四川大学教案.doc_第1页
四川大学教案.doc_第2页
四川大学教案.doc_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

半导体制造技术 教 案【首页】课程名称半导体制造技术授课专业微电子班级08级 课程编号123456789课程类型必修课校级公共课（ ）；基础或专业基础课（ ）；专业课（）选修课限选课（）；任选课（ ）授课方式课堂讲授（）；实践课（）考核方式考试（）；考查（ ）课程教学总学时数4学 分 数2.0学时分配课堂讲授4 学时； 教材名称半导体制造技术作 者（日本）Michael QuirkJulian Serd出版社及出版时间电子工业出版社2006年指定参考书1.模拟电子技术2.半导体集成电路作 者出版社及出版时间清华大学出版社2002年清华大学出版社2003年授课教师尹梦君职 称 单 位电子工程学院授课时间2011.12.25注：表中（ ）选项请打“”半导体制造技术 教 案 周 次第 16周，第 15 次课2011年12月 15日备 注章 节名 称第四章 硅片制备授 课方 式理论课（）；实践课（ ）；实习（）教学时数4教学目的及要求1. 了解本征半导体的概念及特点，理解半导体结构，晶向等指标。2. 掌握半导体制备方法，能够简述制备步骤及化学反应方程式3. 理解单晶硅的提纯方法。4. 理解两种制备法的区别以及各自的优点。教学 内容 提 要时间分配第4章 硅和硅片制备4.1 引言4.2 半导体级硅4.3 晶体结构4.4 晶向4.5 单晶硅生长 第2页教学重点与难点重点：1. 半导体的制备2. 单晶硅的提纯。难点：1. 对于晶向以及硅的结构的理解。2. 单晶硅提纯的设备及步骤的理解。备 注启发提问1.半导体级硅的纯度为多少？2. 半导体级硅的制备的环节分为几个步骤？3. 硅晶体的内部结构有谁知道？4.掺杂的种类分别是什么？外语要求同理论课要求教学手段方法：
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课设设计

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论