(-1)=6um4）三远点平面法：适用于低精度的中小平面，评定结果不唯一。 基准平面通过被测实际平面上相距最远且不在一条直线上的三点（通常为3个角点），实际面上距此基准平面的最高点与最低点的代数差近似为该平面的平面度误差。+1 +3 +7+2 +5 +2+1 -3 +1 f=7-(-3)=10um 5、 平面度误差的数据处理+2 -6 -2-4 +1 +1-2 +1 +22 -5.5 +1-4.5 +6 +1.5-3 0.5 +21 -6 -1-5 +1 +2-3 +1 +3 对角线法 f=2-(-6)=8um 1 -6 -1-5 +1 +2-3 +1 +32 -5.5 -1-4.5 +1 +1.5-3 +0.5 +2+2 -5 0-5 +1 +1-4 0 +2最小区域法 f=2-(-5)