MEMS麦克风介绍.ppt

MEMSMicrophonePresentation AACAcousticTechnologiesHoldingsInc AAC MEMSMicrophonePresentation MEMS技术介绍 MEMSMicrophone介绍 MEMSMic优点 ProductionProcess ApplicationofProducts AAC MEMSMicrophone产品简介 MEMS MicroElectromechanicalSystem 即微电子机械系统 是指集微型传感器 执行器以及信号处理和控制电路 接口电路 通信和电源于一体的微型机电系统 概括起来MEMS具有以下几个基本特点 微型化 智能化 多功能 高集成度和适于大批量生产 MEMS技术的目标是通过系统的微型化 集成化来探索具有新原理 新功能的元件和系统 MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域 几乎涉及到自然及工程科学的所有领域 如电子技术 机械技术 物理学 化学 生物医学 材料科学 能源科学等 其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面 MEMS技术简介 AAC MEMSMicrophone产品简介 1 理论基础 在当前MEMS所能达到的尺度下 宏观世界基本的物理规律仍然起作用 但由于尺寸缩小带来的影响 ScalingEffects 许多物理现象与宏观世界有很大区别 因此许多原来的理论基础都会发生变化 如力的尺寸效应 微结构的表面效应 微观摩擦机理等 因此有必要对微动力学 微流体力学 微热力学 微摩擦学 微光学和微结构学进行深入的研究 这一方面的研究虽然受到重视 但难度较大 往往需要多学科的学者进行基础研究 MEMS技术简介 AAC MEMSMicrophone产品简介 2 技术基础 MEMS的技术基础可以分为以下几个方面 1 设计与仿真技术 2 材料与加工技术 3 装配与封装技术 4 测量与试验技术 5 集成与系统技术等 3 应用研究 人们不仅要开发各种制造MEMS的技术 更重要的是如何将MEMS技术与航空航天 信息通信 生物化学 医疗 自动控制 消费电子以及兵器等应用领域相结合 制作出符合各领域要求的微传感器 微执行器 微结构等MEMS器件与系统 MEMS技术简介 AAC MEMSMicrophone产品简介 MEMS微结构 MEMS晶圆排列 MEMS技术简介 AAC MEMSMicrophone产品简介 1 体积小 2 便于SMT安装 3 耐高温 稳定性好 4 灵活的设计应用 5 兼容数字化发展 6 自动化程度高 7 适合大批量生产 AAC MEMSMicrophone MEMSMicrophonePresentation MEMSMicrophone产品简介 MEMS麦克风是由MEMS微电容传感器 微集成转换电路 放大器 声腔及RF抗噪电路组成 MEMS微电容极头部分包含接收声音的硅振膜和硅背极 硅振膜可直接将接收到的音频信号经MEMS微电容传感器传输给微集成电路 微集成电路可将高阻的音频电信号转换并放大成低阻的音频电信号 同时经RF抗噪电路滤波 输出与手机前置电路相匹配的电信号 完成 声 电 转换 MEMSMicrophone工作原理 AAC MEMSMicrophone产品简介 Vout SiliconBackPlate Silicondiaphragm GND RFFilter MEMSMicrophoneModuleStructure Vsupply MEMSAcousticSensor ASIC AAC MEMSMicrophone产品简介 MEMSWafer MEMSDie MEMSMicrophoneWafer MEMSDie AAC MEMSMicrophone产品简介 MEMSMicrophoneProfile AAC Acousticporthole L W H 4 2 1 3 PIN FUNCTION1 OUTPUT 2 NOCONNECTION3 GROUND 4 POWER MEMSMicrophone产品简介 MEMSMicrophoneStructure AAC 1 2 3 6 7 8 5 4 MEMSMicrophone产品简介 PerformanceComparison AAC MEMSMicrophone产品简介 RecommendedInterfaceCircuit AAC AACMEMSMicrophone Term3 Term2 Term4 Term1 Vref ExternalGain R1 R2 Setbycustomer R2 R1 MEMSMicrophone产品简介 SolderReflowProfile AAC IncomingInspection WaferSawing WaferExpand SMT glueing Packaging Cutting Testing Marking Taping ShippingInspection Packing WaferFabrication Packaging WaferFoundry PickupandplaceMEMS WireBonding ReliabilityTest WaferTesting WaferInspection ProductionProcess AAC MEMSMicrophone MEMSMicrophone产品简介 CellularPhone CDMA GSM PCS CamcorderPhone MP3Phone PDAPhoneetc Camcorder DigitalCameraetc EarPhoneMICforHeadsets MP3 Bluetooth etc NotebookComputer Desk TopComputerVideoDoorPhoneetc CordlessPhone MEMSWaferFab MEMSPackaging ApplicationofProduct AAC