PLC式手动VMB说明书1[1].0.docx

VMB操作说明书VMB操作手册2011年04月Version1.0目 录一. VMB的介绍说明（Introduction）31.安全预防措施32.培训及系统隔离流程43.VMB面板PID图54.VMB面板装配图6二. 电气控制介绍71. 控制器的特点71.1 警报（ALARM）71. 2操作（OPERATE）71.3 紧急停止按钮（EMERGENCY）81.4 工作流程82. 工程数据82.1 系统要求82.2 开关量输入92.3 开关量输出92.4操作环境93. 安装95.电气图纸105.1 面板布局图105.2 安装板布局图105.3 原理图115.4 端子排接线图11一. VMB的介绍说明（Introduction）VMB是一种内嵌多支分发管与排气管的箱子。它能让气体从单一来源被分配到多点应用 (典型设计为四点, 手册将有介绍)。对于每个使用点, 气压可被单独地调控, 从而满足个别应用需求。它还提供循环清洁功能和真空抽气功能, 因此能够在无危险气体泄漏的情况下安全地拆卸 VMB 的每一部份。除此以外, 它也能在不影响其它应用点的气体供应下, 清洗某一气体分发管或者对其进行真空抽气。危险!VMB 被设计且制造成为单一气体使用，不能让两种气体共同使用，除非获得盛韬半导体科技有限公司的书面批准。疏忽操作能导致设备损毁以及人身受伤。 1. 安全预防措施这份指南不能替代压缩气体设备安全原则的正规培训。以下部分是用以提醒受过培训并已充分了解及接受了安全实践的技术人员： 控制器的安装、操作和维护只应由受过培训的人员执行。 确保所有需被替换的零件、螺栓、标签和其它物件与原来的装设完全一致；未经授权，不可擅自修改组装。 疏于遵守推荐使用之程序会导致人身受伤和设备故障或污染。 不可使用运作不妥当的设备。 不可超额负载保险设备或保险装置的标准。 控制器使用的是 220 伏特交流电，因此，被电亟的危险性是存在的。在拆卸或更换控制器的电子零件，以及拆除/衔接控制器内电线 (包括传感器的接脚) 之前，必须先切断电源供应。 所有设备必须被锁着和做好标记，以避免遭到偶然或疏忽操作而造成意外受伤。不可试图操作任何开关、按钮或其它隔离的设备，不论它是锁着或标记。 在拆卸之前，必须切断控制器的电源供应。 在拆卸之前，先将控制器排气。意料外的喷气噪声伴随着气体的排出可能会吓着员工并造成意外。 为了避免造成伤害和杜绝非法窜改，控制器在操作时其门必须时刻保持紧闭合上。只有在进行维修工作时方可打开此门。2. 培训及系统隔离流程培训所有操作和维修员工有关系统隔离程序对安全的重要性。教导新雇员关于系统隔离程序的目的和用途。对于其他有可能遭受能量控制程序影响的员工，也必须给予系统隔离程序以及各种禁忌的教导，譬如禁止重新启动被隔离的VMB。系统隔离流程： 如果VMB正在操作, 转动前面的开关以切断电源。 锁住开关，并在VMB显眼处贴上 “ 系统隔离中 ” 的标签。 打开VMB 控制器, 启开断流器以确保电源供应被切断。 如果维修工作牵涉到VMB内的多支管，必须先清洗管支，然后关上阀门，确保气体供应被切断，并标明已关闭的阀门。 检查被切断的能源 (譬如电源和气体供应) 不会泄露。测试所有正常的开关和按钮，确保VMB不能操作。 VMB 如今已安全地被隔离。 3. VMB面板PID图 A: PROCESS INLET B: PROCESS OUTLETC: VENT D: GENERAL N2 E: PURGE N2 4. VMB面板装配图A: PROCESS INLET B: PROCESS OUTLETC: VENT D: GENERAL N2 E: PURGE N2 二. 电气控制介绍1. 控制器的特点控制器的主要功能是将应用气体安全地分配并输送至多个应用点。 手动VMB 控制器包括3 个主要部分： 警报（ALARM） 操作（OPERATE） 紧急停止按钮（EMERGENCY）1.1 警报（ALARM）包括POWER、FIRE、GAS LEAK、R.S.D、SPARE的指示灯显示。POWER为绿色指示灯，正常工作下亮绿色；其它几个均为红色指示灯，出现相应的故障时亮红色。 POWER 24V电源指示灯，为绿色常亮指示灯； FIRE火灾报警指示灯，当右边急停按钮按下时会自动转为红色； GAS LEAK气体泄漏指示灯，出现气体泄漏问题时会自动转为红色； R.S.D远程停机指示灯，有远程停机操作时会自动转为红色； SPARE 为备用指示灯。 1. 2操作（OPERATE） 包括气动阀开关（ON/OFF）和复位开关（RESET） 气动阀开关：气动阀开关位于面板中央。当被按下时，它能被锁住以保证它被保留在它的位置，切断电源对电磁阀的供应，如此保证气动阀不可能被打开；当被抬起时,它将自动开启气动阀。 复位开关（RESET）：用于系统消音处理和解决故障后系统复位。1.3 紧急停止按钮（EMERGENCY）这个部分包括一个急停按钮（E.M.O）和一个蜂鸣器（BUZZER） 急停按钮（E.M.O：通过按这红色按钮,它将切断电力对电磁阀的供应和关闭所有气动阀，进而中止一切气体的输送。通过顺时针转动按钮拉开插拴和重新设置。除此之外还提供一个保护圈，以保证它不会被偶然地压下。 蜂鸣器（BUZZER）：当有一个警报时这台蜂鸣器将响起来。通过键，操作员能消除蜂鸣器的声音，但红色发光二极管仍然点燃着，直到警报被解除和被承认。除此之外，在发生紧急情况下，蜂鸣器会自动声音提醒报警。（注：消除报警时，需先复位键，再按键。）1.4 工作流程当设备出现报警时，系统会自动停止供气，指示灯熄灭，蜂鸣器会发出报警音，同时ALARM相应的故障指示灯亮红色，POWER指示灯为常亮绿色。这时需按下键，进行消音处理；再按下键关闭气动阀；排除故障后，按下键，进行故障复位，左边相应的故障指示灯会熄灭，再抬起键，灯亮绿色，证明已经排除故障，系统可继续正常供气。2. 工程数据2.1 系统要求 电源供应：电压: 220 伏特交流电；频率: 50-60 赫兹；电流(典型)：1 安培 220 伏特 气控阀门气体供应：成分: 干燥氮气；气压: 不超过 80 psig；流速: 1-2 slpm；纯度: 需经过滤以去除直径大于10 um 的微粒 清涤外壳气体：成分: 干燥氮气；气压: 80 psig；流速 : 1-2 slpm； 清涤气体：成分: 推荐使用 5%氦气混合95%氮气，或 5%氦气混合95%氩气，或 100%氦气；气压: 70 psig 至 100 psig；流速: 40 slpm (在应用时)；纯度: 需经过滤以去除直径大于10 um 的微粒，电子级标准, 9.9995% 纯度； 抽气管气体：成分: 干燥氮气；气压: 80 psig；流速: 2 slpm (非使用中)，40 slpm (使用中)；纯度: 需经过滤以去除直径大于10 um 的微粒 排气管: 20 cfm, 0.25寸至对0.5寸(水) 保险丝和断流器：两条 20mm 1 安培之保险丝被置于断流器旁的接线盒，这些保险丝隔绝数字显示。这个开关对整体控制器提供短路保护和隔离。在PLC旁边的另一保险丝保护这个24Vdc 电路 。2.2 开关量输入 远程停车（R.S.D）干接点 气体泄漏（GAS LEAK）干接点 2.3 开关量输出干接点,，在工作状态下，气动阀状态输出。2.4操作环境 四周温度操作: 0 到25 deg.c 相对湿度, 最大值: 90 % 于25 deg.c3. 安装 以下是对 VMB 安装的最低要求，客户可根据他们的需求而做出更改 。 安装和测试气体的管道系统符合产业实践要求。 保证那些外部管道系统是用和气体盘管道系统一样较好的材料做成。 在管道系统内不是在外壳里面的所有联接,应该由专职管道焊工用电子级来焊接。 排气管由3/8或更大的管材做成，直接地连接到适当的由地方管理机构为特殊气体批准保证的气体排放回收系统。 在安装结束的状态中在管道系统上要进行氦气泄漏测试。 VMB尾气应该连接到被地方管理机构批准的特殊气体的一个适当的气体排除回收系统。尾气流量依据在下个部分介绍。 为VMB使用的尾