特种气体钢瓶更换.doc

9.7 钢瓶更换程序(sop)(一).目的：使厂务人员对 Special Gas（特殊气体）之气体钢瓶更换程序能够充份了解，维护Specialty Gas系统正常供应，以达到提高供气质量与保障人员安全。(二).钢瓶更换程序：1. 进入气体房前之检查：a. 进入气体房前先从外面之监视器确认有无气体外漏情形及气体房之含氧量。b. 检查钢瓶之状态是否有异常现象。2. 钢瓶换装前之检查：a. 进入气体房钢瓶换装至少应由两人协助完成。b. 确认气体室”维修中”指示灯是否开启。c. 检查钢瓶之状态，确认钢瓶空瓶边（左或右）。d. 检查欲更换之钢瓶上的空/实瓶的指示标签。e. 关闭欲更换之钢瓶盘面上的手动开关阀。f. 确认各purge N2气瓶之压力值：PH3之purge N2压力500 PSIAsH3之purge N2压力500 PSIHCL之purge N2压力500 PSIDeTe之purge N2压力 1000 PSISi2H6之purge N2压力 1000 PSI3. 将欲更换之钢瓶上的控制器操作模式（位置参考附图二），操作至 Purge Mode 程序。附图二：气瓶柜控制器示意图旋钮转至 Purge Mode 画面如下：SELECT MODE OF OPERATION PRESS ENTER（选择操作方法 按ENTER）PROCESS PUGER MANUAL OFF-LINE（供应） 吹净 （手动） （离线）按ENTERENTER SECURITY CODE -（请输入一个安全密码 -）xxxx * PURGE MODE * xxxx（* 吹净模式 *）输入1111WARNING VERIFY PANEL FOR PURGING（警告-确认面盘准备吹净）RESET=CANCEL ENTER=CONTINUE（RESET=取消） （ENTER=继续）按ENTER* PURGE SELECTION *（吹净选择）1=CYLINDER CHANGE 2=MAINTENANCE（1=钢瓶更换） （2=维修） 按1CLOSE CYLINDER VALVE（关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（完成后按ENTER） 请确实关掉钢瓶阀，否则下面的动作将会抽掉钢瓶内所有的气体，按ENTERINITLAL VENTING（开始排放）xxxx PLEASE WAITING xxxx（请等待）CYLINDER VALVE LEAK TEST（钢瓶接头做负压测漏）xxxx PLEASE WAITING 600 xxxx（请等待 600）600表示还有600秒结束这项动作PRE-PURGE CYCLE PLEASE WAITING（前净吹请等待）xxxx CYCLES #25 xxxx （25个周期）CHANGE OUT CYLINDEWR（更换新实瓶）* PRESS ENTER WHEN COMPLETE *（完成后按ENTER）PRE-PURGE CYCLE PLEASE WAITINGCYCLES #25前净吹请等待25个周期 小心拆下旧钢瓶（请参照钢瓶更换程序第四步骤），并换上新钢瓶（请参照钢瓶更换程序第五步骤）后，按ENTER4. 换下空钢瓶：a. 佩带携带式 toxic gas monitor（毒气侦测器）及正压式空气呼吸器。b. 确认左边或右边钢瓶要更换。c. 确认接头是向左边或右边右牙（无刻痕）接头向右侧锁紧，向左侧放松。左牙（有刻痕）接头向左侧锁紧，向右侧放松。d. 以手工具拆下接头并将钢瓶盖盖上锁紧。e. 除去钢瓶固定链条，再移去空钢瓶。5. 实瓶按装：a. 确认气瓶柜气体名称及钢瓶名称是否相符。b. 确认钢瓶接头型式与气瓶柜 Pigtail 接头型式是否相符。c. 小心地移动钢瓶到气瓶柜内（注意不要触碰到重量传感器及使用中钢瓶）。d. 除去钢瓶外盖并将钢瓶接头对准 Pigtail。e. 将钢瓶固定链固定。f. 除去钢瓶盖,清洁钢瓶出口及 Pigtail（请穿戴手套）且以手确认衔接处有 Purge Gas（N2/He）冲洗。g. 放进新垫片（使用清洁手套）。h. 以手锁紧接头后用手工具锁紧接头。i. 卸下携带式 toxic gas monitor（毒气侦测器）及正压式空气呼吸器。CYINDER CONNECTION LEAK TEST（钢瓶接头连接做测漏）PLEASE WAIT 600（请等待 600）600表示还有600秒结束这项动作PREFORM HELIUM LEAK TEST（执行氦气测漏试验）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（完成后按ENTER）由外部向 Pigtail 接头喷氦气测漏，一般都省略，直接按ENTER* POST-PURGE CYCLE PLEASE WAIT *（通知净吹请等待）xxxx CYCLES #25 xxxx（25个周期）* PRESSURE STABILIZING *（压力稳定）xxxx PLEASE WAIT 600 xxxx（请等待 600）600表示还有600秒结束这项动作* HIGH PRESSURE LEAK TEST *（高压测漏）xxxx PLEASE WAIT 600 xxxx（请等待 600）600表示还有600秒结束这项动作注意，高压测试的容许范围如下：20003000 Psia Range 6 Psia Or More 1000 Psia Range 5 Psia Or More250 Psia Range 3 Psia Or More* LEAK TEST PASSED *（测漏测试完成）xxxx PRESS ENDER CONTINUE xxxx（请按ENTER继续）按ENTERSLOWLY OPEN，THEN CLOSE CYLINDER VALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLE PLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxx CYCLE # 5 xxxx（循环第五次）SLOWLY OPEN，THEN CLOSE CYLINDER VALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLE PLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxx CYCLE # 4 xxxx（循环第四次）SLOWLY OPEN，THEN CLOSE CYLINDER VALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLE PLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxx CYCLE # 3 xxxx（循环第三次）SLOWLY OPEN，THEN CLOSE CYLINDER VALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLE PLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxx CYCLE # 2 xxxx（循环第二次）SLOWLY OPEN，THEN CLOSE CYLINDER VALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLE PLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxx CYCLE # 1 xxxx（循环第一次）SLOWLY OPEN CYLINDER VALVE（缓慢的打开钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，后按ENTER继续* PURGE IS COMPLETE *（吹净完成）SWITCH TO PROCESS MODE（转动旋钮开关至供应状态）请将转动旋钮开关至供应状态气体种类为 AsH3，PH3，Cl2 时会下列画面* WEIGHT SELECTION *（重量选择）RESET=SKIP ENTER=PROCEED（RESET=略过） （ENTER=继续进行）按ENTER* WEIGHT SELECTION *（重量选择）1=TARE WEIGHT 2=PRODUCT WEIGHT（1=容器的重量） （2=产品的重量） 按2ENTER PRODUCT WEIGHT（加载产品的重量）RESET=SKIP x.xx ENTER=SAVE（RESET=略过） （ENTER=储存）输入气体灌充的重量后，按ENTERIS MANUAL ISOLATION VALVE OPEN？（开启手动隔离阀吗？）RESET=NO ENTER=YES（RESET=不） （ENTER=是） ）确实将手动隔离阀开启后，按ENTERAUTO SWITCHOVER ENABLED SELECT MODE（自动转换功能）RESET=STAND - BY ENTER=ON - LINE（RESET=随时备用） （ENTER=联线） ）按 RESETWARING PROCESS WILL BE STANDING BY（警告！生产过程决定随时备用）RESET=NO A