不易对准判断与处理简介

不易對準判斷及處理簡介 綱要 1 PREALIGN2 SEARCH3 EGA4 程式 座標ISSUE5 LSA異常層別及排除6 FIA異常層別及排除 BYC W LuOCT 2001 PREALIGN 目的 找NOTCH位置 晶片粗略對正限制 主要受限機台能力第一層對準機台需評估PREALIGN穩定性第一層PREALIGN結果將影響後續每一層單片性異常處理 OFRETRY注意事項 第一層PREALIGN若偏差太大 特別是W ROT 則需報廢第一層材料PREALIGN異常時 需重作 不可 PROCEDE PREALIGN異常層別及處理 SEARCH 目的 量測Y T X三組MARK 計算WAFERCENTER位置 作為EGA基準計算及補償WAFERROTATIONSENSOR MARK選擇MARK訊號強雜訊低與本層最接近之前一重要層MARK限制SCANRANGE大 易受雜訊干擾縮小SCANRANGE需考慮STEPPERPREALIGN 包括W R 能力 SEARCHMARK選擇 1 F8D SEARCH手動助拉流程 目的 SEARCH訊號太弱 雜訊過高或MARK磨損時 以手動對準並強制執行程序MANUALY T MANUALX 執行SEARCHY T X之手動對準EGA 強制完成SEARCH對準 並進入EGA步驟 CHECK對準訊號操作流程 CHECKSIGNAL選F6 SWITCHCHECKSEARCHSIGNAL 選 SEARCHASSIST CHECKEGASIGNAL 選 EGAASSIST EGA 目的 根據SEARCH結果量測6 8組EGAMARK分析每組MARK偏差量 計算該WAFER前層各AA分量 OFFSET SCALING MAG RR 計算WAFER曝光時各SHOT補償量SENSOR MARK選擇MARK訊號強雜訊低AA穩定性高限制SCANRANGE小 不易受雜訊干擾ALIGNMARK選擇 需根據ALIGNMENTRULE 不可任易變更換SENSOR MARK 會造成AASHIFT LSAMARK FIAMARK g EGALIMITOVERSPEC 程式座標 圖形異常 LSASIGNAL強弱變異 STI 1 BEFOREALIGNMARKETCHING AFTERALIGNMARKETCHING LSASIGNAL強弱變異 STI 2 SEARCHMARK選擇 2 ALIGNTOSIN ALIGNTOP1 現象 ALIGNMARK訊號受DUMMYPATTERN雜訊干擾影響 偶發性不易對準 現象 SEARCH改對P1 MARK訊號大幅增強 DUMMYPATTERN雜訊相對減弱影響 對準正常 CMPDISHINGEFFECT 現象 STICMP SIN 凸MARK AD3 AD4 CMPDISHING效應處置 換LSA凹MARKOR換FIASENSOR ALIGNMARKOXIDERESIDUE 現象 LAALIGNMARK蝕刻OX殘留 產生之雜訊處置 換FIASENSOR 改凹MARK W CMPRESIDUE 2 凸MARK凹MARKW CMP後 週邊W殘留W CMP後 週邊無W殘留 W CMPRESIDUE 1 現象 L9M VIA層 凸MARK周遭 W殘留 雜訊過大影響 L9 LAM2 M5處置 1 SEARCH手動助拉2 修改光罩LAYOUT SEARCH改AD 凹 MARK METRWK CMP MARK磨損 現象 METAL層CMPRWK MARK嚴重磨損處置 SEARCH手動助拉 LSA EGA SIGNALNOIZYAFTERCMP 現象 CMP異常 SIGNAL對稱性差 變異過大處置 換FIASENSOR注意 換SENSOR MARK可能造成AASHIFT 若連批應先PILOTAA DUMMYPATTERN 1 現象 ALIGNMARK週圍密集CMPDUMMYPATTERN 產生強烈雜訊此DUMMYPATTERN作用類似LSAMARK影響 LSASENSORCMP後層處置 改用FIA縮小SEARCHMARGINSEARCH改對最近之前層MARK 直排差排 DUMMYPATTERN 2 現象 光罩LAYOUT錯誤 密集切割道DUMMYPATTERN 嚴重干擾ALIGNMARK訊號原因 M V2MARK底下未墊M2PADM3對M V2時 受M1DUMMYPATTERN雜訊干擾影響 L7N B製程 eg IOTPI2 SV10X7C CMD02etc M2 M3 M4 PAD處置 SEARCH EGA改對前層AAPILOT 補值UPDATE光罩規範 密集排線干擾 現象 ALIGNMARK週圍密集排線 產生強烈雜訊此排線作用類似LSAMARK影響 LSASENSORBYPRODUCTLAYOUT處置 改用FIA縮小SEARCHMARGINSEARCH改對最近之前層MARK FIA SEARCHSIGNAL 1 FIASensor Searchmark CENTER低反射率CENTER高反射率eg MET POLY FIASIGNAL變異 1 基材 WITHALIGNMARKETCHING SKIPALIGNMARKETCHING POLYCMP FIA EGAMARKCENTER反射太強 現象 MARK寬度小 反射率高 eg MET層之F2DDMARK 處置 換MARK改光罩 改用REVERSETYPEMARK eg F2DCMARK MARKCENTER高反射 MARKCENTER低反射 FIA SEARCH邊框效應 現象 FIA外框OR底部加墊PAD之邊框 造成訊號誤判影響 舊型FIASEARCHXMARK底部加墊PAD處置 改用LSAMARK外緣加寬 FIA EGASIGNAL 1 MARK F6DD 現象 MARKCENTER反射率變異過大處置 換MARKOR換SENSOR注意 換SENSOR MARK可能造成AASHIFT 若連批應先PILOTAA LSA SENSORPOSITIONSHIFT 1 現象 LSA XSENSOR位置SHIFT確認 連批性LSA不易對準LSA