洁净室洁净度不达标原因及对策分析.doc

洁净室洁净度不达标原因及对策分析摘 要：洁净度是洁净室一个重要的参数。然而，洁净室洁净度不达标是长期困扰洁净室施工单位、使用单位的一大质量难题。笔者将对洁净室的施工、后期的管理和维护两个阶段分别剖析洁净室洁净度不达标的原因，并提出相应的对策。对于施工阶段，笔者将从“人（Men）、机(Machine)、料(Material)、法(Method)、环(Environment)、测(Measure)”即“5M1E”六个方面展开论述；对于后期的管理和维护阶段，笔者将对污染源控制、洁净室运转管理、洁净室内系统的维护保养管理三个方面进行概述。关键词：洁净室、洁净度、不达标原因、对策洁净室技术的典型应用始于制药、医疗、化工、精密机械制造、光学、微电子，当今洁净室已改头换面，并延伸应用到越来越多新兴的工业部门，越来越多的领域也逐渐开始应用各种级别的洁净室。洁净室洁净度是洁净室的一个重要的参数。然而，洁净室洁净度不达标是长期困扰洁净室施工单位、使用单位的一大质量难题。本文将分别对洁净室的施工、后期的管理维护两个阶段剖析洁净室洁净度不达标的原因，并提出相应的对策，并将重点探讨施工阶段引起洁净室洁净度不达标的原因和对策。一、洁净室施工阶段对洁净度不达标的原因及对策分析经过本人对施工现场洁净室施工的调查了解，分析认为：施工方面影响洁净室洁净度不达标的原因是过程控制环节有问题，在安装施工过程中留有隐患。常见的有如下几种表症现象： 净化空调系统风道内壁不干净、连接不严密、漏风率过大； 彩钢板围护结构不严密，洁净区与技术夹层之间的密封措施不当、密闭门 不密闭； 装饰型材及工艺管线在洁净室形成了死角、积尘； 个别位置未按照设计要求施工，无法满足相关要求规定； 所用密封胶质量不过关、易脱落、变质； 回、排风彩钢板夹道相通，粉尘从排风道进入回风道； 工艺纯化水、注射水等不锈钢卫生管道焊接时内壁焊缝未成型； 风道止回阀动作失灵，空气倒灌造成污染； 排水系统安装质量不过关、管架、附件易积尘； 洁净室压差整体不合格，未能满足生产工艺要求。正由于存在主观认识上的误区，使在污染控制过程中的洁净技术应用不利，洁净室洁净度不达标就成了必然。洁净室的设计、施工、洁净室内设备设施的制造、安装，生产用原辅物料、包装材料质量、人净物净设施控制程序执行不利等都会影响洁净室的洁净度。所以，针对每个专业安装工程公司，洁净室工程施工无论洁净度的高还是低，都必须要有对污染源进入前的过程控制。 洁净室施工阶段是影响洁净室洁净度的重要阶段。笔者将从“5M1E”即“人”（Man）、“机”（Machine）、“料”（Material）、“法”（Method）、“环”（Environment）、“测”(Measure)六个因素对影响洁净室洁净度的原因和对策进行分析。（一） 、“人”（Man）的因素对影响洁净室洁净度的原因和对策分析“人”是工程质量中起决定因素的。工程质量取决于管理者的工作质量，也取决于操作者的技能水平。根据大量资料分析，大多数工程事故和质量通病是由于人的因素造成的。由于管理者的管理水平高低不同，操作者的素质参差不齐，加上目前现场手工操作多，新手多，施工中的随意性增大。又由于人的情绪受环境因素的影响会产生波动，也会直接影响工程质量。据此分析，洁净室洁净度不达标的原因中“人”的因素可归纳为以下几点： 管理人员的素质和管理水平不高； 施工人员的专业技能的培训不到位； 管理人员对洁净室施工的现场管理不到位； 技术人员对于洁净室施工的技术方案、技术交底做的不到位； 管理、技术、施工人员的质量意识不够强； 施工人员对洁净室施工的注意事项、施工方法、技术措施的理解、掌握不到位； 本单位施工人员、外单位施工人员对已完产品保护意识不强。针对以上这些问题，我们可以采取如下对策： 提高管理人员素质：加强管理人员对洁净室施工的管理理论和实践的学习，提高管理人员的质量意识和管理水平； 加强对施工人员的专业技能培训：既加强新员工的洁净室施工的专业技能培训，加强老员工的继续再教育，提高施工人员的洁净室施工的操作水平； 加强现场管理：可以通过现场监督、技术指导等措施消除人为造成的洁净度不达标； 技术方案、技术交底要做到位：技术方案要详细、具体、通俗易懂，技术交底要做到层层交底，要让每个操作人员知道该怎么做，不该怎么做； 努力提高管理、技术、施工人员的质量意识； 施工人员要加强对洁净室施工的注意事项、施工方法、技术措施的理解、掌握； 在醒目位置贴上标识、警告、提醒等标志，以防对成品的破坏。（二） 、“机”（Machine）的因素对影响洁净室洁净度的原因和对策分析“机”是指操作的工具或设备。机械化的程度和操作水平对提高工作效率和工程质量是有影响的。由于设备的原因或使用操作工具不当引发的质量事故和质量通病时有发生。设备是否先进、操作工人是否做到持证上岗或受过专门训练、常用的机械设备是否完好、其保养和维修是否正常等，都对施工质量会产生影响。据此分析，洁净室洁净度不达标的原因中“机”的因素可归纳为以下几点： 洁净室洁净空调风管的下料、制作、安装等工序中使用的设备落后； 洁净室洁净空调风管的下料、制作、安装等工序中使用的设备、工器具不满足 洁净要求； 洁净装修过程中使用的设备、工器具不满足洁净要求； 电气、管道专业施工过程中使用的设备、工器具不满足洁净要求； 洁净室内使用的设备、工器具的操作人员没有持证上岗或没有受过专门训练； 进入洁净室内的设备、工器具没有经过除尘处理或容易积尘、产尘。针对以上这些问题，我们可以采取如下对策： 对设备进行更新换代：要想获得高质量和稳定的质量保证，就必须从管道生产的机具化、模具化着手，必须从工艺规范化着手，要尽量远离纯手工操作的作业方式； 用于洁净室洁净空调风管的下料、制作、安装等工序中的设备、工器具必须满 足洁净要求； 洁净装修、电气、管道专业施工过程中使用的设备、工器具必须满足洁净室施 工要求； 洁净室内使用的设备、工器具的操作人员必须持证上岗或受过专门训练； 进入洁净室内的设备、工器具必须经过除尘处理，不能把容易积尘、产尘的设 备、工器具带入洁净室内。（三） 、“料”（Material）的因素对影响洁净室洁净度的原因和对策分析“料”是指工程中所采用的各种各样的材料、成品或半成品，材料对质量的影响是直接的。所以，在施工过程中，要把住材料的检测关、验收关，对原材料要进行进场检测；对常规材料要进行定期抽检；对成品或半成品材料要根据相关标准进行验收。控制好材料的质量关，对保证工程质量是十分必要的。据此分析，洁净室洁净度不达标的原因中“料”的因素可归纳为以下几点： 密闭门不合格，不能满足密闭要求； 所用装饰装修材料不满足洁净室要求，不能满足不产尘、不积尘要求； 所用密封胶质量不合格，易脱落、变质； 制作风管的材料的选用不满足洁净空调系统的要求； 洁净室内的灯具、开关、插座、配电箱等电气装置不满足洁净要求； 洁净室内的生产设备、辅助设备等机械设备不满足洁净要求； 洁净室内施工所用的辅材不满足洁净要求； 风道止回阀动作失灵，空气倒灌造成污染；针对以上这些问题，我们可以采取如下对策： 严把洁净室使用材料的检测关、验收关：对洁净室使用的原材料要进行进场检 测，对洁净室使用的常规材料要进行定期抽检，对洁净室使用的成品或半成品材料要根据相关标准进行验收，使其满足洁净室使用要求； 严把洁净室使用材料的选用关：a. 对于风管材料的选用，洁净空调系统风管一般采用镀锌钢板加工。镀锌钢板应选用优质板，且镀层应均匀，无起壳，无氧化。吊架、加固框、连接螺栓、华司、风管法兰、铆钉均应采用镀锌件，法兰垫料应采用有弹性、不产尘、有一定强度的软橡胶或者乳胶海绵。风管的外保温可采用容重32K以上难燃PE板，以专用胶粘贴，也可使用橡塑海绵保温板，但不得使用玻璃棉等纤维制品。b. 对于洁净室内灯具的选用，在满足照度要求的同时，还要节约能源，减少污染，所以发光效率高的洁净荧光灯具是首选，要求其外部造型简单、不易积尘、便于擦拭，插座、开关、配电箱的选择也应该满足洁净要求。 c. 对洁净室所用的装修材料，笔者认为至少应该满足下表1的基本要求。表一 洁净室装修材料要求一览表项目使用部位要求材料举例吊顶墙面地面发尘性材料本身发尘量少金属板材聚酯类表面装修材料，涂料耐磨性/磨损量小水磨石地面，半硬质塑料板，环氧树脂自流平地坪耐水性受水浸不变形，不变质，可用水清洗铝合金板材耐腐蚀性按不同介质选用不同材料树脂类耐腐蚀材料防霉性不受温度，湿度变化而霉变防霉涂料防电性电阻低，不易带电，带电后迅速衰减防静电塑料贴面板嵌金属丝水磨石耐湿性/不易吸水变质，材料不易老化涂料光滑性表面光滑，不易附着灰尘涂料，金属，塑料贴面板施工加工施工方便经济性价格便宜 洁净室内的生产设备、辅助设备等机械设备要求其不易积尘，便于擦拭，进入洁净室前应进行风淋。 洁净室内施工所用的辅材要满足洁净要求，要求其不易积尘，不易产尘； 风道止回阀要质量合格，防止空气倒灌造成污染； 所用密封胶质量除合格外应满足洁净要求，要求不易脱落、变质，不易积尘，产尘；（四） 、“法”（Method）的因素对影响洁净室洁净度的原因和对策分析“法”是指施工中采用的工艺、规程和方法。依据的工艺不同，施工出来的质量也会不一样。施工中采用的标准、规范、工法、施工程序及施工工艺对工程质量是至关重要的，必须引起足够的重视。据此分析，洁净室洁净度不达标的原因中“法”的因素可归纳为以下几点： 风管的材料采购、保管、制作、清洗、搬运等过程中，工序不满足洁净空调系 统风管制作的工序要求； 洁净室内、回风道内的顶板、地板开洞、留孔不满足洁净室施工要求； 所留洞口的封堵不满足洁净室施工要求； 洁净室内的圆弧角处理不满足洁净室施工要求； 洁净室内的地板、墙面处理不满足洁净室施工要求； 洁净室内的供电系统与配电设备的设置、线路敷设等不满足洁净室施工的要求； 洁净室内各块彩钢板之间，门窗、风口、百叶、灯具、开关、插座、配电箱、 消火栓等与彩钢板的接缝处理不满足洁净室施工要求； 装饰型材、地板、吊顶板等工艺管线、套管等形成死角，易积尘；针对以上这些问题，我们可以采取如下对策：风管的材料采购、保管、制作、清洗、搬运等过程中，严格按照洁净室施工的工序要求施工：a.材料采购:必须按照计划按品种选用同种产品中的有质量保证的制造商的产品。实物检查时还应注意材料规格、材料光洁度，板材还应检查平整度、边角角方度、镀锌层的粘结度等。材料采购后运输过程中还应注意保持完好的包装，防潮、防撞击、防污染。b.材料保管:洁净空调用材料应设立专用仓库，或集中存放。存放处要干净，无污染源，避免潮湿，特别是风阀、风口、消声器等部件更应严密包装存放。洁净空调的材料要缩短仓库存放时间，宜随用随进货。c.风管的制作、清洗：1.风管制作前的准备：加工制作洁净系统的风管应在相对密封的室内进行。室内的墙壁宜光滑、不产尘、不积尘，地面可铺设加厚塑料地板，地板与墙体结合处宜用胶带封贴，避免灰尘产生。风管加工前，风管加工区域要清洁干净，可在打扫擦洗干净后用吸尘器反复清理。制作风管用工具必须擦洗干净后进入才能进入制作区。制作用设备应必须保持干净，无灰尘。参加制作的施工人员宜相对固定，人员进入制作场所必须配戴洁净无尘帽、洁净手套和洁净口罩，工作服应常换洗。制作用材料应经过二到三次酒精或无腐蚀清洁剂擦洗后，才能进入制作场所待用。2.洁净系统风管制作要点：加工后半成品应再次擦洗后进入下道工序，风管下料咬口后应立即组合成型，不宜久放。风管法兰加工要保证法兰平面平整，规格要准确，与风管相配，以保证风管组合连接时接口密封性好。风管底部不得有横向接缝，并且尽量避免纵向接缝，规格大的风管应尽量以整板制作，尽可能减少加强筋，必须设加强筋的也不得使用压筋加强和风管内加强筋。风管制作应尽量采用联合角或转角咬口，6级以上的洁净风管不得使用按扣式咬口。咬口处镀锌层损坏的、铆钉孔处以及法兰焊接处的镀锌层损坏的必须补做防腐。风管接缝翻边裂缝处及铆钉孔四周应涂以硅胶密封。风管翻边必须平整均匀。翻边宽度及铆钉孔，法兰螺孔必须严格按规范要求进行。柔性短管必须内壁光滑，一般可选用人造革或塑胶，风管检查门垫料要用软性橡胶。3.洁净系统风管清洗要点：洁净系统风管的清洗是保证系统洁净度的一个重要环节。风管的清洗不得用对人体和材质有危害的清洁剂，且清洁剂要能满足脱脂和洁净要求。清洗现场应保持清洁，应避免积尘和受潮。洁净系统的风管，还应进行第二次清洗，经检查达到清洁要求后应及时封口。d.洁净风管的搬运、安装：1.安装前的准备。洁净空调系统安装前必须按照洁净室主要施工程序制定进度计划，计划必须与其他专业相协调，并且应严格按照计划实施。洁净空调系统安装首先必须在建筑专业（包括地面、墙面、楼板）、油漆等方面完成后进行。安装前在室内完成风管定位、吊点安装等工作，并对吊点安装时损坏的墙壁面、楼板进行补漆处理。2.室内清洁后，将系统风管运入。风管搬运过程中应注意封头的保护，风管进入现场前应进行表面清洁工作。3.参加安装的工作人员需经吹淋后，穿戴无尘衣、口罩、鞋套才可进行施工。使用的工具、材料、部件要进行酒精擦洗，无尘纸检查，符合要求后方可进入施工现场。4.风管管件、部件连接应边打开封头边连接，风管内做到无油污，法兰垫料应为不易老化有弹性强度的材料，并且不得直缝拼接。安装后开口末端仍要保持封口状态。5.风管保温应在系统管路安装及漏风检测合格后进行，保温完成后室内必须做到彻底打扫干净。洁净室内、回风道内的顶板、地板开洞、留孔要满足洁净室施工要求：能不开孔、留洞则不开孔、留洞。如果要开孔、留洞，则必须尺寸大小、位置准确，便于封堵。所留洞口的封堵要满足洁净室施工要求：所采用的封堵材料必须合格，在封堵时，要尽量减少死角，以防积尘；洁净室内的圆弧角处理须满足洁净室施工要求：在洁净室施工中有一个突出的问题就是圆弧角的使用：洁净室主要以控制细菌、粉尘等为根本目的，而细菌、粉尘极易在一些角落里滋生、积压，因此洁净室应易于清扫。洁净室施工时，应尽量减少死角。在JGJ 71-90洁净室施工及验收规范中的第 2.3.8条规定：踢脚板部分施工时应与墙面齐平或略缩进23mm。当踢脚板与地面材料相同时可做成小圆角，其圆角半径R应大于等于50mm；当踢脚板与地面材料不同时，应用弹性材料嵌固。除地面与墙面的交角要求可设圆角外，对其他部位并未做规定。现在普遍的做法是将所有交角均加装铝合金圆角，由于制作粗糙，使得很多工程的圆角流于形式，甚至作用适得其反。对于墙壁之间，墙壁与顶棚之间的圆角，笔者认为要根据洁净室所用的行业来定。对于如医药厂房、手术室、生物实验室等，墙壁与顶棚之间的交角加装铝合金圆角为好，而对于其他的洁净室，笔者认为可加可不加，作用不是很大，应根据实际情况选用，而不应成了施工单位掩盖粗糙接角的“遮羞布”。对于墙面与地面的交角，其实是十分关键的，但往往成为藏污纳垢，滋生细菌的场所。原因在于：由于圆弧角有厚度，在圆角与板壁和地面的两个交角处，便会形成两个细小的接缝，由于地面、板壁不平，在接缝处往往有很多缝隙，很多施工单位偷工减料，没有打胶密封，有的即使打胶了，也会有开裂的现象。因此本来的目的是为了消除卫生死角，而实际情况却增加了很多隐患。这种情况在平时不明显，在洁净室进行卫生清扫时就会暴露无遗，地面上一旦有水，水会通过缝隙渗到隔壁房间，圆角下经常满是水渍，成为细菌滋生的绝好场地。造成这种情况的根本原因是对规范的规定没有真正领会，只是流于形式。笔者认为，有几种做法值得推荐：1.安装圆角之后，铺设一定厚度的自流坪地面，彻底消除地面接缝；2.安装圆角之后，铺装整体卷材地面，然后将卷材沿圆角上铺至壁板，使圆角和地面成为一体。3.采用建筑材料（如胶砂）砌筑圆弧状的壁板基座，基座与地面做同样的处理，如刷涂料等，使地面和基座成为一体，而且基座作为踢脚部分与墙面齐平或低于墙面。洁净室内的地面、墙面处理要满足洁净室施工要求：对于地面处理，在JGJ 71-90洁净室施工及验收规范的第2.2.2条中对洁净室的地面做法有这样的规定：洁净室涂料地面水泥砂浆基底的水泥标号不得低于425号；水磨石地面应现浇，所用小石子直径为615mm，水磨石磨细后，宜用不挥发的护面材料打涂。一些认证人员认为水磨石地面不可行的观点是片面的，只要遵守规范规定，现浇水磨石完全可以是一种物美价廉的地面材料。一些施工单位偷工减料，采用低标号水泥，玻璃嵌条，而且表面不做任何处理。对于墙面处理，墙面应光滑、平整不起尘，耐腐蚀，色彩和谐，便于识别污染物，内墙涂料必须采用防霉、防静电、避免眩光并能耐受清洗和消毒的材料涂刷。墙面与地面相交处宜做半径50毫米的圆弧，以减少灰尘积聚和便于清洁。运输走廊等易撞处墙边宜设置防撞栏杆，防止因装修材料震动而灰尘脱落。洁净室内的供电系统与配电设备的设置、线路敷设等要满足洁净室施工的要求：a.供点电系统与配电设备的设置：洁净区内的用电设备，包括工艺和空调设备等，一般都要求就地控制，虽然大部分用电设备都带有配套控制设备，但是进入洁净区的每一配电线路均应设置切断装置；规范要求洁净区的配电设备，应选择不易积尘，便于擦试，外壳不易锈蚀的小型暗装配电箱或插座箱，因此一般在每个生产间设置一个小型挂墙式暗装配电箱。从小型配电箱再分配电至生产间内的各用电设备。这样既便于检修，又能提高用电安全性。目前洁净室的内墙都是采用夹心彩钢板，厚度有50mm和75mm两种。当使用75mm彩钢板的时候暗装小型配电箱不成问题。当使用50mm彩钢板的时候，彩钢板的厚度不能完全把小型配电箱暗装在彩钢板内，所以一般把小型配电箱设在柱子旁边，彩钢板包柱子的地方要做成弧形，完全有空间暗装小型配电箱；如果是没有柱子的房间，小型配电箱暗装在50mm厚的彩钢板内会凸出墙面，为了达到防尘的效果，小型配电箱安装时凸出墙面的四边都加斜面处理，经过证实，也能符合要求。b.线路敷设：洁净室内的线路一般分为动力线路和照明线路，这些线路的走向分为：从配电室至生产间内的小型动力配电箱或照明配电箱；从小型动力配电箱或照明配电箱至用电设备；从配电室至用电设备、由配电室直接供电的用电设备。1.从配电室至生产间的小型动力配电箱或照明配电箱：从配电室引出的线路和先在电缆桥架内敷设配电室内的电缆桥架明装，从配电室引出的电缆桥架安装在吊顶内。动力线路和照明线路可以在同一条电缆桥架内敷设，但要作明确区分。在电缆桥架内水平敷设至小型配电箱附近时，从电缆桥架引出，穿镀锌钢管从吊顶引下，在彩钢板内暗敷至小型配电箱。但是遇到管径比较大的线路，在彩钢板内暗敷施工起来确实比较麻烦。我们在与施工部门的交流中发现他们也有窍门，在风管的旁边另外用彩钢板做成一条密闭的方槽，专门为敷设电缆用。这样既美观又符合规范要求，施工起来也很方便。2.从小型动力配电箱或照明配电箱至用电设备：动力线路的敷设方式取决于动力用电设备的电源进线位置。电源进线位置离吊顶近的设备，从小型动力配电箱引出的线路穿镀锌钢管在彩钢板内暗敷引上至吊顶，水平敷设至离设备最近的地方，直接引下明敷至设备。电源进线位置离地面近的设备，从小型动力配电箱引出的线路穿镀锌钢管在彩钢板内暗敷设引下至下一层平面的吊顶内，水平敷设至离设备最近的地方，直接引上至设备。位于首层的设备，线路适宜穿镀锌钢管在彩钢板内暗敷引上至吊顶，水平敷设至离设备最近的地方，直接引下明敷至设备。照明线路的敷设方式是从照明配电箱引出的线路穿镀锌钢管在彩钢板内暗敷或引上至吊顶，从吊顶直接至灯具。距离较近的可采用软管连接，但其长度不得超过500mm。3.从配电室至用电设备、由配电室直接供电的用电设备：动力线路的敷设方式与2的方法相同，取决于动力用电设备的电源进线位置。不同之处在于3线路直接从电缆桥架引出，不经过不型动力配电箱。洁净室内各块彩钢板之间，门窗、风口、百叶、灯具、开关、插座、配电箱、消火栓等与彩钢板的接缝处理须满足洁净室施工要求：洁净室内各块彩钢板之间，门窗、风口、百叶、灯具、开关、插座、配电箱、消火栓等与彩钢板的接缝，需要用密封胶填塞。尽量减少装饰型材、地板、吊顶板等与工艺管线、套管等之间形成的死角。（五） 、“环”（Environment）的因素对影响洁净室洁净度的原因和对策分析“环”是指环境对施工质量的影响，如雨季、高温、冰雪天会对操作者、材料产生影响，从而影响工程质量。施工现场的环境有其复杂性、多变性，施工交叉作业多，人员流动大，干扰因素多，各专业之间相互影响，处理不好，也会对质量产生间接或直接的影响。据此分析，洁净室洁净度不达标的原因中“环”的因素可归纳为以下几点：雨季、冰雪天对环氧地平施工的影响；洁净室内各专业交叉作业多，人员流动大；洁净区内还没有进行清理，除尘，内装专业就已经开始壁板安装施工，致使灰尘进入壁板缝隙内而无法清除；风管材料的堆放、风管制作的环境不能满足洁净要求；洁净室内使用的材料堆放环境不能满足洁净要求；针对以上这些问题，我们可以采取如下对策：环氧地平施工时应尽量避开雨季、冰雪天，选择在气温、湿度都较适中的时候进行自流平地面的施工；尽量减少洁净室内人员的流动，减少个专业的交叉作业；洁净室内壁板安装前，应把洁净室周围维护起来，并把洁净区内的灰尘清扫干净，然后在进行壁板安装施工，而且要边安装壁板边填塞密封胶。风管材料的堆放，风管的制作环境应该用彩料布维护起来，密封；洁净室内使用的材料应堆放在洁净的仓库当中。（六） 、“测”(Measure) 的因素对影响洁净室洁净度的原因和对策分析“测”是指测量设备、实验手段和测试方法。测量、测量设备的精度、测试方法、技术熟练程度、检测人员造成的误差等，会使质量的波动处于异常，从而影响质量的正确评判。据此分析，洁净室洁净度不达标的原因中“测”的因素可归纳为以下几点：洁净度检测设备不精确；洁净度检测人员操作造成的误差超过允许范围；洁净度测试方法不符合规范要求；针对以上这些问题，我们可以采取如下对策：洁净度检测设备要定期保养、维修，并应定期拿到仪器检测中心进行检测是否满足精度要求；提高洁净度检测人员的基本素质、责任心、工作态度技术水平，减少由于检测人员操作造成的误差，把误差控制在允许范围内；依据现场实际情况，完善洁净度测试方法，以满足规范要求。笔者针对施工阶段“人、机、料、法、环、测”六大因素中可能出现的问题，分析了洁净室洁净度不达标的主要原因，提出了相应的对策措施。只有各施工单位依据实际情况，从“人、机、料、法、环、测”六大因素中寻找原因，想出对策，并把措施落实到具体的时间、地点、方法和实施对象，做到明确目标，责任到人，使洁净度的波动控制在正常范围，控制在标准和规范允许的范围内。二、洁净室后期管理和维护阶段对洁净度不达标的原因及对策分析洁净室洁净度的维持和控制，除了硬设备的配合投资外，也需要良好的软件管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。洁净室运转管理，笔者将从作业人员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨；洁净室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。（一）、污染源控制洁净室洁净度的维持和控制，除了硬设备的配合投资外，也需要良好的软件管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。洁净室内的微污染来源，经行业内测试分析结果，作业人员占约80%，如图1所示。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的原因，人是主要因素。洁净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等，图2为微尘粒子的传送路径。微污染源的控制已成为洁净室管理的重要环节。关于微污染控制，笔者认为有四个基本原则：1.外部尘埃侵入的防止：洁净室保持适当的正压（0.5mmAq），做好施工工程不漏气，人员设备、原材料搬入洁净室前做好清洁擦拭等防尘动作，对空气过滤器进行适当的管理和设置。2.室内发尘的防止：隔间板、地板等洁净室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用洁净室专用器等。3.室内发尘的不积留：墙壁体应光滑，无死角、洁净室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。4.发生尘埃的排除：换气次数应足够多，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。（二）、洁净室运转管理洁净室运转管理，笔者将对作业人员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨，并依计划（Planning）、实施（Doing）、追踪检查（Checking）、动作(Action)的PDCA循环步骤执行。1.作业人员的管理前已提及在洁净室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员遵守洁净室的管理制度，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减大半。现就进入洁净室的作业人员的管理和注意事项说明如下：（1）进入洁净室的人员，必须要具备有达到高洁净度标准并要维持最好状态的观念。（2）作业人员进入洁净室数目以维持最小限度原则（愈少愈好），并须依洁净室进出标准流程进出洁净室，如图3所示。出则相反方向进行，只不过不须经空气洗尘室的脱尘处理。（3）对作业人员必须经常讲解洁净室管理的数据，并加以教育与训练，内容如洁净室管理的一般常识、洁净室的构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材的洁净管理与检查、洁净衣的穿脱、洁净室内的步行方式等，并经考试合格者方能进入洁净室工作。（4）在洁净室作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。（5）在洁净室内的作业人员或其它人员的移动或动作均为发尘源，其直接影响制程，同时亦会影响气流的扰动，为防止与控制上述情形，基本上须注下列事项：a.不可在作业区域气流上方放置物品或做其它作业。b.不必要的动作尽量避免以防止乱流发尘。c.与作业无关的私心谈话尽量避免。d.为控制发尘量，人员步行及作业要静静地进行。e.作业要在洁净的工作柜或工作桌进行。f.工具等器具须收入有盖子的箱子或柜中，并置放一定的场所。（6）作业人员须经常保持干净的手，除了常洗手、剪指甲外，手应经常保养，以防皮肤的剥离，男性须每天刮胡子。（7）洁净衣要经常保持着衣的状态。（8）下列所述者不能进入洁净室：a.非作业人员或事先未得许可者。b.未照规定穿着洁净衣者。c.刚做激烈运动流汗者。 d.吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。（9）有下列健康状态或体质者原则上不能进入洁净室：a.因日晒、湿诊而皮肤有问题者。b.化学纤维或有机溶剂等化学药品有过敏性体质者。c.容易出汗者。d.比一般人皮肤表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落者。e.化妆或涂口红者。f.有重大精神病、神经过敏或闭琐恐惧者。g.因哮喘、咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。但对于有下列性格的人，则最适宜进入洁净室工作：a.做事细心有耐性者。b.勤于整理整顿，经常自己注意身边清洁的人。c.经常留意自己的健康者。（10）以下的物品不能带进洁净室：a)没有经过清洁过程的器材、零件物品、测定器等各种物品。b)纸箱及未经特别处理的记录或笔记用纸、影印数据等。c)铅笔、橡皮擦、墨水等。d)香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等。e)作业员个人用品如打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其它个人物品等。2.原物料、设备进出管理除了人员进出洁净室须予于规范管理外，物料及设备的进出也必须经过洁净程序，才不至于影响洁净室的洁净度。其进洁净室的流程如表4所示。至于搬出则反方向而行，但不须经洁净程序。原物料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10000级的房间，工作人员于其室内清洁设备或物料时必须穿着洁净衣服，所使用的擦拭纸为无尘纸或不会脱落织毛的无尘布，清洁剂除了使用超纯水外，并加入35浓度的IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由于IPA及丙酮具挥发性，故此房间的排气效果须特别考虑。搬运设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。3.洁净室内用品管理洁净室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。洁净衣的材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料的组织不易通过污染物和不附着污染物的材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑料底，布质部分则采用与洁净服相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Viny1），在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上不使用有粉的Viny1手套为佳。洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2m的过滤器。一般洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区（CLASS1）为23天，其它区域则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣的置放场所亦须为洁净室，备用品或新品存放柜内，正常使用者则吊挂衣架上，以方便取用。桌椅一般以不锈钢材质，并需表面加工处理，若不得不使用镀锌品或木制品，其表面须施环氧树脂（Epoxy）加工以防表面发尘。工作桌最好有打洞，边缘有倒角。以利气流的运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者，椅脚高度以坐下来脚可以触到地板者为原则。但若一定须使用高脚椅时，则要准备脚踏环。桌及椅子的脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。真空吸尘器，其功能是在吸取洁净室内地板上、下及设备上附着的尘粒或液体以防止这些尘粒的再飞扬，以达到清洁的目的，由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严重影响洁净室的洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。现今的高级洁净室均设有中央式吸尘系统，并于现场预留吸尘口，故一般的清洁过程均利用此中央系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用中央式系统时，须注意排气的控制，避免使洁净室内的压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属洁净室内专用，但不可移至室外使用，若不用时应置于较低等级的洁净室中，但每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。（三）、洁净室各系统维护保养管理洁净室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统的运转维护及保养做一概略说明。1洁净室内的生产制造设备维护保养管理：（1）生产设备的选择、布置与保养：a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分的发尘。b.应选择尘埃的影响较小的生产设备或接口设备。c.生产用的水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。d.规划各设备的配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘的结构，规划各并以容易清洁为原则。e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在洁净室外面或回风区，并加装排气管线排气。f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。g.生产及相关设备应定期