川宝曝光机-保养手册-灯管(2RC).doc

川宝科技股份有限公司 Chime Ball Technology CO., LTD研发部E20005KAC自动对位平行光曝光机保养规范文件编号：SEM-F001制订日期：2003年9月13日版本：A页号： 21/22目 录一、各部位机构位置之简介.31.1主要机构之位置。1.2门板拆卸之步骤。二、 日保养项目.42.1开机前检查。2.2灯管状态检查。2.3温度控制器检查。2.4检查电源供应器输出电压、电流。2.5灯管吹气流量计检查。2.6胶条调压阀检查。2.7三点式气源压力表检查。2.8框架真空压力表检查。三、 周保养项目.93.1 全机台外部机壳擦拭。3.2 CCD 摄影机镜头清洁。3.3 CCD 摄影机升降气缸检查。3.4 CCD 摄影机传动皮带检查。3.5 曝光台框架传动皮带检查。3.6 辅助气缸检查是否漏气。四、 月保养项目.134.1空气过滤网清洁。4.2蒸发器滤网检查。4.3总气压表滤心检查。4.4曝光台框架气缸检查。4.5各部位滑轨及滑座润滑度检查。五、 季保养项目.155.1各部位滑轨及滑座上黄油。5.2检查各部位气缸动作是否正常。5.3检查各部位螺栓有无松脱。5.4检查电控SENSOR、电子零件及各部位配线有无松脱断裂。5.5检查电控SENSOR及电子零件。六、 年保养项目.166.1过滤网更换。6.2光学组件检查。七、 灯管拆卸及组装17 7.1灯组机构位置。7.2主要组件。 7.3组装方法。八、玻璃的更换.208.1更换步骤。 8.2更换玻璃注意事项。一、各部位机构及位置简介真空压力表及温度控制器1.1主要机构之位置配电盘灯室曝光室门板拆除后可看见框架传动机构曝光室冷却循环机构触碰式屏幕CCD影像传动机构文章内的左右侧是以面对机台为分界的标准，面对机台右手边为右侧，左手边为左侧。1.2门板拆解之步骤 A.将图面门板锁处按下。 B.按下后：门板锁会弹起。 C.弹起后左侧的门板锁向顺时针方向旋转，右侧则向逆时针旋转即可打开二、日保养项目：2.1开机前检查。2.2灯管状态检查。2.3温度控制器检查。2.4检查电源供应器输出电压、电流。2.5灯管吹气流量计检查。2.6胶条调压阀检查。2.7三点式气源压力表检查。2.8框架真空压力表检查。2.1开机前检查：a.从前至后、由左至右检查机台表面须保持清洁不可有放置异物。b.检查外框架上不可有异物。（注:机台操作面为外,曝光室为内）。注意！不可放置异物 c.检查机台前方之底片真空表此时四个表都应为0 inch-Hg。 2.2灯管状态检查： 点灯次数点灯时数开启电源，由屏幕的主画面检查灯管状态中的点灯次数、点灯时数，是否超过标准值。 灯室温度：在3050之间2.3温度控制器检查：检查位于机台正面之温度控制器。 曝光室温度：在1826之间 2.4检查电源供应器输出电压、电流： A.打开灯室右侧下门板。 B.找到电源供应器。灯管电压：50V灯管电流：100AC.检查电源供应器输出电压、电流值。2.5灯管吹气流量计检查： A.打开灯室左侧下门板。 B.找到吹气流量表。 .C.检查流量表是否达到刻度上50下80。2.6胶条调压阀检查： A打开曝光室右侧下门板。 B.找到胶条调压阀。确认表压力0.040.05Mpa之间。上下2个表都要！C.检查上/下框气密胶条调压阀、确认表压力在0.040.05Mpa）之间。上下2个表都要！2.7三点式气源压力表检查： A.检查机台左侧后方三点式气源组合。 B.认表压力在0.50.6Mpa之间。 2.8框架真空压力表检查：上框架真空压力表检查位于机台正面之框架真空压力表。（范围100140Pa，最佳值120Pa） 下框架真空压力表三、周保养项目：3.1 CCD影像传动机构位置。3.2 全机台外部机壳擦拭。3.3 CCD 摄影机镜头清洁。3.4 CCD 摄影机升降气缸检查。3.5 CCD 摄影机传动皮带检查。3.6 曝光台框架传动皮带检查。3.7 辅助气缸检查是否漏气。3.1 CCD影像传动机构位置：CCD传动皮带曝光台框架CCD摄影机CCD影像传动机构 3.3 CCD摄影机镜头清洁：利用气枪清洁表面后，再利用无尘纸将镜头擦拭干净。（注：气枪内空气不可有油、水气）CCD镜头3.4 CCD摄影机升降气缸检查：CCD升降汽缸气压调节阀 A.找到位于CCD摄影机旁的升降气缸。 B.检查气压调节阀有无漏气的现象。3.5 CCD摄影机传动皮带检查： A.由主画面选取维修，进入维修 B.关闭框架传动马达煞车。画面后看左下方之指令列。 传动皮带将上下框架推至中央位置 C.将上下框架推至中央位置即可看见 D. 检查皮带松紧度并检查皮带有无龟裂。CCD摄影机传动机构。3.6 曝光台框架传动皮带检查： A.打开曝光室右侧上门板。 B.找到曝光架传动皮带。 C. 检查曝光架皮传动皮带松紧度并检查皮带有无龟裂。3.7辅助气缸检查是否漏气(新款之机台已无辅助气缸)： A.打开机台前面下方门板。 B. 左右两侧的气缸即为辅助气缸。 C. 将气缸头伸出之后，轻轻摇晃气缸头检查有无松动现象。检查气压调节阀有无漏气的现象。（注：气压调节阀的图示请参照5.2节）四、月保养项目：4.1空气过滤网清洁。4.2曝光台框架气缸检查。4.3各部位滑轨及滑座润滑度检查。4.1空气过滤网检查：定期检查空气过滤网有无破损及毁坏的现象。 A.找到机台后方滤网罩盖。 B机台后方滤网罩盖拆除后可看见滤网， 顺着箭头方向将滤网抽出。 C.将滤网抽出后，检查有无破损及毁坏之现象。建议36个月后更换新品4.2 蒸发器滤网的检查： A.找到冷却循环机构的蒸发器滤网罩盖。 B.拆下滤网罩盖的螺丝后抽出滤网。 C. 将滤网抽出后，检查有无破损及毁坏之现象。建议36个月后更换新品4.3 总气压表滤心检查:将两组上盖旋开后检查是否有油污或是水分过多的状况，如有则需更新。(建议每六个月至少需更新一次)4.4曝光台框架气缸检查： A.将曝光台上框架升起之后，可以看到 B.汽缸头伸出之后，轻轻摇晃气缸头检查有无左右两侧的气缸即为曝光台框架气缸。 松动现象。检查气压调节阀有无漏气的现象。4.5各部位滑轨及滑座润滑度检查：定期对于各部位的滑动机构做检查，除了保持滑动机构的清洁外，并检查是否有异物在移动机构上，或是有移动不畅的动作产生。五、季保养项目：5.1各部位滑轨及滑座上黄油。5.2检查各部位气缸动作是否正常。5.3检查各部位螺栓有无松脱。5.4检查电控SENSOR、电子零件及各部位配线有无松脱断裂。5.1各部位滑轨及滑座上黄油：在各部位的滑轨及滑座上都可看到注油嘴，用碎布擦去各滑轨滑座上的废油，并于注油嘴加注适量的黄油使其达到润滑的效果。注油嘴注油嘴 5.2检查各部位气缸动作是否正常：将汽缸头伸出之后，轻轻摇晃汽缸头检查有无松动发生。检查各气缸气压调节阀有无漏气的现象。（注：在此仅以辅助汽缸之图举例说明）气压调节阀 气压调节阀5.3检查各部位螺栓有无松脱：检查各部位螺栓有无松动、松脱发生。并检查滑动标志有无脱落、滑动的现象。5.4检查电控SENSOR、电子零件及各部位配线有无松脱断裂：检查线路、SENSOR部份有无松脱、腐蚀、拉扯断裂之现象发生。如果有上述现象马上行修复及更换。六、年保养项目：6.1过滤网更换。6.2光学组件检查。6.1过滤网更换：定期更换过滤网。6.2光学组件检查：各组件表面必须保持清洁。如果有损坏的状况，请联络本公司，本公司将尽速派员检查处理。各主要光学组件如下：冷光镜 反射镜 曲镜 聚焦镜 镜碗七、灯管的拆卸及组装：7.1灯组机构位置。7.2主要组件。7.3拆卸及组装步骤。7.1灯组机构位置：灯组机构打开灯室右（或左）侧之盖板，即可看到灯组机构。7.2主要组件：铜接头灯管导线灯管上方铜接头7.3拆卸及组装步骤：l 拆卸灯管警告! 在进行灯管更换程序时，务必关闭机台主电源以维护人身安全。A.先于冷光镜上方放置软性海绵，以维护冷光镜于拆换过程中避免碰撞。B.以随机附赠之拆卸扳手先将下端灯管导线端的碍子固定端螺丝放松（下端灯管导线连接碍子，故放松碍子的固定端螺丝即可），拆除后将下端导线缠绕防止碰撞冷光镜。上端灯管导线下端灯管导线 C.以右手放松上端灯头之铜接头的固定螺丝，左手扶住下端灯头，待上端固定螺丝放松后， 左手慢慢向下取出（以稍微倾斜的角度取出灯管），取出时务必小心。l 换上新灯A.拆开包装盒取出灯管保护胶套，注意在任何过程中不可触摸到灯管石英玻璃部份，以免造成热集中导致爆管，以两手握住灯管两侧金属端取出新灯。B.装灯时阳极端在上切勿装反，如图示：CBT灯管 ( LAA-0004 )阴极（前端为圆锥形）阳极端在上阳极（前端为梯形）阴极端在下尖点朝上将下端导线的碍子固定端螺丝先锁紧，左手握住阴极端，右手将阳极端穿过灯座将灯管往上推插入灯座内，右手同时将灯座铜接头固定螺丝锁紧将灯管固定住，最后将上端灯管导线装回上端导线固定座后，锁紧即完成。先将灯管阴极铜接头及导线接上。八、玻璃的更换8.1更换步骤：一、先把管继手拆除，松开玻璃压板。二、铜头先涂上uv胶，把铜头插入玻璃的铜头孔内。三、铜头插入铜头孔时，要注意到不要有歪斜或是高低不平的现象。四、4根铜头都插入铜头孔之后，小心的将玻璃放置在机台曝光平台上。五、执行曝光利用uv光线让uv胶硬化( 曝光次数：3次左右)。 5KAC 6次以上。六、曝好光之后检查pin孔内的uv胶，是不是真的有硬化。七、将玻璃装入框架，要注意玻璃的pin孔要和框架的pin孔对齐。八、锁上玻璃