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文档简介

检漏仪的使用方法 HELIOTMODEL 301 一 检漏仪的原理 通过检漏介质 氦气 如果测试腔体有漏 氦气就会由腔体漏入 经过管道和抽气系统进入检漏仪 氦气从检漏仪里的校准漏孔出来 再经过离子源和分析管将氦气分子离化为离子 并将其它离子离化并中合 只让氦离子通过 并将电离值转化为数字量 如果这个值有明显的上升 就表明有漏了 二 检漏仪的使用方法 首先确认与检漏仪接在一起的检漏腔体的真空压力是否在50Pa以下 接通检漏仪的电源 按下检漏仪的MAINPOWER开关 出现 PUSHSTART 按钮时 按下检漏仪的 START STOP 按钮 检漏仪进入自检状态 其过程为 Pumping Zero HeTop Fine Mid Grs Zero Standby Test 缓慢打开检漏仪上的手动阀门 等控制手柄上的数据稳定后开始检漏 测试完毕 先关闭检漏仪的手动阀门 再按下控制手柄上的 Vent 的按钮 关闭检漏仪上的 START STOP 按钮 等5秒后 关闭检漏仪上的MAINPOWER开关 三 氦气的特性 略比氢气重一些的惰性气体 渗透性比较强 由于氦气比较轻 打出后总是向上走 所以检漏的顺序应该是从上往下的顺序 气体比较贵 因此气量尽量开的小一些 四 检漏的方法 1 使用氦质谱检漏仪 确定大致范围 逐一排除怀疑的漏点 用自封带 胶带 油脂和酒精等 找出漏点的最大处 最终确定漏点的最小范围 2 使用酒精检漏 看真空计的变化 漏点可具体化 但灵敏度不高 3 使用探伤剂 渗透剂和显影剂 对于找出的怀疑漏点 使其显现出来 4 超声波和X射线等 检漏成本较高 不易广泛采用 五 检漏仪的面板说明 六 检漏仪常见的一些问题点 1 漏率值有时会突然上升 然后又很快回到原来的位置 而且是每隔一定时间 2 由于漏的原因 漏率值上升 排除漏的因素后 漏率值却始终降不下来 3 打了氦气后 再通入压缩空气 漏率值没有变化 但泄压后漏率值又开始上升 七 氦气检漏的种类 1 顺流检漏方式 灵敏度高 反应快 一般都采用这种检漏方式 2 逆扩散检漏方式 可在高压状态下进行检漏 3 301检漏仪分四种检漏模式 粗检漏模式 1000Pa以下 一般检漏模式 70Pa以下 精检漏模式 10Pa
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