GE涂层坩埚外观检查标准(电路级).docVIP

GE涂层坩埚外观检查标准外观标准#102 污物 (表面) (DRT)定义:在坩埚的内表面或外表面上的外来物质。如表面簿膜、灰尘、水斑或周边污染。（见表面外业物质“暴露的夹杂物”）规定:不可见#104 细裂纹或裂纹(CRKX)定义:石英坩埚表面上的任何表面裂纹。细裂纹是细的开裂线，其以“V”形稍稍进入坩埚壁，当在检验灯下检验时，可以看到是一亮线。裂缝稍大，可看到是一线性裂口或由撞击而成的一圆形表面图形（有时呈彩虹色）规定:不可见#105 崩边 (CHPX)定义:坩埚表面有部分埚壁缺损而形成的完整的碎裂。1)内圈定义: 内表面上距开口10mm（0.4英寸）内的崩边规定:没有未修补过的崩边、修过的崩边；其最大尺寸为 水平方面10mm，垂直方面5 mm (0.40.2).2) 顶部圆周平面定义: 坩埚顶部园周平面内一完整的缺损（透明区域）规定:没有未修补过的崩边，修过的崩边；其最大深度为0.7 mm (.028)3) 外圈定义: 坩埚外表面上自顶部开口端起12.7mm（0.5）内的崩边。规定:无未修补的崩边、修过的崩边最大尺寸为12 mm x 12 mm (.47x.47).修补必须符合最小壁厚规则，即开口端起6.4 mm (1/4”)以下。4) 坩埚体内定义: 在坩埚内壁上，低于开口端环形区的崩边，环形区指自开口端起10mm（0.4）以下。规定:不可见（修过的或未修过的）#109 划道/擦伤 (SCR)定义:坩埚壁上，裸眼可见的，任何破坏内壁光泽的线条。（注：“破坏光泽”可用0.010非金属探针所受阻力探知）规定:1) 擦伤：没有使内表面光泽破坏或明显变暗的擦伤。2) 划道：没有大于0.010宽度的划道。#112 气泡(BUB), (DBUB) or (DMBB) 定义： 在环形区1.5以下，存在于石英中的球形空洞（穴）。规定：1) 侧壁 (W1)或角处壁 (W2)a) 没有超过0.062 (1.58mm)的。2) 底部壁 (W3)a) 没有超过0.080 (2.03mm)的。b) 超过0.062 (1.58mm)的不多于2个。3) 总的限定 (W1, W2, or W3)a) 在任何1圆周内，超过0.040 (1.02mm)的，不多于3个。b) 在任何66面积内（复合气泡除外），超过0 .020 (0.51mm)的不多于20个。(DMBB)c) 在任何1的圆周内，由于气泡而形成的凹坑不多于5个。(DBUB)d) 没有含有夹杂物或变色的气泡。 #112A 气泡团(采用单个气泡规则#112规则)定义:一个以上的气泡紧密集合成团或连在一起成为类似一个大的气泡，不在气泡团内，至少带有一个超过0.025的泡，可参见气化物#124C和气泡层#112C。规定:a) 将整个团视作一个大的气泡处理(缺陷 #112).b) 气泡团必须没有应力(见缺陷 #134).#112B 开口气泡 (OBB) 1) 外表面定义:坩埚面内破坏正常表面状态的一个孔洞。规定:a)不论深度，没有直径超过0.080（2mm）的b)没有深度超过壁厚1/3的。2) 无光泽的内壁孔洞定义:在内壁上像孔洞一样的凹陷，孔的周边尖锐状（如刀刃）规定:不可见 3) 有光泽的内壁孔洞(定义参见#124C气化物)定义:在内壁上像孔洞一样的凹陷，孔的周边为圆形，底部有光泽。规定:a)不论深度，没有直径超过0.080（2mm）的b)没有使坩埚壁减薄超过0.020 (0.5mm)的凹陷。#115 波纹 (波状的/凸起/凹起) (RIP) 定义:通常在坩埚内表面上的一种平滑而像波浪一样起伏的外观。“波纹”准则的限定范围也适用于内，外表面上的凹陷或凸起。限定范围:1)在整个坩埚上不允许有使埚壁厚超出公差的波纹，凹陷或凸起。2)在任何1长度范围内不允许有使壁厚变化大于0.20的波纹（在多自的W1，W2和W3壁上）3) 在任何1长的范围内（每一壁区W1，W2或W3内的两处）不允许有两处以上的使壁厚变化大于0.020的波纹存在。注1：这一规则不适用于附着物或环形区崩边的研磨修补，它们包括在各自的缺陷标准内。#116 外表精度 定义：外径表面状态限定：不允许有松散的物质（有细粒的）#119 环形区顶部平边（PCTX）“切口粗糙”定义：环形平面太窄或太宽限定范围：1)滚压过的边缘（RE圆形环边）2-4mm平边（除非另有规定）2)切割边缘（CE）最小平面为0.150(除非另有规定)#122 光泽差定义：指内表面的状态，用肉眼在标准的检验状态下（40瓦荧光灯），玻璃状的表面呈暗淡状。这些例子可能包括由于直接在内表面上喷砂造成的无光泽表面，或由过度酸洗或溶融时的污染造成的。对与光泽差还分的是实起的颗粒和气泡，参见#124缺陷，附着物及处理。限定范围：无肉眼可见的情况。#123 外径白斑（WSP）宝义：粘附于坩埚外周的部分熔融的砂粉块。限定范围：1) 在坩埚上大于0.062 (1.58mm)的斑点不大多5处。.2) 没有大于0.125 (3.18mm)直径的斑点。3) 没有高出表面0.040 (1mm)以上的白斑点。#124 附着物 (顶部距边1.5处除外) 定义:熔在坩埚内壁，但未完全熔入石英壁的石英料。特殊类型的附着物如以下规定：修补限定:修补必须是平滑的，最大直径不超过2mm（例外情况：10直径及以下的坩埚，在第一代设备上制造的，采用最大修补8mm的规定）。#124A 砂峰（米砂）(ADMX，若不能修理)定义：小而尖的部分熔融的石英砂，一般为直径0.5mm(0.020)及以下，另一端已熔入坩埚内壁。 限定范围：没有尖的的或突起的。#124B 突起的颗粒 (ADMX) 定义:已熔入坩埚内壁而又高出内壁表面的直径大于0.5mm(0.20)的石英颗粒。限定范围:1)没有无光泽的（尖的）或粗糙的突起物（这包括任何附于表面的物质或花纹，用0.010非金属探针能感知其阻力。这些颗粒比#124日定义的单个砂峰要大）。2)光泽的颗粒必须整个外周都是平滑而有光泽的，且直径不大于0.062（1.58mm）而高度大于0.020（0.5mm）时。3)每只坩埚不能有多于5个“光泽的颗粒”，即使它们单独都能通过。#124C 气化物 (VAP) 定义:起聚在坩埚内表面上的石英，通常有光泽，而成为壁的一部分。气化物的特征是一个明显的由均匀分布小细气泡组成的区域，单个气泡都在0.025（0.64mm）以下。气化物可能有乳白色外观，这是由透明的细泡以及在壁内光滑的细泡形成的表面凹坑（有光泽的凹陷）形成的。限定范围:1) 没有无光泽的或表面粗糙的 2) 没有超过40mm2 面积的单个气化物。(注: 40 mm2是3.1812.7, 410 mm, 58 mm; 或 7.1直径) 3) 长度大于0.125 (3.18mm) 气化物最多不能超过5个。#141 夹杂物A. 暴露在内表面的夹杂物 (OINC) 定义:任何在内表面中并暴露于内表面上的非石英物质的外来物，可视为在光泽的内表面中的一个断口。外来物:没有眼睛可见的。B. 不暴露的夹杂物(INC) 定义:完全处于坩埚壁内中的非石英的任何外来物。限定范围:1)在任何坩埚中，最大密度为25个0.010至0.020的夹杂物。.2)任何坩埚中，最多有10个直径为0.020（0.5mm）至0.060(1.5mm)的夹杂物。 3)在整个坩埚表面，最多有3个0.060(1.5mm)至0.080（2.0mm）的夹杂物，且这些夹杂物间最小间距为1时。4)没有直径在0.080