浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点

浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点 项目技术总结 公司 本项目是为 市 光电第 6 代 LTPS OXIDE LCD AMOLED 显示面板生产线项目提供 符合相关要求的二次工艺制程排气系统 即从机台端至主系统 Take off 点之间 Hook up 排 气配管施工 本专业 通风专业 所负责的是 1 号建筑一 二层的二次配排风系统 主要 系统有 工艺一般排风系统 GEX 酸废气排风系统 SEX 碱废气排风系统 AEX 有机 废气排风系统 VEX SOX Stripper 排风系统 STX CVD 粉尘排风系统 CVD 工艺补风系 统 OA 由于二次配施工是直接与各种设备打交道 施工质量是与后续厂房生产产品的效 率和质量直接相关 所以施工过程中质量和节点的把控为二次配施工重中之重 一 一 材料规划 材料规划 二次配施工中没有具体提前设计好的施工图纸 只有设备 Layout 平面图以及设备 UM 需求表 前期提量基本都是按点位提量 存在一定的经验值 由于特氟龙风管 不锈钢风 管均不允许现场开口 镀锌风管不允许现场制作三通 二次配排风所有的主材 比如直管 弯头 三通 测试口短管 特气侦测口短管等部件均是由生产厂家制作好后发至现场 这 样 前期材料的统计提量就是个很大的挑战 既然是经验提量 思路往往就会受到以往项目的干扰 比如重庆京东方 L10 层上方空 间较大 二次配主管基本已紧贴 L10 层顶棚 到对应机台点位处加三通便可走支管与设备 端相连 这样考虑每个点位 4 个弯头已经足够 而 项目 L10 层空间很有限 很多时候 系统包主管上有母线 母线上有盖板 盖板上偶尔会有消防管 二次配主管从上面过不去 只能向下翻弯 由此便会至少增加两个弯头 同时还会增加排液点 且 项目还有更令人 头疼就是 孔 不像京东方的井格梁布局使得配管更加方便 有时候会出现这样的情况 设备接口没有正对高架地板 高架地板开口没有正对 孔 这样配管基本都是一路弯曲到 设备接口的 所以每个点弯头的数量会至少增加 3 至 5 个 针对不同项目而言 还需要具体问题具体分析 务必需要仔细勘察现场 项目前期的 整体规划和布局很重要 尤其对于本项目这种情况 一开始就进入项目高峰期 材料的供 应直接影响节点保证 所以材料是二次配成败的重点把控对象 也是保证机台 Turn on 节 点的关键所在 2 2 负载规划负载规划 在二次配施工之前 负载规划是非常重要的一步 虽然主系统图纸已经设计出每个机 台所使用 Take off 点 但是还是会出现以下几种情况 1 实际会勘 UM 和原设计 UM 需求量不符合 由于 UM 表的变更 可能会导致后续机台 运行流量不够 2 原设计的机台 Take off 点被挡住 无法使用 3 实际 Move in 机台数量多于原计划 即原设计中没有设计新机台的 UM 需求 需重 新为该机台规划 Take off 点位 以上三种情况均可能会导致 Submain 主管的负载不足 在这条主管的 Take off 点的使 用率越来越高的情况下 后续所接机台可能会因为流量不够而 Down 机 举例 1 1 号酸排气主系统所接设备为 TCISC100 TCISC200 TCISC300 每台用量 60cmm 如下表 由上表便可清晰看出该 Submain 主管共 23 个 Take off 点 接三台设备 Submain 设 计量为 300cmm 机台需求量 180cmm 使用负载比为 60 由上表还可知 此 Submain 还有 120cmm 的富余量 假如此区域后续还有设备 Move in 在满足富余量的前提下 此主管上依然可以继续接设备 举例 2 18 号酸排气主系统所接设备为 TCCVD320 TCCDO300 TCCVD420 TCCDO400 合 计用量 245 6cmm 如下表 由上表可清晰看出该 Submain 主管共 12 个 Take off 点 接四台设备 Submain 设计 量为 234cmm 机台需求量 245 5cmm 使用负载比为 105 由上表还可知 此 Submain 已经超出原设计负载 那么先查看其相邻 Submain 负载用 量是否有富余 17 号 Submain 酸排气负载如下 由此可知 17 号用量为 76 仍有富余 54cmm 且该系统 Take off 点也有富余 所以 原 18 号系统上可以把其中一个机台 比如 TCCD0300 的 Take off 点改至 17 号主系统上 如此 17 号和 18 号主系统均不会超负载 也满足了机台负载需求 同时 为更加直观的清楚每条 Submain 主系统所连接哪些设备 绘制主系统轴测 PID 图也是贯穿二次配施工的主要工作 这样对后期设备调试也很有帮助 主系统轴测 PID 图 可以非常清晰的知道每条主系统所连的具体设备 在主系统屋面风机和设备运行出现问题 时候 可以清楚知道可能会受到影响的涉及该 Submain 的其他设备 如下图 一般排气系统轴测 PID 图 所以 二次配前期对机台负载进行整体规划非常有必要 机台 Move in 分期进行 同 一条主系统会同时有 Light on Phase1 Phase2 Phase3 的设备 如若不提前做整体规划 Light on 和 Phase1 的设备应该会很容易满足负载 但是随着 Submain 所接的设备越来越 多 Phase2 尤其是 Phase3 的设备很可能会超出原设计负载 在本项目虽然 Phase3 的设备 不在包内 但是设计人员早期是有把 Phase3 的设备规划至主系统内的 所以甲方也要求我 们考虑 Phase3 的设备需求 三 三 图纸以及成本规划 图纸以及成本规划 由于二次配没有设计给出的具体施工平面图纸 且二次配涉及的专业系统不少 PCW PV Exhaust Chemical CDA Drain 特气管道等 虽说管路尺寸都不大 但是个别机台 管路复杂 如 CVD DRY 等大机台 也会常遇到管道被挡的情况 此时图纸整体空间管理规 划则尤为重要 施工前出图纸 每种管道在自己该在的位置上 不但美观且不影响其他管 路走向 同时 如若管路过长和弯头过多会使得压力损失过大 对后期设备运行不利 从成本上分析 二次配不像洁净包 二次配按点位按实结算 每个点有规定的标准长 度 点的计算以实际点数计算 结合实际米数除以标准米数 点的实际长度 L1 除以报价标 准米数 L 即 L1 L N N 小于 2 计算为 1 个点 N 大于 2 且小于 3 计为 2 个点 以此类 推 比如规定每 20 米一个点位 即这个点做到了 0 L 40 则结算为一个点 做到 40 L 60 结算成两个点 所以按照这种计算方法即使做到 39 米还是会结算为一个点 如 此便会亏损 19 米 标准长度规定如下 如上述包定义内点位计算方法实在是比较令人头疼的 这种计算方式说明了并不是所 有的点位做的越长越好 这个长度是有限度的 Take off 点管径均为 300 设备接口管径 一般小于 Take off 点管径 那么对于一拖多 即一个 Take off 点带多个设备接点 的情 况 怎么去合理分配 Take off 点到 Tee 的长度和 Tee 到 POU 的长度很重要 需要考虑的是 对于 Take off 点距离设备比较近和 Take off 点数量有富余的情况下 多做这种点位原则上是有利的 但是考虑到底选择一拖几的问题值得推敲 此外二次配主 管和支管的长度怎么分配也值得考虑 才能够实现最终利益最大化 对于 Take off 点距离 设备比较远的情况下 这种点位如若不提前规划好 亏损可能性非常大 需考虑问题同上 若真的亏损要实现亏损最小 由此可见 图纸的深化设计和成本控制不可分割 合理的管路规划会降低施工成本以 及施工难度 所有的技术和设计最终都应该回归到成本和利润上 4 4 质量管控质量管控 二次配施工作为电子厂房施工的最后一道工序 是直接与机台设备对接 其施工质量 将直接影响厂房后续显示面板生产良品率 如若由于二次配施工质量导致设备正常运行而 Down 机 其损失将不可预估 二次配施工质量的管控主要从以下几个方面把握 1 材料进场检验 所有材料进场前均需先和质量相关人员进行自检 而后经业主以及第三方质量人员进 行检验 合格后方可进场 不符合洁净室规范以及损坏严重材料均不得使用 并立即退场 2 施工前指导 每个班组施工机台前 需向该班组长指明 Take off 点使用情况 并找到该机台所有 需要施工的点位和点位具体接续名称 SEX GES VEX AEX CVD OA STX 对于需要区分干湿 排的点位必须标示并告知清楚 如有特殊要求的机台也需要提前告知 以免后续的二次施 工 3 施工中检查 本项目每个点包含 Duct 弯头 三通 风阀 风压表 特气侦测口 支架以及末端 盲板的安装 需要考虑的类项比较多 由于机台调试期间不允许停机 更换其中任何一项 都比较困难 为避免二次施工 施工过程中的检查很重要 做到亡羊补牢 4 Turn on 前检查 二次配每个机台的 Turn on 都是很重要的节点 所以做 Turn on 前的最后检查很有必 要 检查管路连接的完整性 负压表安装的正确性 螺栓的紧固性 支架的安装以及加固 情况等 这些都是影响机台 Turn on 的因素 Turn on 前是必须一项项排查的 5 调试中检查 每个机台 Turn on 后设备方都有为期不短的调试时间 调试时候机台的运行是极不稳 定的 较容易出现的问题有 清洗机的漏水问题 水经常倒灌入排气管内 压力表超量程 问题 前期由于 Submain 所挂的设备少 负压比较大 导致管内负压已超出负压表量程 由此可能会造成负压表的损坏 软管破损问题 由于机台接口形式的限制 一些机台必须 使用软管连接 软管硬度是远不如硬管的 有破损风险 以上问题多出现在机台试运行调 试阶段和正式运行阶段 所以在试运行阶段若发现并及时解决相关问题 不断优化方案 则在后续正式生产阶段风险便会