ASM设备中几种常见马达介绍PPT课件

ASM设备中几种常见马达介绍 陈廷劲2014 10 06 2020 4 5 1 前言 对马达的认识 马达的称呼 马达 电机 Motor马达的作用 运动的执行机构 把电能转化为机械能 马达的分类 2020 4 5 2 目录 一 简要说明 二 步进马达 三 一般伺服马达 四 线性伺服马达 五 DC马达 六 AD8912机台马达概况 2020 4 5 3 一 简要说明 ASM设备中常见马达分类 COBASM主要设备 DB AD898 AD8912 ISLinDA COE139 IBE139 WB Eagle60 EagleXtreme LBE139 LTE139 HA AD868 868LA2 868LA3 2020 4 5 4 二 步进马达 2 1步进马达 StepperMotor 机台上的应用 SanyoDenkiSteppingMotor是ASM设备中常用的步进马达 AD8912SteppingMotorsOutputElevatorY ZOutputConveyInputElevatorY ZInputConveyWaferTableThetaTrackWidthDownSetBondAnvilDispenseAnvilDispenseWindowClampBondWindowClamp 步进马达作一般电机用 精度一般 2020 4 5 5 二 步进马达 2 2步进马达 StepperMotor 精度控制 ElevatorInputKickerMotor WorkholderDownSetMotor 2020 4 5 6 三 一般伺服马达 3 1一般伺服马达 ServoMotor 在设备中应用 TamagawaDenkiServoMotor是ASM设备中常用的一般伺服马达 AD8912BondheadY ZEpoxyWriterX Y ZEjectorPinAD868LA LA2BondheadX ZPickheadX Z 一般伺服马达 1 精度非常高 2 马达自带Encoder 2020 4 5 7 三 一般伺服马达 3 2一般伺服马达 ServoMotor 精度控制 一般伺服马达自带Encoder 与马达形成闭环系统 精度可达微米级 2020 4 5 8 四 线性伺服马达 4 1线性伺服马达 LineMotor 在设备中的应用 线性伺服马达在ASM设备中应用广泛 2020 4 5 9 四 线性伺服马达 4 2线性伺服马达 LineMotor 基本结构 线性伺服马达是一个组合体 由几大块组成 2020 4 5 10 四 线性伺服马达 4 3线性伺服马达 LineMotor 精度 以下DBAD898线性伺服马达一些基本情况 2020 4 5 11 五 DC马达 5 1TsukasaDC马达在ASM设备中的应用很多 ElevatorDAWBAD868 LA2 LA3IBE139LBE139 COE139部分传动马达IBE139部分传动马达LBE139部分传动马达 TsukasaDC马达 COE139 IBE139 LBE139 2020 4 5 12 五 DC马达 5 2DC马达性能特点 DC马达特点A 效率高 便于控制 在ASMHipec系统中 与Solenoid归为一类 B 一般由Sensor或继电器控制其位移 也有的连接Encoder进行实行信息反馈 COE139中的DC马达 标注DC SOL AD8912DCM SOL驱动箱线路图中 DCM