【JX133】LZG-30单头螺杆型干式真空泵的建模与仿真[KT+FY+SW]【2A0】
收藏
资源目录
压缩包内文档预览：(预览前20页/共35页)
编号：664636
类型：共享资源
大小：6.53MB
格式：ZIP
上传时间：2016-06-14
上传人：棒***
认证信息
个人认证
康**（实名认证）
湖北
IP属地：湖北
50
积分
- 关 键 词：
-
jx133
lzg
30
螺杆
型干式
真空泵
建模
仿真
kt
fy
sw
a0
- 资源描述：
-
【JX133】LZG-30单头螺杆型干式真空泵的建模与仿真[KT+FY+SW]【2A0】,jx133,lzg,30,螺杆,型干式,真空泵,建模,仿真,kt,fy,sw,a0
- 内容简介：
-
on of of of to a of a to by a a on GK by 20 mm of a . n of is or to or or in An of be to a to we an 2. of 1 a of of by a of a of of a it to as is by of 7K) 1. of of of of O, I, . In of of or of 2A) as of 11K) 2. of (A) of a of (B) is as a of by 2B) of e by a is of GK of in 1) is 2) P is MS a MC a by a by of L of We P S 3 , MC is by a of of Rr 3) 4) C=1/(1/), U=(2). Rr by GL 1 by 2. 3. of 4K) 3. a a a as 4, we or to (5) M is of 4. in et 4 . of 3K) 4. of of pi in is 6) is of MO O, MI I, of , of iO,iI,of to or by 7) c of In Tc , to i+1)th (6) 7) be pi t=0= t=(i=1,2,3, (8) 3. a . 5a to 5b to as a of in 00 Pa . of an of 10K) 5. (a) (b) 4. he as 1. of 2. . S. R. 1995, 3, 559 604. 2. V. 1980. 3. M. . 3 3 (1991), 466 477. 4. T. T. . B 64 621 (1998), 1419 1425. 5. T. T. H. on B 65 (637) (1999) 3048 3053. 6. Y. . J. 33 3 (1990), 92 94. 毕业设计 (论文 )外文资料翻译 系 别 ： 机电信息系 专 业： 机械设计自造及其自动化 班 级： 姓 名： 学 号： 外文出处： 万方数据库 附 件： 1. 原文 ； 2. 译文 2011 年 06 月 螺杆真空泵的性能预测的研究 摘要 调查螺杆真空泵的抽泵特性。该研究的目标是开创性能预测的一个方法和一种使设计满足特定需求的泵的方式。 我们平衡分析了在几何学的抽泵速度、净通过量和渗漏量之中的性能。 渗漏流过一个螺杆转子和一个定子、以及在二个啮合转子之间的间隙。 这些漏洞与流过标准的迷宫以被使线性化的 型为基础的结果一起估计。我们以 120 毫米直径 的转子为实验对象 , 测量了抽泵速度和极限压力。 测量值和预测值之间的比较显示了当前的方法对在实际应用中螺杆泵的表现的高效准确的预测。 1. 引言 近几年来，螺杆真空泵已经越来越受到重视 , 在泵中伴随着气体抽吸或者被浓缩或凝固时，因为泵的结构很简单，液体或气体难于积累。一个螺杆真空泵的分析模型将会对设计满 足特定要求的泵提供帮助，而且可以预测在为不同情况而设计的抽泵特性。 因此 , 我们为螺杆真空泵计划一个分析的模型。 2. 分析模型的概要 图 1 表示一对啮合的螺杆真空泵的转子。容积被螺纹槽封闭 , 当转子替换的時候，另一个转子和一个定子的齿顶分离气体并从入口侧到出口侧转移气体。 建造模型要在几何抽泵速度之和净通过量净渗透量之间平衡。 显示原尺寸这一个图像的版本 图 1. 螺杆真空泵的啮合转子的结构。 在螺杆真空泵内的渗漏的路径 在螺杆泵内有三种类型的间隙 , 也就是转子和定子之间的间隙 O, 转子之间的径向间隙 I, 和转子之间的轴向间隙。 在单线螺纹的情况 , 进入或者从第三个转移空间溢出的渗漏路径 (在图 2 A 出现 ) ，举例如下。 显示原尺寸这一个图像的版本 图 2. 间隙和渗漏的流动路径 : (A) 一对螺纹的转变 ; (B) 轴向间隙。 渗漏经过轴向间隙被认为是主要部分 (由直箭头，在图 2B)和次要部分 (弧形箭头 )的一个叠加。 评估渗漏的方法 我们以一个复合方法评估渗漏。该方法派生于理想迷宫的流程率和 程式流程率及漫反射。 经过转子和定子之间间隙和经过转子之间的轴向间隙的漏洞 , 两者都服从于下表的公式 (1) 而渗漏经过转子之间的径向间隙由下面公式给出 (2) 其中 通过一个狭缝质量流率， 于压力不同两个滚筒之间的质量流率是 于转子的转动两个转子之间的质量流率是 和 理想迷宫的质流率。 我们 分别地根据长谷川和 宋以及宋 和板仓 第 3和第 6的研究 得到对 这样一个事实决定 ，即由于速度 的 反对称性 无穷小的流量率等于一半 。 (3) 4) 因为 (1/), U=(2)。 由抛物线薄膜近似值 2 的 式 1 被获得。 结果在图 3 被显示。 显示原尺寸这一个图像的版本 图 个 圆柱和一个平面 的缝隙。 轴向间隙有一个非均匀的差距， 如 图 4所示 ，然后我们定义 平均值 或其代表的数量，适用上述评价方法。举例来说， (5) 定义 在图 4 出现的像透镜功能区域的平均方型间隙。 其他定义在 大林 隆之介 等人 4 和 5 的研究出现。 显示原尺寸这一个 图像的版本 图 4. 轴向间隙的宽度轮廓。 抽泵特性 假定压力等温地改变 , 在第 (6) 如果 V 是一转移体积的量 , 漏率经过 O， 漏率经过 I, 漏主要成份经过 , 漏的较小成份经过经由最小的缝隙并且 iO,iI,表上一个和下一个转换容器的数字之间的差别，而这些数字对应于通过标记而编入索引的间隙或路径。 平衡各方面的几何抽速，净流量和泄漏导致 (7) 即 发生这种情况：螺丝是单 线的 ， 则 / ，因为 经过了一半的循环第 i+1 个位置上 。 （ 6 ）及（ 7 ）可以按照下列 周 期条件解决： pi t=0= t=(i=1,2,3, (8) 3. 实验 以螺杆式真空泵进行了实验，其尺寸列在表 1 。图 5 速度 的对比测量和分析预测。图 限压力作为一个转速 的 函数 比较 。最终的压力和抽速 的 测量结果与预测 值 ，在进 口 压力 在 超过 100帕的范围都是可以调节的 。 表 1. 实验螺杆真空泵的尺寸 显示原尺寸这一个图像的版本 图 5. 实验的结果和分析的预测之间的比较 : (一 ) 抽泵速度和插入物压力比较 ; (b) 终极的压力和旋转速度比较。 4. 结论 结论归纳如下： 1 。 对 螺杆式真空泵进行了分析， 并提出了抽泵特性的分析模型 ; 2 。通过实验 证明了 分析模型的正 确性。这种模式有满意的精度， 可以 为实际应用。 参考文献 1 。第福井县，传译金子，分子气体膜润滑，在：手册中的微 /纳米摩擦学，华润新闻，佛罗里达， 1995年，第 13页。 559 2 。华总，香格里拉近日，五城堡，油膜润滑，出版社，纽约， 1980 年。 3 。米长谷川和 育课。流体 3 3 （ 1991 ） ，页。 466全文途经 4 。汤匙 汤匙，泽及米滨口。跨。日本公布。 械。英文。 b 64621 （ 1998 ） ，页。 1419年至 1425年。 5 。汤匙 汤匙泽，每小时宫，对螺杆式真空泵两个分段常数带头角度，跨。日本公布。 械。英文。 b 65 （ 637 ） （ 1999 年） 3048年至 3053年。 6 。耀玫瑰和 E 。板仓。 。日本公布。 33 3 （ 1990 ） ，页。 92 毕业设计中期报告 题目： 头螺杆 型干式 真空泵的建模和仿真 系 别 机电信息系 专 业 机械设计制造及其自动化 班 级 姓 名 学 号 导 师 2013 年 03 月 21 日 1 文）进展状况 体 方案设计 即阴阳转子型线 ) 率 转子齿形型线选择的要求如下： 1、 具有良好的轴向气密件，横向气密性； 2、 接触线长度应短； 3、 面积利用系数原则上应大，但面积利用系数选择还与其它的因素有制约，应综合分析； 4、 减少或避免漏气三角形，这点与型线种类有关； 5、 转子具有良好的工艺性，它对螺杆更快的发展有重要的意义 6。 基于以上原则及 真空泵 行 业情况综合考虑，本次设计中转子齿型选用单边非对称齿型。根据设计的要求 抽速为 30L/S,极限真空度 10,转子参数选取如下： 中心距 :A=100 阳转子齿数 :； 阴转子齿数 :； 阳转子节圆直径 :0 阴转子节圆直径 :20 阳转子外径 : 阴转子外径 : 转子长度 :L=190 转子长径比 :D/L=径为转子公称直径 )； 阳转子导程 :25旋 )； 阴转子导程 :旋 )； 阳转子扭转角 :300 ； 阴转子扭转角 :200 ； 面积利用系数 : 扭角系数 :C= 2 双螺杆泵螺杆尺寸按以下的关系式确定： 阳转子节圆直径 1/（ 1+） 阴转子节圆直径 d2= z2/ 阳转子 根圆直径 1） 阴转子顶圆直径 i+） 阴转子根圆直径 ） 转子螺杆长度 L=（ L/心距 A=d1+ 阴转子扭转角 2= 1/i 阳转子的导程 60 L/ 1 阴转子的导程 60 L/ 2 阳转子的转速（ r/ 0转子的转速（ r/ n2=n1/i 节圆螺旋角 = = 本设计中泵转子螺杆部分的几何尺寸选用标准系列。 取阳转子圆周速度 0m/s，则 阳转子转速 060 30/(阴转子转速 n2= 3 图 1 剖 面图 图 2 左 视图 图 3 主视图 4 图 4 俯视图 择外文文献 on of 译： 螺杆真空泵的性能预测的研究 本课题研究的重点在于 真空泵的 总体设计 。难点在于 阴阳转子型线的 计算 与校核 。 选择 总体设计 时一般应考虑 以下 问题： 用方面的问题， 如 真空泵 大小，内部结构，安装环境等 系统要求，如压力和流量的大小 、循环周期、操纵控制方 式等。 经济性问题，如使用量，购置及更换成本，货源情况及产品质量和信誉等。 尽量采用标准化、通用化及货源条件较好的产品，以缩短制造周期，便于互换和维护。 16 周： 设计 转子 结构 并 进行 图 。 18 周：整理资料、撰写毕业论文、准备答辩。 指导教师签字： 年 月 日 5 6 7 - 毕业设计 (论文 )开题报告 题目： 头螺杆型干式真空泵的建模和仿真 系 别 机电系 专 业 机械设计制造及其自动化 班 级 姓 名 学 号 导 师 2012 年 12 月 18 日- 1 1. 毕业设计综述 （一）：课题研究的目的和意义 随着科学技术的发展，真空技术越来越广泛 的应用在国民经济的各个领域之中。真空技术的应用，必须以性能优良的真空泵为前提。随着高新技术尤其是 业的飞速发展，给真空行业也拓展了更为宽阔的发展空间。同时对清洁的 、 环保的 、 无油的真空获得设备需求越来越大，无油真空泵的市场前景也越来越好。国外无油螺杆泵以被广泛应用，国内还处于研制阶段，因此国内无油螺杆真空泵具有广泛的发展潜力和市场。 总体来说，通过本课题我们可以对 螺杆型真空泵的设计 、发展趋势以及各种相关的基本原则做出更详细的分析和判断。 （二）：课题研究的背景 干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式 真空泵，一般认为是能在大气压到 10泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。 螺杆式真空泵特点如下： 2 1 可靠性高。螺杆式干式真空泵零件部件少，没有易损件，因此他运转可靠寿命长。 2 操作维护方便 3 动力平衡性好。螺杆式真空泵没有不平衡 的惯性力，机器平稳地高速运行。 4 适应性强。螺杆式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力影响。 5 多项混输。由于螺杆式真空泵转子齿面留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性 、 有毒 、 含有粉尘 、可凝性蒸汽等多种气体。 然而我国一些公司正在使用的螺杆型干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，所以应用并不广泛，造成这一现象的主要原因由于螺杆转子型线比较复杂，加工难度大，需用特制刀具在专用机床上进行加工，另外，对螺杆干式真 空泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。螺杆干式真空泵广泛应用于电子 、 核能 、 化工 、 医药 、 食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片 、 制造液晶显示器 、 蚀刻 、 生产 程。在核工业中用于反应堆及核工业真空获得；化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物；医药工业中用于回收药物及其药物中间体，为人造器官生产提- 2 供清洁无菌条件；食品工业中用于香料 、 香精浓缩 、 食品包装等。 1应用范围极为广泛。且干泵的种类很多，目前已开发 出来的有爪型泵 、 涡旋泵 、 往复活塞泵 、 螺旋泵等。 （三）： 国内外研究现状及发展趋势 自从第一台工业上可运行的干式泵 1984 年在日本运行以来，许多无油真空泵如雨后春笋般迅速发展起来，其中日本 、 美国 、 法国 、 德国最为先进。美国 司生产的 列产品，其真空度可达到 10是目前报道的单级干式真空泵中真空度最高的产品之一。而德国 司在 1997 年研制成功的 世界上第一台真正意义上的干式真空泵，他能满足流程工业中最苛刻的要求，该产品荣获“ 1998 年年度技术革新 奖”。以上两种真空泵均于沿转子长度上填充聚四氟乙烯用作密封以保持良好性能，他们同时也是无油真空泵的典型产品。 3 国外关于螺杆干式真空泵研究有许多内容。英国 限公司根据螺杆式压缩机原理设计出了一种双螺杆式真空泵，采用了许多新技术，并已形成批量生产， 该公司已成为时间低压与真空技术中的领军人物之一。美国 空设备有限公司 2002 年推出一款用于气体处理的新型式螺杆真空泵，该 螺杆式真空泵采用可变啮合设计，比其他类 真空泵耗能减少约 30%。普旭是全球 最有影响力的真空设备制造商之一，为客户提供了数量众多真空泵及真空系统。普旭 无油螺杆真空泵系列于 2003 年通过了应用材料公司美国实验室测试。应用材料公司在美国实验室将普旭 无油真空泵系列与其设备 安装在一起进行 测试 ，经过一年检测，结果证明普旭真空泵系列与其设备结合测试 的效果最好。之后普旭 又于 2004 年推出了表明经过特殊强化的螺杆型真空泵系列，可以抵抗目前已知的绝大多数活泼气体的腐蚀。 全球领先的 真空 和尾气处理技术的生产厂商 司发布一系列在苛刻的化学、石化和制药工艺过程中提供出色真空性能的全新干泵设备。易于使用的 采用尖端的锥形螺杆技术，具有卓越的可靠性，而且安装简单、环保并提供改进的液体和固体处理能力。因此，这些设备的运行成本符合经济原则，且用户可以优化其真空工艺，并最大限度地降低总体购置成本 。 4另外还有其他一些文献对螺杆型真空泵的性能方面进行了较多的研究。 国内，有关螺杆型真空泵的研究文献很少，只有上海博汇真空设备有限公司的周宝洪研制了一种干式真空泵 5，并申请了专利 ，但是并未见有成品报道。我国在螺杆转子型线设计方面很欠缺，生产泵的自动化程度不高，精度也不高，只能依赖进口。 2. 本课题研究的主要内容和采用的研究方案、研究方法或措施 与螺杆式压缩机类似， 如下图所示： - 3 螺杆式真空泵的工作过程可分为吸气 、 压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相通的工作循环，现在以一齿来说明。 1 吸气过程 螺杆真空泵的吸气过程。阳转子逆时针方向旋转，阴转子按顺时针方向旋转。下方转子端面是吸气端面，上为排气端面。 吸气过程即将开始的转子位置。在这一刻，这一对 转子 前端的型线完全啮合，且即将与吸气口连接。随着转子开始转动，由于齿的一端逐渐脱离啮合形成了齿间容积，这个齿间容积又仅与吸气口连通，因此 气体便在压差作用下流入其中 。在随后的转子旋转过程中，阳转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔保持连通。吸气过程结束时，其最显著的特点是齿间容积达到最大值。随着转子的旋转，所研究的齿间容积不会再增加。齿间容积在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。 2 压缩过程 螺杆泵的压缩过程。转子于端面是 排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。 下方 端面为吸气端面， 上 方为排气端面。 螺杆泵压缩过程即将开始时的转子位置。此时气体被转子齿 和机壳包围在一个封闭的空间中，齿间容积由于转子齿的啮合就要开始减小。 随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程， 压缩过程可一直持续到齿间容积即将于排气孔口连通之前。 3 排气过程 螺杆泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后，即开始排 气过程。随 着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出 。这个过程一直持续到齿末端的型线完全啮合，此时 ，齿间容积内的气体通过排气孔口被完全排出，封闭的齿间容积的体积变为零。 - 4 从上述工作原理可看出，螺杆型干式真空泵是一种工作容积作用回转运动的容积式机械真空泵。气体的压缩依靠容积的变化来实现，而容积的变化又是借助螺杆泵的一对转子在机壳内做回转运动来达到的。他的工作 容 积在周期性扩大和缩小的同时，其空间位置也在变更。 两转子示意图 3. 本课题研究的重点及难点，前 期已开展工作 1. 确定 螺杆转子 参数， 计算 极限真空度，设计螺杆结构。 2. 拟定 真空泵的装配图 。 3. 根据上述问题提出多种可能的设计方案，对各方案进行评价优选获得最佳设计方案。结合设计方案，进行相关分析、计算，包括关键零件或结构的计算、校核，确定主要零部件的结构；绘制出装配图，根据装配图，拆画主要零件的零件图。 4. 完成本课题的工作方案及进度计划 进度安排（ 1）调研、收集资料并完成开题报告 ；（ 2）熟悉 计开发工具 和确定总体设计方案 ；（ 3） 头螺杆型干式真空泵 及结构方 案详细设计并完善 ； （ 4）完成外文翻译、中期报告 ； 5）设计计算并完成零件图、装配图 ；（ 6）整理资料、撰写毕业论文、准备答辩 。 - 5 5 指导教师意见 （对课题的深度、广度及工作量的意见） 指导教师： 年 月 日 系主管领导： 年 月 日 - 6 参考文献 1 董铺 21 世纪照耀真空工业的新星 J,真空， 1997 2 徐成海等，干式螺杆机械真空泵及其应用 J，真空电子技术， 2002 3 江浩，新取真空技术 用机械， 2003 年第 9 期 4 创新的化学干式真空泵，中国科学仪器网编辑， 2011 年 12 月 21 日 5 周宝洪，干式螺杆真空泵的螺杆设计与计算，真空， 2001 年 6 月第 3 期 6 何云信 . 容积式真空泵结构形式的探讨 . 广西大学， 2002.（ 02） 7 王鑫 . 螺 杆型干式真空泵参数化软件的开发 . 东北大学， 2002.（ 02） 8 李锦云，杜经民，李宝仁 . 基于真空泵的正负压连续控制系统 . 2005. (12) 9 江浩 . 新型真空技术 干式真空泵 . 通用机械， 2003.（ 09） 10 王宝民 . 真空泵运行优化的探究 . 华北电力技术 , 2010. (08) 11 姜燮昌 . 真空泵的计算 . 通用机械， 2005.（ 02） 12 谌乾坤 . 干式真空泵的优化选择 . 集成电路应用 , 2004. 07 13 ,292,589 . 1996 14 2585512004 15 M. H. of J. 1988 头螺杆干式真空泵的建模与仿真 摘要 本文的研究对象 ,螺杆型干式真空泵 ,吸入腔没有任何工作液 ,保证了空间用泵无污染 ;没有油蒸汽排放 ,保证清洁的外部环境。由于转子齿面之间有间隙 ,因而可以抽除含有灰尘或腐蚀性的有毒气体。本课题主要集中在以下几个方面 :基本原理的干式螺杆真空泵 ,阴阳转子螺杆型线的研究 ,螺旋型面线是单边等螺距型线 ,演绎数学的计算 ,建立几何模型面型线方程推导 ,然后螺旋齿面方程推导。几何特征研究等。 设计完成后应用 件做运动仿真对真空泵转子做三维建模 ,并且模拟转子运动展示 其工作过程 . 关键词 :干式螺杆真空泵 转子 型线 三维建模 运动仿真 he of no is No of to in it be in to or on of of of is is is to do to D of of 目 录 绪 论 . 错误 !未定义书签。 1 螺杆型干式真空泵的概述 . 2 题背景及研究意义 . 2 杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向 . 错误 !未定义书签。 文包括的主要内容 . 错误 !未定义书签。 文的组织结构 . 6 2 螺杆干式真空泵转子型线的研究 . 7 见转子型线比较 . 7 头等螺距矩形螺纹转子型线 . 8 子型线要素 . 8 子型线设计原则 . 9 子螺旋齿面方程 . 10 3 螺杆干式真空泵工作原理 . 12 气过程 . 12 缩过程 . 12 气过程 . 13 4 螺杆干式真空泵设计计算 . 14 杆基本尺寸 . 14 气量 . 16 论排气量 . 16 际排气量 . 17 排气孔口 . 18 向进气口 . 18 向排气口 . 19 限真空度、功率及冷却水量 . 19 的强度计算 . 20 步齿轮的设计计算 . 20 轮尺寸计算 . 21 轮强度校核 . 21 5 单头螺杆干式真空泵的应用 . 22 用范围 . 22 气原理与结构 . 22 6 三维建模与运动仿真 . 23 绍 . 23 子三维建模 . 24 子运动仿真 . 26 结 论 . 27 参考文献 . 28 致 谢 . 29 I 本科毕业设计 (论文 ) 题目： 头螺杆型干式真空泵的建模与仿真 系 别： 机电信息系 专 业： 机械设计制造及其自动化 班 级： 姓 名： 学 号： 导 师 ： 2013 年 05 月 06 日 头 螺杆干式真空泵的建模与仿真 摘要 本文的研究对象 ,螺杆型干式真空泵 ,吸入腔没有任何工作液 ,保证了空间用泵无 污染 ;没有油蒸汽排放 ,保证清洁的外部环境。由于转子齿面之间 有间隙 ,因而可以抽除含有灰尘或腐蚀性的 有毒气体。 本课题 主要集中在以下 几个 方面 :基本原理的干式螺杆真空泵 ,阴阳转子 螺杆型线的研究 ,螺旋型面线 是 单边等螺距型 线 ,演绎数学 的计算 ,建立几何模型面型线方程推导 ,然后螺旋齿面方程推导。几何特征研究等。 设计完成后 应用 件做运动仿真 对真空泵转子做三维建模 ,并且模拟转子运动展示其工作过程 . 关键词 :干式螺杆真空泵 转子 型线 三维建模 运动仿真 he of no is No of to in it be in to or on of of of is is is to do to D of of 录 绪 论 . 1 1 螺杆型干式真空泵的概述 . 2 题背景及研究意义 . 2 杆真空泵在国内外的研究现状与发 展方向 . 4 文 包括的主要内容 . 5 文的组织结构 . 6 2 螺杆干式真空泵转子型线的研究 . 7 见转子型线比较 . 7 头等螺距矩形螺纹转子型线 . 8 子型线要素 . 8 子型线设计原则 . 9 子螺旋齿面方程 . 10 3 螺杆干式真 空泵工作原理 . 12 气过程 . 12 缩过程 . 12 气过程 . 13 4 螺杆干式真空泵设计计算 . 14 杆基本尺寸 . 14 气量 . 16 论排气量 . 16 际排气量 . 17 排气孔口 . 18 V 向进气口 . 18 向排气口 . 19 限真空度、功率及冷却水量 . 19 的强度计算 . 20 步齿轮的设计计算 . 20 轮尺寸计算 . 21 轮强度校核 . 21 5 单头螺杆干式真空泵的应用 . 22 用范围 . 22 气原理与结构 . 22 6 三维建模与运动仿真 . 23 绍 . 23 子三维建模 . 24 子运动仿真 . 26 结 论 . 27 参考文献 . 28 致 谢 . 29 绪 论 1 绪 论 1905 年德国人沃尔夫岗 旋片泵，从此各种以油为工作液、润滑剂、密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说 20 世纪是有油真空泵的世纪，那么 21 世纪将是干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体一起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子、化学、冶金、医疗、核聚变领域以及宇航、新材料的开发等技术领域 统的有油泵很难满 足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生一些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的一些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类 (湿式泵 )，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有干式要求 的，又不得不采用繁琐的物理、化学吸附，冷凝低温手段，从而使成本变得极其昂贵。如 :膜式泵，真空度不高，抽速小 ;吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排入大气和高真空机绍相连接的泵类各有其缺憾，因此导致了干式泵不适宜大工业的应用。 1 螺杆型干式真空泵的概述 2 1 螺杆型干式真空泵的概述 题背景及研究意义 干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，一般认为是能在大气压到 10在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵 ，也称无油真空泵。 干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干泵 1 。 一类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气；中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物；恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物（有毒甚至致癌 ）及固体颗粒物。 另一类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵、水喷射泵、水环泵、水环 往往系统过于庞大，噪声也很大，同时工作过程中会产生很多的废水和其他的排放物，处理排出废物的投资也很昂贵。 干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵、爪型泵、祸旋泵、往复活塞泵、螺旋泵等 几种典型的干泵性能的比较 . 毕业设计（论文） 3 表 种典型的干泵性能的比较 泵型 一般级数 单级压缩比 极限压力 （ 备注 大气端 真空端 罗茨泵 3 6 2 5 30 发热，需冷却 爪形 3 4 25 50 工、装配有难度 活塞型 4 15 25 15 20 抽带颗粒的气体 涡旋型 1 2 20 200 隙小、难装调 螺旋型 1 2 20 30 100 隙小、转速高 旋片型 2 15 20 10 15 抽带颗粒的气体 螺杆型 2 15 20 60 工比较困难 涡轮型 多级串联 20 3000 速高 螺杆式干式真空泵特点如下 : 可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。 操作维护方便。 动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。 适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响 . 多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 尽管螺杆型干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内一些公司 正在使用的螺杆型干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三、四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这一现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。 螺杆 干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产 核工业中用于核反应堆及核工业真空获得化工上 用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物 ;医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回毕业设计（论文） 4 收气体消毒剂 ;食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等。应用范围 广泛 。 杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向 自从第一台工业上可运行的干式泵 1984 年在日本运行以来，许多无油真空泵如雨后养笋般迅速发展起来，其中以日本、美国、法国、德国最为先进。美国里奥 )公司生产的 列产品，其真空度可以达到 a，这是目前报道的单级干式真空泵中真空度最高的产品之一。而德国 司在1997 年研制成功的 世界上第一台直正意义上的干式真空泵，它能满足流程工业中最苛刻的要求，该产品荣获德国“ 1998 年年度技术革新奖”。以上两种真空泵均于沿转子长度上填充聚四氟乙烯用作泵的密封以保持良好的密封性能，它们同时也是无油真空泵的典型产品 3 。 虽然干式真空泵的种类越来越多，但是通常的机械真空泵如爪式泵，其抽速难以做大， 而且制造难度也大，成本高 ;另外还有利用多叶级数进行串连的罗茨泵，其缺点与爪式泵相仿。在此种背景下诞生的干式螺杆真空泵则具有了其前辈真空泵类所不具各的很多优点，而这些优点则保证了干式螺杆真空泵的先进性及在应用中的优势。 国外关于螺杆真空泵性能的研究有许多内容。英国 限公司根据螺杆式压缩机原理设计出一种双螺杆干式真空泵，采用了许多新技术，并已形成批量生产 ,该公司已成为世界低压与真空技术中的领军人物之一。美国 空设备有限公司手 2002 年推出一款用于气体处理的新型 式螺 杆真空泵，该 螺杆泵采用可变啮合设计，比其他类 真空泵耗能减少约 30%。普旭是全球最有影响力的真空设备制造商之一，为客户提供了数量众多的真空泵及真空系统。普旭 无油螺杆真空泵系列于 2003 年通过了应用材料公司美国实验室测试。应用材料公司在美国实验室将普旭 无油螺杆真空泵系列与其设备安装在一起进行测试，经过一年检测，结果证明普旭真空泵系列与其设备结合测试的效果最好。之后普旭又于 2004 年推出了表面经特别强化的螺杆真空泵系列，可以抵抗日前己知的绝人多数活泼气休的腐蚀。另外还有其他一些文献对螺杆真空泵的性能等方面进行了较多的研究。 在国内，有关干式螺杆真空泵的研究文献很少。只有上海博汇真空设备有限公司的周宝洪研制了一种干式真空泵，并申请了专利，但是并未见有成品报道。目前国内外关于双螺杆干式真空泵转子型线设计方面的报道很少，主要内容集中于对螺杆真空泵性能的预测与配套装置、材料、加工方法和设备、螺杆泵的配件、密封条件等等内容的改进。目前由于各国多对自己的螺杆泵技术进行保密和竞毕业设计 （论文） 5 争，而我国在螺杆泵的设计方面仍然有很多具体的细节和技术难题还没有解决，在螺杆泵的设计方面没有达到世界一流 水平。在具体的螺杆泵的加工制造上，局限于我国的生产设备和加工条件，我国生产的螺杆泵自动化程度不高，精度也不高，在一些高档的螺杆泵上仍不能独立制造。因此中高档的真空泵仍然主要依赖于进口。 对于所有类型的真空泵，人们都希望能够将现有的真空泵的物理尺寸尽量减小。但是这一点与真空泵的抽气速率相矛盾。因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然还有一个影响真空泵抽气速率的因素，那就是转速。为了使小尺寸的真空泵与大尺寸的真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高其转速。而想要提高真空泵的转速可以采用 变频器来改变电源的频率或者改变齿轮箱的传动比。前者可以提供一个闭环控制，但是在大负载的情况下容易引起扭矩的损失。而改变齿轮箱的传动比是比较经济的一种方法，但是它只能提供不可控的单一转速。国外目前开发较多的是高转速的真空泵系列。 随着科学技术的发展，真空技术越来越广泛的应用在国民经济的各个领域之中。真空技术的应用，必须以性能优良的真空泵为前提。随着高新技术尤其是业的飞速发展，给真空行业也拓展了更为宽阔的发展空间。同时对清洁的 、环保的 、 无油的真空获得设备需求越来越大，无油真空泵的市场前景也越来越好。国外无 油螺杆泵以被广泛应用，国内还处于研制阶段，因此国内无油螺杆真空泵具有广泛的发展潜力和市场。 总体来说，通过本 论文 我们可以对螺杆型真空泵的设计、发展趋势以及各种相关的基本原则做出更详细的分析和判断。 文 题包括的主要内容 a 确定 单头螺杆转子 参数，计算 转子 尺寸，计算 转子 在工作循环中各阶段的压力、流量和功率使用值。 b 拟定 整体装配 图。 c 根据上述问题提出多种可能的设计方案，对各方案进行评价优选获得最佳设计方案。结合设计方案，进行相关分析、计算，包括关键零件或结构的计算、校核，确定主要零部件的结构 ；绘制出装配图，根据装配图，拆画主要零件的零件图。 d. 绘制阴阳转子三维图，进行转子运动仿真 毕业设计 （论文） 6 文的组织结构 本论文的组织结构如下： 第一章：介绍关于 单头螺杆干式真空泵 的开发背景、开发意义以及课题包括的主要内容。 第二章： 单头螺杆干式真空泵转子型线的研究 第三章： 单头螺杆干式真空泵的工作原理 第四章： 螺杆干式真空泵设计计算 第五章： 真空泵的应用 。 第六章： 总结 2 螺杆干式真空泵转子型线的研究 7 2 螺杆干式真空泵转子型线的研究 见转子型线比较 目前干式螺杆真空泵的主要生产厂家 多采用单头等螺距型线，其他还有多头双边对称圆弧型线、单头变螺距梯形螺纹型线、单头等螺距梯形螺纹型线和等螺距凹齿型线。 （ a）单头等螺距矩形螺纹转子 （ b）单头等螺距梯形螺纹转子 （ c）单头变螺距梯形螺纹转子 （ d）单头等螺距凹面转子 （ e）双边对称圆弧型线转子 图 种螺杆转子型线的三维造型毕业设计（论文） 8 单头等螺距矩形螺纹转子型线是最早出现的型线，由于有可能发生根切，即二级转子级间出现干涉现象，所以基本上已经不再使用。取而代之的是改进型的单头等螺距梯形螺纹转子，其截面形状由矩形改为梯形，解决了干涉问题，且加工方便 ，故为很过厂家广泛采用。单头变螺距梯形螺纹转子和单头等螺距凹面转子是近年来出现的新型型线，它是在单头等螺距梯形螺纹转子的基础之上改进而来的。单头变螺距梯形螺纹转子其主要特点为螺杆螺距从吸气端到排气端按变螺距系数变化，大导程一端对应于吸气口。开始时吸气量大，在转子转动过程中运动的封闭腔体越来越小，气体被压缩，具有内压缩作用，即边输送边压缩，从而能够降低整体的排气压缩功耗，并对发生在排气口的喘振现象有抑制作用，是泵的工作更为平稳，能够降低噪音和排气振动。头等螺距凹面转子进一步采用内凹齿面法将啮合齿面上可能发生干 涉的部分全部去除，是齿面成为向内凹曲的等螺距螺旋线共轭曲面。多头双边对称圆弧型线是最近几年出现的一种新型型线，它是在双螺杆压缩机型线的基础上发展而来的。一般阳转子为四头螺杆，阴螺杆为六头螺杆。 上述各种型线各有优缺点，要根据设计要求、加工制造能力、实际需求等多方面选择。从适用性方面来讲， 单头等螺距 型线适用面最广。由于该型线在一个导程内就可以完成吸气、压缩和排气的全过程并能达到一定的极限真空，这就能有效地减小泵的体积和质量，尤其适于大抽速要求的泵。单头型线由于要多级才能达到一定的极限真空，不可避免要增加泵的体 积，占用更大的空间，所以适用于中、小型泵。多头螺杆型线的缺点是型线复杂，加工资用昂贵，需用特制的刀具在专用机床上加工；而单头梯形齿型线由于各齿面在轴向剖面内的交线都是直线，所以加工时使用直刃车刀即可，只是变螺距型线要在数控车床上加工以保证精度。单头凹齿面型线的加工要比梯形齿型线稍复杂，但完全能在通用的数控车床上完成，大批量生产时可以选用铸造。另外，多头螺秆型线和单头变螺距型线由于在抽气过程中有内压缩，不适合抽除可凝吐气体，但减小了排气口的喘振和噪音，也减小了功率的消耗。 综合考虑各种型线的有缺点，本文决定选 择多头双边对称圆弧型线 。 头等螺距矩形螺纹转子 型线 子型线要素 对于螺杆泵转子型线的要求，主要是在齿间容积之间有优越的密封性能，因毕业设计（论文） 9 为这些齿间容积是实现气体压缩的工作腔。对螺杆泵性能有重大影响的转子型线要素有接触线，泄漏三角形，封闭容积和齿间面积等 . 1 接触线 螺杆泵的阴阳转子啮合时，两转子齿面相互接触而形成的空间曲线称为接触线 (图 2. 9)。接触线一侧的气体处于压力较高的压缩和排气过程，另一侧的气体则处于压力较低的吸气过程。如果转子齿面间的接触线不连续，则处于高压力区的气体 将通过接触线中断缺口，向低压力区泄露。 2 泄漏三角形 螺杆泵转子型线的顶点，通常不能达到阴阳转子气缸孔的交线，在接触线顶点和机壳的转子气缸孔之间，会形成一个空间曲边三角形，称为泄漏三角形 ( 4)。通过泄漏三角形，气体将从压力较高的齿间容积，泄漏至压力较低的邻近齿间容积。 3 封闭容积 如果在齿间容积开始扩大时，不能立即开始吸气过程，就会产生吸气封闭容积。由于吸气封闭容积的存在，使齿间容积在扩大的初期，其内的气体压力低于吸气口处的气体压力。在齿间容积与吸气口连通时，其内的气体压力会突然升高到吸气压 力，然后才进行正常的吸气过程。所以，吸气封闭容积的存在，影响了齿间容积的正常充气。值得指出的是吸气封闭容积存在于非对称型线中，而本文所论述的双边对称圆弧型线没有吸气封闭容积。 4 齿间面积 齿间面积是齿间容积在转子端面上的投影。转子型线的齿间面积越大，转子的齿间容积就越大。 子型线设计原则 1 转子型线应满足啮合要求 。螺杆泵中的阴、阳转子型线必须是满足啮合定律的共扼型线，即不论在任何位置经过型线接触点的公法线必须通过节点。 2 转子型线应形成长度较短的连续接触线 。在实际机器中，为保证转子间的相对 运动，齿面间总保持有一定间隙。因此，理论上的接触线就转化成实际中的间隙带。为了尽可能减少气体通过间隙带的泄漏，要求设法缩短转子间的接触线长度。 3 转子型线应形成较小面积的泄漏三角形 。为减少气体通过泄漏三角形的泄漏，型线设计应使转子的泄漏三角形面积尽量小。 4 转子型线应使封闭容积较小 。 大多数非对称转子型线会形成啮合时的吸气封毕业设计（论文） 10 闭容积，导致泵耗功增加，功率降低，噪音增大。所以，转子型线应使吸气封闭容积尽可能地小。对称型线并不存在这一问题。 5 转子型线应使齿间面积尽可能大 。较大的齿间面积使泄漏量占的份额相对 减少，效率得到提高。 另外，从制造、运转角度考虑，还要求转子型线便于加工制造，具有良好的啮合特性，较小的气体动力损失，以及在高温和受力的情况下，具有小的热变形和弯曲变形等。值得指出的是，以上有些因素是相互制约的 了减小泄漏三角形，就不可避免地会使型线具有封闭容积和较长的接触线 ;为了减少流动气体损失，使型线流线型化，又会增大泄漏三角形等。所以要根据实际要求，综合考虑各个设计要素，确定最佳的设计方案。 通常满足上述要求的转子型线由多段曲线首尾相接组成，这些曲线称为组成齿曲线。常用的组成齿曲线主要有点、直 线、摆线、圆弧、椭圆及抛物线等。 子螺旋齿面方程 图 子螺旋曲面及其坐标系 一般曲面 S 的直角坐标参数方程用下式表达毕业设计（论文） 11 ( , )( , )( , )x x ty y tz z t ，或以矢量式 ( , )r r t 来表达。 曲面的参数方程含有两个参数 (t, ),要确定该曲面的边界，就必须知道这两个参数 (t, )的变化范围。 螺杆式干式真空泵的转子齿面是转子端 面型线作螺旋运动时形成的螺旋曲面。 如图 示，转子型线的某一组成齿曲线 c 的参数方程为 : 0000()()x x ty y t 平面曲线 c 绕转子轴线作螺旋运动，就形成与此组成齿曲线对应的转子螺旋齿面。曲线 c 绕 作螺旋运动到 c位置时，轴向前进距离是 z，并相对原始位置转过 角。 c在坐标系 00O x y z 的位置，即等于 c 在坐标系 置，相应的右旋螺旋面 (阳转子齿面 )方程为 00( ) c o s ( ) s i n( ) s i n ( ) c o sx x t y ty x t y （ 式中 2 ， p 是表征螺旋面的陡峭程度，称为螺旋特性数。 T 是形成曲线c 绕 z 轴旋转一周 (2 )后轴向前进的距离，称为轴节距或导程。还把形成曲线 z 轴旋转到另一个端面所转过的角度 z 称为扭转角。假定转子的有效工作段长度为 L，则 2z ，设计时取 3 0 0 = 3z 同理可得左旋螺旋面 (阴转子齿面 )的方程为 00( ) c o s + ( ) s i n( ) s i n ( ) c o sx x t y ty x t y （ 螺杆干式真空泵工作原理 12 3 螺杆干式真空泵工作原理 与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。 图 螺距矩形阴阳转子示意图 气过程 螺杆真空泵的吸气过程。阳转子逆时针方向旋转 ，阴转子按顺时针方向旋转。下方转子端面是吸气端面，上为排气端面。吸气过程即将开始的转子位置。在这一刻，这一对转子前端的型线完全啮合，且即将与吸气口连接。随着转子开始转动，由于齿的一端逐渐脱离啮合形成了齿间容积，这个齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中。在随后的转子旋转过程中，阳转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔保持连通。吸气过程结束时，其最显著的特点是齿间容积达到最大值。随着转子的旋转，所研究的齿间容积不会再增加。齿间容积在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。 缩过程 螺杆泵的压缩过程。转子于端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向毕业设计（论文） 13 旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。下方端面为吸气端面，上方为排气端面。 螺杆泵压缩过程即将开始时的转子位置。此时气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中，齿间容积由于转子齿的啮合就要开始减小。 随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程，压缩过程可一直持续到齿间容积即将于排气孔口连通之前。 气过程 螺杆泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连 通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。这个过程一直持续到齿末端的型线完全啮合，此时，齿间容积内的气体通过排气孔口被完全排出，封闭的齿间容积的体积变为零。 从上述工作原理可看出，螺杆型干式真空泵是一种工作容积作用回转运动的容积式机械真空泵。气体的压缩依靠容积的变化来实现，而容积的变化又是借助螺杆泵的一对转子在机壳内做回转运动来达到的。他的工作容积在周期性扩大和缩小的同时，其空间位置也在变更。4 螺杆干式真空泵设计计算 14 4 螺杆干式真空泵设计计算 杆基本尺寸 螺杆 真空泵 转子的推 荐公称直径： 63、 80、 100、 125、 160、 200、 250、 315、400、 500、 630、 800据设计任务书的要求，容积流量为 30L/S。初选螺杆的公称直径 0D =125线选择单头等螺距矩形 型线，阳转子与阴转子齿数比选 1： 1。 表 程、长径比及及扭角的关系 符号 短导程 长导程 导程 h 1 0 2 04 ,23h D h D 1 0 2 01 . 8 , 2 . 7h D h D 长径比 l 转子扭角 1z 243 270 36 264 300 阴转子扭角 2z 162 180 76 200 长径比 0 扭角 360z 指常用的齿数比为 1： 1 时 按表 择长导程 长径比 l =阳转子扭角 1z =300 阴转子扭角 2z =200 中心距 =125=90转子工作长度 l = l 0D =125=360转子节圆 =125=120转子节圆 =125=120高半径 r=D =125=文） 15 阳转 子实际外径 1D =D =114=120转子实际外径 2D = 2120据以上计算数据，绘制出螺杆的端面图 图 及转子的三维图 和两转子的运动仿真 图 态截图 ) 图 杆端面型线 图 杆转子三维图 (主动转子 )毕业设计（论文） 16 图 子三维图 (从动转子 ) 图 子仿真 (动态截图 ) 气量 论排气量 2 0V = C nC n 3/(式中毕业设计（论文） 17 1n 阳转子转速 3000 /0D 阳转子公称直径 l 阳转 子工作长度 面积利用系数选取为 扭角系数表示扭角较大时，排气端基元容积内的一对啮合齿未完全脱开，而在进气端该基元容积已开始脱离进气口所引起的进气不足程度。取 C = 角系数参考值 1z 240 270 300 C 据公式 (算理论排气量 2 0V = C nC n =3000 /际排气量 3/( 的值与转子型线、间隙值、转子尺寸、转速有无喷液等因素有关，气值见表 同转子型线的排气系数 转子型线 无油螺杆 喷油螺杆 对称型线 对称型线 取 =按式 (际排 气毕业设计（论文） 18 = /排气孔口 向进气口 转子轴向进气口 0111111 8 0 122m （ 式中 1m 阳转子齿数 1z 阳转子扭角 01 阳转 子基元容积
- 温馨提示:
1: 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
2: 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
3.本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
人人文库网所有资源均是用户自行上传分享，仅供网友学习交流，未经上传用户书面授权，请勿作他用。
川公网安备: 51019002004831号