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文档简介
多晶硅工业装置用泵 1 三氯氢硅合成工段 序号名称台数流量 吨扬程 米NPSHa m材质类型 1 重组分回收 泵 10 5403CS屏蔽泵 2 三氯氢硅输 送泵 110351 5CS屏蔽泵 3导热油泵2100605CS屏蔽泵 4软水泵22855CS屏蔽泵 2 三氯氢硅精馏工段 序号名称台数流量 吨扬程 米NPSHa m材质类型 11 塔回流泵216553304屏蔽泵 21 塔釜液泵21 6403304屏蔽泵 32 塔回流泵218553304屏蔽泵 42 釜液流泵21403304屏蔽泵 53 塔回流泵218553304屏蔽泵 64 塔回流泵218555316L屏蔽泵 75 塔回流泵265553304屏蔽泵 85 釜液流泵215403304屏蔽泵 96 塔回流泵265553304屏蔽泵 107 塔回流泵265555316L屏蔽泵 118 塔回流泵285555304屏蔽泵 12 尾气冷凝液 泵 16201 5304屏蔽泵 131 塔进料泵23553304屏蔽泵 14 4 塔冷凝液 泵 23953316L屏蔽泵 15 7 塔冷凝液 泵 213953 1316L屏蔽泵 16四氯化硅泵214855304屏蔽泵 175 塔进料泵224555304屏蔽泵 18 高沸点杂质 输送泵 16205304屏蔽泵 3 三氯氢硅还原工段 序号名称台数流量 吨扬程 米NPSHa m材质类型 1停炉水泵240604 39CS离心泵 2 炉体冷却水 泵 4600601 14CS立式筒袋泵 3 电极冷却水 泵 2400439 89CS离心泵 4碱液泵1333 35 85CS离心泵 4 三氯氢硅尾气回收工段 序号名称台数流量 吨扬程 米NPSHa m材质类型 1氯硅烷泵221621 14304屏蔽泵 2釜液泵211379 74 2304屏蔽泵 3热媒泵31827 242CS 316屏蔽泵 4 氯硅烷废液 泵 20 8501304屏蔽泵 5 工艺废弃 废液处理阶段 序号名称台数流量 吨扬程 米NPSHa m材质类型 1 洗涤液循环 泵 4110554 7衬塑磁力泵PS 建议使用安徽卧龙氟塑料磁力泵 2废液输送泵22 5355 5CS屏蔽泵 3碱液泵26415 5衬塑磁力泵PS 建
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