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附件附件 7 7 南昌大学本科生毕业设计 论文 书写式样南昌大学本科生毕业设计 论文 书写式样 一 页面设置 上 2 54cm 下 2 54cm 左 3 67cm 右 2 67cm 页眉 1 5cm 页脚 1 75cm 行间距 1 35 倍 二 目录 目录 两字小三号宋体加粗 目录内容小四号宋体 页码数字对 齐 三 页眉和页码 页眉和页码从中文摘要开始 页眉为相应内容的标题 页码 从中文摘要 Abstract 目录用罗马数字 I II III 编排 从正文第一章 开始按照阿拉伯数字 1 2 3 编排 四 摘要 1 中文摘要 标题小二号宋体加粗 专业 学号 姓名 指导教师 五 号宋体 摘要 两字四号宋体 摘要内容小四号宋体 关键词 三字 小四号宋体加粗 2 英文摘要 标题小二号 Times New Roman 体加粗 Abstract 四号 Times New Roman 体 Abstract 内容小四号 Times New Roman 体 Keyword 小四号 Times New Roman 体加粗 五 正文 标题四号宋体 正文内容小四号宋体 六 图表 图表内容五号宋体 七 参考文献 参考文献 四字四号宋体 参考文献内容小四号宋体 其中 英文用小四号 Times New Roman 体 八 致谢 致谢 两字四号宋体 致谢内容小四号宋体 具体书写式样如下 密级 NANCHANG UNIVERSITY 学学 士士 学学 位位 论论 文文 THESIS OF BACHELOR 20 20 年 题 目 学 院 系 专业班级 学生姓名 学号 指导教师 职称 起讫日期 校名外文 大写 Times New Roman 四号 居中 宋体 30 磅 居中 Times New Roman 四号 居中 中文 宋体 数字 Times New Roman 四号 居中 校徽标识 cm 3 33 3 33 居中 宋体 三号 居中 宋体 四号 居中 注意线条长度一致 页面设置 上 2 54cm 下 2 54cm 左 3 67cm 右 2 67cm 页眉 1 5cm 页脚 1 75cm 1 35 倍行距 应用于整篇文档 宋体 四号 居右 校名标识 cm 1 88 6 59 居中 南南 昌昌 大大 学学 学士学位论文原创性申明学士学位论文原创性申明 本人郑重申明 所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得 的研究成果 除了文中特别加以标注引用的内容外 本论文不包含任何其他个 人或集体已经发表或撰写的成果 对本文的研究作出重要贡献的个人和集体 均已在文中以明确方式表明 本人完全意识到本申明的法律后果由本人承担 作者签名 日期 学位论文版权使用授权书学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留 使用学位论文的规定 同意学校 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版 允许论文被查阅和 借阅 本人授权南昌大学可以将本论文的全部或部分内容编入有关数据库进行 检索 可以采用影印 缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文 保密 在 年解密后适用本授权书 本学位论文属于 不保密 请在以上相应方框内打 作者签名 日期 导师签名 日期 此页可直接下此页可直接下 载 摘要 I III 族氮化物及其高亮度蓝光族氮化物及其高亮度蓝光 LED 外延外延片的片的 MOCVD 生长和性质研究生长和性质研究 专 业 学 号 学生姓名 指导教师 摘要 宽禁带 III 族氮化物半导体材料在短波长高亮度发光器件 短波长激光 器 光探测器以及高频和大功率电子器件等方面有着广泛的应用前景 自 1994 年日本日亚化学工业公司率先在国际上突破了 GaN 基蓝光 LED 外延材料生长技 术以来 美 日等国十余家公司相继报导掌握了这项关键技术 并分别实现了 批量或小批量生产 GaN 基 LED 尽管如此 这项高技术仍处于高度保密状态 材料生长的关键思想及核心技术仍未公开 还无法从参考文献及专利公报中获 取最重要的材料生长信息 本论文就是在这种情况下立题的 旨在研究 GaN 基 材料生长中的物理及化学问题 为生长可商品化的高亮度 GaN 基 LED 外延材料 提供科学依据 本文在自制常压 MOCVD 和英国进口 MOCVD 系统上对 III 族氮化物的生长 机理进行了研究 对材料的性能进行了表征 通过设计并优化外延片多层结构 生长的蓝光 LED 外延片质量达到了目前国际上商品化的中高档水平 并获得了 如下有创新和有意义的研究结果 1 首次提出了采用偏离化学计量比的缓冲层在大晶格失配的衬底上生长单 晶膜的思想 并在 GaN 外延生长上得以实现 采用这种缓冲层 显著改善了 GaN 外延膜的结晶性能 使 GaN 基蓝光 LED 器件整体性能大幅度提高 大大降 低了 GaN 基蓝光 LED 的反向漏电流 降低了正向工作电压 提高了光输出功率 本文得到了国家 863 计划 国家自然科学基金以及教育部发光材料与器件 工程研究中心项目的资助 关键词 关键词 氮化物 MOCVD LED 卢瑟福背散射沟道 光致发光 光透射 谱 宋体 小二号 居中 宋体 五号 对齐居中 页眉 中文宋体 五号 居中 标题 宋体 四号 两端对齐 1 35 倍行距 内容 中文宋体 外文字符 Times New Roman 小 四 两端对齐 1 35 倍行距 关键词 关键词 三字加粗 关键词用 分 隔 Abstract II Study on MOCVD growth and properties of III nitrides and high brightness blue LED wafers Abstract GaN based nitrides have potential applications on high brightness LEDs short wavelength lasers ultraviolet detectors high temperature and high power electronic devices Study on physics issues and technologies of nitrides open a new area of 3th generation semiconductor More than ten companies in America and Japan reported to have developed the nitrides growth technology since Nichia company in Japan first realized the commercialization of GaN based blue LED in 1994 In this thesis GaN and its ternary were grown by a home made atmosphere pressure metalorganic chemical vapor deposition MOCVD and Thomas Swan 6 2 MOCVD systems High bright blue LED wafers were obtained by optimizing the nitrides growth technology and wafer structure Some encouraging results are following as 1 We present the idea of using a buffer layer of deviation from stoichiometry for materials growth on large lattice mismatch substrates This idea was realized in nitrides growth in this thesis The epilayer crystalline quality was improved and the dislocation density was decreased by using GaN low and high temperature buffer layers of deviation from stoichiometry The RBS channeling spectra exhibited that the minimum yield min of GaN layers was just only 1 5 The leak electric current of GaN based LED was obviously decreased and lower than 1 A at 5 volt reverse voltage by using this new buffer technology This work was supported by 863 program in China Keyword Nitrides MOCVD LED Photoluminescence RBS channeling Optical absorption 页眉 外文 Times New Roman 五号 居中 Times New Roman 小 二号 居中 标题 Times New Roman 四号 两端对齐 1 35 倍行距 内容 Times New Roman 小四 两端对齐 1 35 倍行距 关键词 Keyword 三字加粗 关键词用 分隔 目录 III 目录目录 摘要 Abstract 第一章 GaN 基半导体材料及器件进展 多数文章为 绪论 1 1 1 III 族氮化物材料及其器件的进展与应用 1 1 2 III 族氮化物的基本结构和性质 4 1 3 掺杂和杂质特性 12 1 4 氮化物材料的制备 13 1 5 氮化物器件 19 1 6 GaN 基材料与其它材料的比较 22 1 7 本论文工作的内容与安排 24 第二章 氮化物 MOCVD 生长系统和生长工艺 31 2 1 MOCVD 材料生长机理 31 2 2 本论文氮化物生长所用的 MOCVD 设备 32 结论 136 参考文献 References 138 致谢 150 宋体 小三号 居中 目录内容 中文宋体 英文和数字 Times New Roman 小四 页码编号 摘要 Abstract 使用页码 I II 正文开始使用页码 1 2 3 小节标题左侧缩 进 1 字符 页码数字居中对齐 第一章 GaN 基半导体材料及器件进展 1 第一章 GaN 基半导体材料及器件进展 1 1 III 族氮化物材料及其器件的进展与应用 在科学技术的发展进程中 材料永远扮演着重要角色 在与现代科技成就 息息相关的千万种材料中 半导体材料的作用尤其如此 以 Si 为代表的第一代 半导体诞生于 20 世纪 40 年代末 它们促成了晶体管 集成电路和计算机的发 明 以 GaAs 为代表的第二代半导体诞生于 20 世纪 60 年代 它们成为制作光 电子器件的基础 III 族氮化物半导体材料及器件研究历时 30 余年 前 20 年进展缓慢 后 10 年发展迅猛 由于 III 族氮化物特有的带隙范围 优良的光 电性质 优异的材料机械和化学性能 使得它在短波长光电子器件方面有着广 泛的应用前景 并且非常适合制作抗辐射 高频 大功率和高密度集成的电子 器件 III 族氮化物半导体材料已引起了国内外众多研究者的兴趣 1 2 III 族氮化物的基本结构和性质 表表 1 1 用不同技术得到的带隙温度系数 用不同技术得到的带隙温度系数 Eg0 c和和 T0的值的值 样品类型实验方法 带隙温度系数 dEg dT eV K T 300K Eg0 eV c eV K T0 K 参考文献 GaN Al2O3光致发光 5 32 10 43 5035 08 10 4 99661 GaN Al2O3光致发光 3 4897 32 10 470059 GaN Al2O3光致发光 4 0 10 4 7 2 10 460062 GaN Al2O3光吸收 4 5 10 4 3 471 9 3 10 477263 章标题 中文宋体 英文 Times New Roman 四号居中 节标题 中文宋体 英文 Times New Roman 四号居左 正文文字 中文宋体 英文 Times New Roman 小四 两端对齐 段落首行左缩进 2 个汉字符 行距 1 35 倍 段落中有数学公式时 可根据表达需要设置该段的 行距 段前 0 行 段后 0 行 表标题置于表的上方 中文宋体 英文 Times New Roman 五号加粗居中 表序与表名文 字之间空一个汉字符宽度 内容 中文宋体 英文 Times New Roman 五号 行距 1 35 第一章 GaN 基半导体材料及器件进展 2 加热电阻 气流 测温元件 测温元件 图图 1 1 热风速计原理热风速计原理 图标题置于图的下方 中文宋体 英文 Times New Roman 五号加粗居中 图序与图名文 字之间空一个汉字符宽度 内容 中文宋体 英文 Times New Roman 五号 行距 1 35 第二章 氮化物 MOCVD 生长系统和生长工艺 31 第二章 氮化物 MOCVD 生长系统和生长工艺 2 1 MOCVD 材料生长机理 转换控制 频率设置 波形数据设置 图图 2 1 DDS 方式方式 AWG 的工作流程的工作流程 频率信 号 源 频率控 制 器 地址发 生 器 波形存 储 器 转换器 滤波器 参考文献 138 参考文献 1 Well Multiple modulator fraction n divider P US Patent 5038117 1986 02 02 2 Brian Miller A multiple modulator fractionl divider J IEEE Transaction on instrumentation and M
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