光电制程、半导体制程设备供应链-与-技术研发地图.ppt

1 光電製程 半導體製程設備供應鏈與技術研發地圖 2 一 光電製程 1 TFT Array段 1 基板受入前洗淨線PEP1DenseCleaner廣運 洗淨設備 成膜前洗線Pre DepoCleaner帆宣亞智勤友 濺鍍機零件防著板Sputterparts漢泰世禾技鼎 Photo展研 AI蝕刻機 鋁蝕刻線AlEtcher帆宣亞智 TotalPitch旭東 CDOverlay量測機CDOverlay CDOLMeasurement晶彩 去光阻機 剝離線Stripper帆宣勤友 乾式蝕刻機DryEtcher帆宣帆宣 擬開發 資騰 列陣測試ArrayTeste ParticleCounter旭東勤友技鼎 回火機AnnealOven帆宣志聖能麒資騰 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 3 1 TFT Array段 2 CVD 雷射修補機LaserRepair均豪 沛鑫晶彩 大銀旭東 揚朋 雷射CVD修補機LaserCVD沛鑫 傳輸機 取片 排片 排序機Changer Exchanger七憶 帆宣均豪 盟立旭東 反射率量測機Reflectometer晶彩 Ellipsometer SurfaceProfiler 面板阻抗量測機SheetResist SheetResistance晶彩 TEG 檢測機VisionInspection旭東大銀揚朋政美 巨量檢測機 巨觀檢查機Macro Micro均豪 高僑大銀 宏瀨廣運 資騰 光學檢測機 視覺檢測 自動檢查機AOI晶彩 由田大銀 資騰 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 4 1 TFT Array段 3 周邊設備或其他 BC EAP羽冠 堆疊式解包設備DenseUnpack陽程 巨觀自動光學檢測系統DigitalMacroAOISystem由田 MES羽冠 擬開發 顯影設備Developer亞智 擬開發 常壓電漿清潔設備APPlasmaCleaner馗鼎 輸送帶Conveyor帆宣 良率管理系統SUNSSystem晶彩 拍照機Review晶彩 自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立 真空chamber銲接Welding漢泰 擬開發 濺鍍機零件 乾蝕刻機零件 化學層積零件表面處理Partscleaningsurfacetreatment漢泰 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 離子雲植入機IonShowerDopingSystem帆宣 5 1 TFT Array段 4 零組件供應 滾珠螺桿BallScrew上銀大銀 防著板 銅背板Mask BackingPlate Copper 千附 鋁背板BackingPlate forCVD 千附 加熱器Susceptor千附 電極板及網板Electrode Grid千附 線性馬達LinearMotor大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 擴散板Diffuser千附 EUV172光源EUVExcimerLamp資騰 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 6 2 TFT Cell FEOL段 1 PI前洗淨設備Pre PICleaner亞智億尚勤友 PI轉寫機 PI預烤爐 PI烤爐PiPre Cure PiPostBake志聖能麒 PI轉寫後檢查機PIInspectionSystem宏瀨 PI烤爐PIMAINCUREOVEN能麒 液晶脫泡機L C 緯瑩億尚 框膠脫泡機 RubbingMachine Rubbing後人工檢查機RubbingInspection陽程迅得 擬開發 Rubbing後洗淨設備亞智億尚勤友 C FAnnealOven志聖能麒 框膠塗佈機SealDispenser帆宣帆宣 擬開發 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 7 2 TFT Cell FEOL段 2 液晶注入機 液晶滴入機LiquidCrystalDispenser帆宣 帆宣 擬開發 晶彩 擬開發 SpacerScatter Ballspacer光學檢測機SpacerCounterInspector CellSpacerAOI晶彩 SpacerPrebakeOven能麒 CommonPasteDispenser 框膠硬烤爐SealMainCureoven志聖能麒霖豐 大基板貼合後人工檢查機LCInspection陽程 真空貼合機VacuumPanelAligner帆宣 擬開發 UVCure志聖 基板貼合精度檢查機旭東帆宣 擬開發 PhotoSpacer高度檢查機PhotoSpacerLevelMete沛鑫 旭東 勤友帆宣 陽程 擬開發 框膠塗佈機SealDispenser帆宣帆宣 擬開發 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 8 2 TFT Cell FEOL段 3 薄膜 光阻塗佈 曝光 顯影機Developer亞智廣運帆宣 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 9 2 TFT Cell FEOL段 4 周邊設備或其他 IRCP志聖 HPCP志聖 異物計算機CellParticleCounter晶彩 Seal光學檢測機CellSealAOI晶彩 PI光學檢測機CellPIAOI晶彩 切裂光學檢測機CellBurrCheckAOI晶彩 自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立三橋 常壓電漿清潔設備APPlasmaCleaner馗鼎 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 光罩檢測系統Photomaskinspection帆宣 BC EAP羽冠 MES羽冠 擬開發 ARCOven志聖 10 2 TFT Cell FEOL段 5 周邊設備或其他 Spacer乾式洗淨設備元捷 整廠無塵室風扇過濾裝置FFUUNIT元捷 P P Box乾式洗淨設備元捷 擬開發 自動複檢儀器AutoReviewMachine由田 框膠自動光學檢測系統SealAOISystem G5 G6 G7 5由田 配向膜自動光學檢測系統PIAOISystem G5 G6 G7 5由田 雷射修補機Open ShortLaserRepair揚朋 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 玻璃再生機 PI去除 PIrework帆宣 PI灰化機DryAsher資騰 Cell段轉寫機搭配之恆溫機元捷 Cell段磨刷機搭配之加溼器元捷 PP Box包裝機PP BoxPacker三橋 11 2 TFT Cell FEOL段 6 零組件供應 線性馬達LinearMotor大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 線性滑軌LinearGuideway上銀大銀 非接觸ITO模組值測量器Non contactResistivitymeasurement資騰 偏向膜零件表面處理Surfacetreatment漢泰 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 12 3 TFT Cell BEOL段 1 玻璃切割機GlassCutting均豪 緯瑩漢泰 億尚資騰 玻璃裂片檢測機 切割後檢查機 BurrChecker AOI 均豪沛鑫旭東 磨邊倒角機Grinding均豪 玻璃表面清潔機TapeCleaner均豪陽程 濕製程洗淨機WetCleaner亞智億尚廣運霖豐 點燈檢查機CTProber沛鑫旭東晉速 偏光板貼附機P A Polarizerattacher 七憶陽程帆宣 帆宣 擬開發 包裝機DensePacker均豪 迅得旭東 陽程基丞 帆宣 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 13 3 TFT Cell BEOL段 2 周邊設備或其他 零組件 PP Box包裝 解包裝機PP BoxPacker Unpacker迅得 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 面板薄形化研磨設備陽程 擬開發 面板自動檢測光學系統AutomatedPanelInspectionSystem由田 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 14 4 TFT Module LCM段 小尺寸 1 裝 拆自動化系統 收 放板機Loader Unloader帆宣 盟立 高僑緯瑩 旭東 晉速億尚 廣運 勤友 磨邊倒角機 磨邊機Grinding均豪緯瑩 CulletRemover旭東 清潔機 測洗設備Cleaner均豪 亞智旭東 駐龍廣運 IonizerBlow 偏光板貼附機P A PolarizerAttachM C七憶易發 對位貼合機 對位壓著機COGBonder均豪 緯瑩易發 旭東 Brush亞智旭東 乾蝕刻清潔機PlasmaCleaner均豪志聖馗鼎旭東 自動檢測 視覺檢測AOI均豪旭東晉速 分片機 點膠機Dispenser盟立緯瑩易發旭東 AMT 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 15 4 TFT Module LCM段 小尺寸 2 老化測試設備 面板熟化設備系統AgingOven志聖 盟立高僑 晉速帆宣 廣運 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 MES BC EAP羽冠 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 雷射修補機ModuleLaserRepair揚朋 面板測試Paneltest旺矽 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 周邊設備或其他 零組件供應 16 5 TFT Module LCM段 中尺寸 1 磨邊倒角機Grinding均豪沛鑫 CulletRemover 清潔機Cleaner均豪 馗鼎旭東 駐龍廣運 偏光板貼附機P A PolarizerAttachM C七憶易發 裝 拆自動化系統Loader Unloader盟立 高僑旭東 晉速億尚 廣運 分片機Dispenser盟立易發旭東 PCB對位壓著機PCBBonder易發億尚 EPC COG對位壓合機 貼合機COGBonder均豪 沛鑫盟立 易發億尚 FPC對位壓合機 貼合機FPCBonder七憶 沛鑫盟立 易發億尚 PCBTest高僑旭東晉速 老化測試設備 面板熟化AgingOven志聖 盟立高僑 晉速 廣運帆宣 擬開發 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 17 5 TFT Module LCM段 中尺寸 2 AFT ACF貼附ACFAttachment七億 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 MES BC EAP羽冠 自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立三橋 雷射修補機ModuleLaserRepair揚朋 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 零組件供應 18 6 TFT Module LCM段 大尺寸 1 磨邊倒角機Grinding均豪 CulletRemover 清潔機Cleaner均豪亞智駐龍廣運 偏光板貼附機P A PolarizerAttachM C易發七憶 擬開發 裝 拆自動化系統Loader Unloader盟立 高僑旭東 億尚廣運 分片機Dispenser盟立易發旭東萬潤 PCB對位壓著機PCBBonder易發 EPC 重修機OLB易發億尚 自動檢測LeadAOI均豪旭東 PCBTest旭東晉速 老化測試設備 面板熟化AgingOven志聖 盟立 高僑晉速 陽程 廣運帆宣 迅得 擬開發 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 19 6 TFT Module LCM段 大尺寸 2 AFT 自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立 面板自動檢測光學系統AutomatedPanelInspectionSystem由田 擴散板元捷 面板與背光模組自動組裝設備AssemblyLine陽程 背光模組自動組裝設備陽程 擬開發 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他 精密線性模組SingleAxisRobot上銀 MES BC EAP羽冠 雷射修補機ModuleLaserRepair揚朋 20 6 TFT Module LCM段 大尺寸 3 零組件 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 21 6 ColorFilter 1 PEP1DenseCleaner Pre DepoCleaner Sputter Photo AlEtcher TotalPitch CDOverlay量測機CDOverlay CFCDOLMeasurement晶彩 Stripper DryEtcher CFTester ParticleCounter AnnealOven 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 22 6 ColorFilter 2 CVD 雷射修補機LaserRepair Laser InkRepair晶彩 LaserCVD Changer Exchanger 穿透率量測機ODmeasurement晶彩 Ellipsometer SurfaceProfiler 色度量測機Colormeasurement晶彩 Thicknessmeasurement VisionInspection Macro Micro 光學檢測機AOI晶彩 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 23 6 ColorFilter 3 複金屬燈箱CFMetalHalideLampHouse晶彩 拍照機CFReview晶彩 異物檢知機CFTokkiAOI晶彩 良率管理系統CFSUNSSystem晶彩 彩色濾光片檢查 修補Colorfilterreview repair帆宣 彩色濾光片修補機Colorrepair帆宣沛鑫 BC EAP羽冠 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他 24 7 傳輸設備 1 玻璃基板倉儲系統Stocker台朔 帆宣均豪 沛鑫盟立 高僑 廣運帆宣 擬開發 軌道導引搬運車RGV台朔 帆宣志聖 沛鑫盟立 高僑旭東 立穩 廣運 人工導引搬運車MGV GlassorCassette 七憶 志聖 沛鑫盟立 高僑 旭東立穩 廣運 面板搬運裝置Loader Unloader士林 帆宣 均豪志聖 沛鑫 盟立高僑 迅得 旭東立穩 廣運 帆宣 機器手臂Robot均豪 盟立高僑 廣運帆宣 擬開發 自動 輸送帶 傳輸系統CTC VSystem七憶 均豪 志聖沛鑫 盟立 高僑迅得 旭東 廣運三橋 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 25 7 傳輸設備 2 周邊設備或其他 零組件 ColorFilerGlassConveyorSystem高僑 Panel輸送系統PanelC VSystem迅得 自動輸送系統設備C VSystem陽程 基板卡匣Cassette沛鑫高僑 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 周邊設備或其他 零組件供應 26 8 其他光電製程設備 1 CleanOHT台朔 CleanAGV台朔 CleanAMHS台朔 雷射顯微鏡Lasermicroscope帆宣 OLED organic材料蒸鍍機OLED organicevaporation帆宣 光罩雷射修補機PhotomaskLaserRepair揚朋 二次元光學量測設備2DMOpticalMeasurement揚朋 OLED面板篩檢與老化設備OLEDorganic finaltesting帆宣 冷陰極管沾錫機基丞 冷陰極管老化測試機基丞 平行曝光機用電源設備福峰 PV自動化系統PVAutomationSystem迅得 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 27 8 其他光電製程設備 2 美國Cognex機器視覺系統CognexMachineVision汎宇 美國Parker自動化控制產品ParkerMotionControl汎宇 日本Yokogawa直接驅動馬達YokogawaD D Motor汎宇 TapeRepair旭東 BrushlessMotor ServoMotor G Motor宙揚 SEAL檢查機SealInspectionSystem宏瀨 PF檢查機PFInspectionSystem宏瀨 微粒子計數器Particlecounter耀群 環境監控系統FacilityMonitoringSystem耀群 產品表面監控系統SurfaceParticleCounter耀群 膜厚色度儀宏瀨 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 LCM後段自動包裝 堆疊LCMAutoPacking StockerSystem三橋 28 8 其他光電製程設備 3 BEOL後段無塵昇降設備CleanLifter三橋 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 29 二 半導體製程 1 晶圓製造 薄膜製程 1 化學氣相沉積CVD漢泰 物理氣相沉積PVD漢泰 電化學沉積 銅製程 Ag Cn NiPlating漢泰嘉智 化學機械研磨機CMPequipment帆宣資騰 二氧化矽塗佈機SOGcoater展研 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他 30 1 晶圓製造 薄膜製程 2 零組件 真空腔體Chamber千附 擬開發 擴散板ShowerHead千附 擬開發 PVABrush帆宣 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 線性滑軌LinearGuideway大銀 氣體質量控制器MssFlowController資騰 31 光罩清洗機弘赫電 2 晶圓製造 微影製程 光阻塗佈 烘烤 顯影Developer弘赫電嘉智廣運 曝光 光罩檢驗設備MaskInspection帆宣 黃光用紫外光源UVLamp資騰 光阻硬化機UVCuring霖豐 電荷消除機ChargeEraser霖豐 週邊曝光機WEE霖豐 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 零組件供應 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 周邊設備日或其他 32 3 晶圓製造 蝕刻製程 乾式蝕刻 濕式蝕刻EtchBench弘赫電嘉智嵩展 乾式光阻剝除 濕式光阻剝除Stripper Cleaner弘赫電嘉智帆宣 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 電極板Electrode千附 擬開發 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 清洗PartsClean嘉智弘赫電 零組件供應 33 4 晶圓製造 擴散製程 離子佈植 快速升溫處理 氧化 擴散爐 擴散退火爐Furnance HightempFurnuance帆宣資騰 濕式批次處理WetBench嘉智弘赫電 濕式單晶圓處理SpinCleaner嘉智弘赫電 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 零組件供應 34 5 晶圓製造 製程檢測 1 關鍵尺寸量測OpticalMeasurement揚朋 ADI量測旭東 薄膜量測Thin FilmMeasurement帆宣 缺陷量測ParticleInspection旭東帆宣 EAP羽冠 環境監控系統FacilityMonitoringSystem耀群 產品表面監控系統SurfaceParticleCounter耀群 晶片高度檢測機CCMLansHolder均豪 針測機ProbingEquipment旺矽 微粒子計數器Particlecounter耀群 2D 3D量測設備2D 3Dmeasuringsystem耀群 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 周邊設備及其他 35 5 晶圓製造 製程檢測 2 零組件 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 36 6 晶圓製造 自動化設備及其他 晶圓自動傳送模組EFEM沛鑫 Stock高僑 自動化設備FactoryAutomationSystem旭東廣運 FOUP垂直搬送機FOUPCleanLifter三橋 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 精密線性軸承SingleAxisRobot上銀 零組件供應 自動化搬送設備AutomaticTransferSystem旭東廣運三橋 37 7 IC封裝 傳統封裝 1 晶圓探針Probepin socket技鼎資騰 測試取放Sawing placement技鼎 晶片 封裝切割機Dicing七憶技鼎資騰 黏晶機DieBonder均豪 覆晶黏晶機旭東 烘烤 迴銲 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 銲線機WireBonder均豪技鼎 自動封膠機AutoMolding Moldpress均豪 基丞萬潤 帆宣 剪切成型機Trim Form Singulation均豪 基丞技鼎 帆宣 雷射刻印機LaserMark Lasermarking均豪基丞技鼎 封裝 基板檢查 視覺檢查Package SubstrateInspection Visioninspection均豪 基丞技鼎 帆宣 植球機 BGA植球機BallMount BallMounter萬潤帆宣 周邊設備及其他 38 7 IC封裝 傳統封裝 2 周邊設備及其他 晶片薄化研磨Lapping Polishing帆宣 MES EAP羽冠 晶粒挑選機ChipSorter均豪 植球 點膠機Bumping均豪 自動倉儲ASRS盟立 送收料機Loader unloader萬潤 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 電漿清洗設備PlasmaCleaner馗鼎 2D 3D量測設備2D 3Dmeasuringsystem政美 零組件Parts帆宣 線性馬達LinearMotor大銀 滾珠螺桿BallScrew大銀 線性滑軌LinearGuideway大銀 零組件供應 39 8 IC封裝 Bumping 1 UBM濺鍍 光阻塗佈Coater帆宣資騰 曝光 顯影 清洗 去光阻Developer Clean Stripper嵩展弘赫電帆宣資騰 凸版電鍍Plating帆宣 Bumping檢測BumpingInspection帆宣 MES EAP羽冠 UBM去除 植球 點膠BallMount FluxPrinting技鼎帆宣 晶圓傳送系統Waferhandlingsystem展研 視覺檢查Visioninspection基丞 紅字代表該設備 零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他 40 8 IC封裝 Bumping 2 零組件及其他 特殊專用機SpecialPurpos