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编号：6377802
类型：共享资源
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上传时间：2017-12-12
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链式
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一、设备用途链带式烧结炉主要应用于半导体器件、金属陶瓷、可控硅器件、玻璃封装器件以及各种厚膜电路的烧结和焊接、排腊、烘干等工艺，是一种连续工作的隧道式结构烧结炉。二、概述 ：该设备是采用网带式输送器件进行工艺过程的隧道式结构设备，可用惰性气体进行保护，加热和冷却段炉膛采用高温优质不锈钢材质加工而成，分别承担器件的加热和冷却过程的功能。此设备加热区分为七段每段 500mm,共计 3500mm、四面加热 7 点控温，链带速度采用变频无级调速，设备有完善的供气、供电系统及气体保护措施，电控系统简单，可靠性高；设备具有多种故障报警及安全连锁装置。三、主要技术数据：1、 工作温度范围：300600 2、 常用温度：400 3、 炉膛内截面均匀性： 1.54、 加热区：分六段加热控制5、 链带传送速度：30300mm/min 、无级调速6、 链带宽度：240mm7、 炉子全长为 11 米共包括：工作台、 （机头、机尾两段长各为 900mm） 、冷却段、加热段。8、 炉膛口径：260mmx170mm( 炉腔有效尺寸) 9、 气路系统：氮气气体流量：氮气=300700L/min10、 冷却段冷却方式：水套冷却水11、 进出口封口形式：氮气幕帘+机械幕帘12、 动力条件：1） 电源：电压 AC380V 三相五线制、50HZ 功率45KW2） 冷却水： 软水、水压0.2MPa、流量根据冷却温度情况适当调整。13、 设备外形尺寸：11000mm(L)X900mm(W)X1500mm (H) 四、设备结构：图 4-1 设备整体构架图1、出口工作台 2、出口点火装置 3、电气控制面板 4、气路控制面板 5、框架 6、冷却端炉膛 7、加热段炉膛 8、进口点火装置 9、进口工作台 10、主电路板 11、水路 12、气路 13、减速机 14、主传动机构 整个设备呈水平长条状结构，右手操作（以控制面板为准） ，进出料为右进左出。整体可分为进料工作台、主机部分、出料工作台。主机部分为：机架、传动系统、炉膛、电气部分。1） 机头部分分为：工作台、链带校准机构、机械、气幕帘部分。1.1 工作台： 工作台为方管框架式结构，工作台面为优质不锈钢材质，主要为装载物料提供操作平台。工作台中部是链带行走通道，可由此位置将物料放置在链带上，由链带输送到炉膛。为便于操作，链带的位置与工作台位置保持相对水平，可从侧面直接将物料装入和取出。1.2 链带校准机构由于设备本身的链带较长，在运行过程中容易产生左右偏移，本设备配有进出口链带校准导向轴承，在运行中与链带产生滑动摩擦，有效地减少链带摩擦，并能致使链带进行校准运行。1.3 机械、气体幕帘：为防止空气进入炉膛氧化器件，本设备设计配有进出口机械幕帘、气体幕帘。机械幕帘采用薄质不锈钢材料，安装在进出炉口，活动灵活，主要阻挡进出口因进出物件的空气进入。气体幕帘一般采用氮气封口，在接近进炉膛进出口的部位在炉膛内部，两侧和上部均匀的排列通气小孔，充气时气体可从小孔喷出的气流形成一道气幕帘，有效地将保护气体封在炉膛内，同时防止外部空气进入。2） 框架：设备得整个机架为框架式结构，有标准的优质方管焊接而成，外部装有优质冷轧钢板弯制的护板，机架和护板进行表面喷塑的防腐工艺，计架的内部装有炉膛、链带工作通道、冷却水路、气路管道、及冷却水套、传动系统、电器控制系统及加热、保温元件。2.1 炉膛（工作通道）炉膛（工作通道）采用耐高温不锈钢板弯制焊接而成，根据使用要求共分为两段：一为加热段、二为冷却段。两段有不锈钢法兰和石墨垫连接密封；炉膛的进出口设有机械幕帘和氮气幕帘，在炉膛的冷却段设有冷却水套，排列均匀起到很好的冷却效果，并且每段的进出水有调节阀门，可根据工艺要求进行调节。炉膛的形状为起脊式的结构，防止高温加热致使炉膛变形。另外进出口处设有氢气燃烧装置，将残余的氢气燃烧和将废气排出功能。2.2 加热段：加热段通常分为预热段和、等温段。预热段是为保护等温段有适当的区域长度，在工艺上完成物料的预热，为进入等温区打好基础。等温段是做各种工艺的主要区域，此区域的控制温度精度和长度的适合与否，是各种物料工艺过程的质量的关键，因此，每种工艺有不同的等温段长度要求和温度高低的要求。此加热段共有七段（七组） ，每组有四块组成，由于加热的温度所要求，加热板有上下两块和两块侧加热板组成。每块加热板长度 500mm,总加热长度3500mm,对加热炉膛进行四面加热，使物件受热均匀。加热板结构为挂板式组合结构，拆卸维修方便。加热板采用刚玉材质，面对炉膛一面制有镶嵌加热电阻丝的凹槽，便于对炉膛进行加热，电阻丝采用 0Cr21Al6Nb 合金，使用寿命长。在加热板的外面保温材料采用优质硅酸铝保温块加硅酸铝纤维毯来保温。外保温架为角钢框架结构，外护板为冷轧钢板制成，其上安装各段加热板的接线绝缘子和接线柱，便于维修和拆卸。2.3 冷却段：冷却段采用优质不锈钢板制成，外水套和冷却段炉膛中间设置了同等材质的加强支柱，冷却水沿着下进上出的流向，使冷却效果得到充分的体验，在进水口处增设了调节阀门，可根据出口物料的温度效果进行自由调节，建议一般情况下水套的水压为0.2MPa，在冷却水的出口端设有水温检测传感器，可将水温的数值显示在控制面板的水温仪表上。3） 传动系统：传动系统是由调速电机、减速机、链轮、链带、传动滚轮组成。链带主传动设有手动摇杆，便于非正常停电时，可将物件推出。3.1 调速电机采用国内优质产品，调速可在 30300mm 范围内连续可调。3.2 减速机采用标准摆线针轮减速机。3.3 链带采用横穿密编式结构方式，可有效地减轻载荷并能有效地传导热能。3.4 三辊式主传动机构，最大效能的传递了运行效率，主动辊的外敷高温橡胶，增大了链带与主动辊的摩擦力，传动包角可根据使用进行调整。3.5 手摇机构：以防在工作中突然停电，致使物件受损，可将手摇把套入主动辊的方形轴端，将离合器脱离并进行旋转便可将物件推出。离合器操作特别提示：由于传动离合器的结构是巨型啮合齿式结构传动的，因此离合器的齿受运动方向扭矩的力很大，用机械式的直接脱离方式较为困难。一旦遇到停电，其脱离的方式是：先将主动辊的大齿轮的锁紧圆螺母松开适当的距离，将手摇把套入后部的方形柄中，向逆时针方向稍加转动，然后用手拉动大齿轮将其脱离。恢复通电后，将大齿轮向内推动使离合器啮合并锁紧两只圆螺母即可。4）气路系统：此系统设有气体减压器和各路浮子流量计，气体减压器将系统气体压力减压到0.2MPa 后分别进入各个分气路中，由各个浮子流量计分别进行调节至工艺需要的流量，然后进入进出口气幕帘、加热段底部气室两端进气口，进行工艺操作。五、调试指导1、链带的张紧图 4-2 主传动机构示意图1、2张紧辊，3主传动辊，4滑块轴承，5螺纹杆步骤：1） 、穿链带前先将 1、2 张紧辊向两边移动至最大距离，将设备两端传动辊子的轴承调松，但不要太过松弛，然后穿链带并连接好链带，此时链带处于略微松弛状态。2） 、扭转 5 螺纹杆，推动 4 滑块轴承向 3 主传动辊侧靠近，从而使 1、2张紧辊同时向 3 靠近，实现链带的张紧，并且增大了链带在 3 主传动辊上的围包角，使链带与主传动辊的接触面积增大，从而增大了摩擦力。当链带出现打滑故障时，重复上述操作可消除链带打滑。注：在扭转 5 螺纹杆时，必须同时扭转同一侧张紧辊的两根螺纹杆，张紧合适程度视现场情况而定。2、链带的偏移调整图 4-31炉膛，2链带，3辊子，4、5轴承，6、7螺纹杆链带运行会出现的几种状态如下所示：67图 4-4链带正常状态图 4-5链带偏移状态（一）图 4-6链带偏移状态（二）1） 、出现链带偏移状态（一）时，链带表现为向图 4-3 中黄色箭头方向偏移，出现这种状态后，先将 4、5 轴承调至微松弛状态，顺时针扭转 6 螺纹杆，调整 3 辊子到正常状态（如图 4-4） 。反之，则调整 7 螺纹杆。出现2） 、出现链带偏移状态（二）时，链带在炉膛内的表现为图 4-6 红圈处所示的状态，出现这种状态后，同样将 4、5 轴承以及对面的两个轴承调至微松弛状态，顺时针扭转 6 螺纹杆及与之所成对角线的轴承（图 4-6 中蓝色圈标记） ，直至达到正常状态。反之，则调整另外两个呈对角线的轴承。注意，由于链带运行缓慢，调整偏移时要微调，一次调整量不要过大，否则容易导致链带偏向另一端3、点火丝的更换炉膛两端各有一套尾气排放装置，装置内有两根点火丝用来引燃尾气内所含的 H2，其中一根为备用点火丝，正常情况下只有一根点火丝工作，当正常工作的点火丝发生故障而停止工作后，系统会自动跳转到备用点火丝以维持设备的正常运转，但是严禁长时间使用备用点火丝，等到完成当前工艺或者每日正常停止工作后，停机更换点火丝。由于点火装置一直处于高温状态，更换点火丝前确保该装置已经冷却至室温状态方可进行更换工作。点火丝更换步骤如下：正常工作状态下，点火装置如下图所示：图 4-71瓷座，2固定螺钉，3接线螺钉，4点火丝，5点火丝杆54321图 4-81） 若主点火丝损坏，需要更换时，按照图 4-8 所示拧松相关螺钉后，可移开瓷座，瓷座与点火丝杆脱离后可取出损坏的点火丝。2） 换上新的点火丝后，把瓷座恢复原位拧紧螺钉，接通电源，检查是否能正常工作后方可开机工作。4、加热板的更换图 4-9 加热段炉膛保温块及保温棉纵向剖视图1、 侧接线护板 2、保温棉 3、上护板 4、测温热偶 5、上加热板 6、侧加热板 7、下加热板A 处放大图示 B 处放大图示 1234后侧 前侧756加热板引出线AB图 4-10 标记 A 处实物照片图 4-11 前侧单独加热区实物接线图上加热板引出线侧加热板引出线侧加热板引出线上加热板引出线图 4-12 后侧单独加热区实物接线图如果生产过程中某一加热区发生加热板损坏，表现为该区加热电流明显降于其他加热区，该区温控仪表显示温度在升温过程中升温速度明显低于其他加热区域，这时先按照图 4-11，图 4-12 中标示的，拆开接线柱，使各个加热板的引出线互不相连，然后检测同侧加热板的两根引出线是否断开，如有损坏需更换新加热板，更换时请按照如下步骤进行（在进行下面操作时请确认炉膛温度达到室温，否则容易造成烫伤）：1、 将图 4-10 中红圈标记处的螺丝拧松，然后拔出热偶，放置合适的位置，以免碰伤热偶；2、 将图 4-9 中上保温护板与侧接线板之间的链接挂锁打开及途中标记 B 处的螺母拧松，包括对面的螺母，可将保温外护板拆卸下来；3、 拆下保温护板后，可看到保温棉（如图 4-9 中所示结构） ，剥开保温棉时尽量不要采用割断，如果非要采用割断方式，不要一刀割下，要使相邻两层侧加热板引出线侧加热板引出线下加热板引出线下加热板引出线保温棉的切断处错开，防止热量沿着缝隙迅速流失；4、 剥离保温棉后，即可看到加热板（如图 4-9 中所示） ，拆卸顺序为先拆上加热板，再拆后侧加热板，再抽出下加热板。拆除加热板时最好做好位置标记，以便在更换好加热板后的装配过程中方便安装；加热板随机带有备品，详细信息可参照实物获得。5、 更换好加热板后，按照与拆卸相反的步骤进行，进行过程特别要注意保缝隙的处理，不要缝隙能够直达加热板，尤其在进行铺保温棉的时候，更要保证缝隙要交错叠加，否则热量流失会很严重。六、设备的保养1、在设备停止工艺烧结时当炉温高于 200时必须通入 N2，只有炉温降到200以下才可以关闭 N2；2、加热炉在升到高温的情况下，网带不可长时间停止运行；3、加热炉要求分段加热，不可频繁启停加热；4、气体加热温度不可高于 200；5、对于设备的水冷套应作日常检查，检查设备各部分有无明显变形， 、漏水等
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