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1 6 1概述 第6章数控机床的检测装置 伺服驱动系统 ServoSystem 2 6 1概述 性能指标系统精度 是指在一定长度或转角内测量积累误差的最大值 如 0 002 0 02mm m 10 360 等 系统分辨率 是测量元件所能正确检测的最小位移量 如目前直线位移的分辨率为0 001 0 01mm 角位移分辨率为2 3 数控检测装置作用及基本要求 组成 位置测量装置是由检测元件 传感器 和信号处理装置组成的 作用 实时测量执行部件的位移和速度信号 并变换成位置控制单元所要求的信号形式 将运动部件现实位置反馈到位置控制单元 以实施闭环控制 它是闭环 半闭环进给伺服系统的重要组成部分 闭环数控机床的加工精度在很大程度上是由位置检测装置的精度决定的 在设计数控机床进给伺服系统 尤其是高精度进给伺服系统时 必须精心选择位置检测装置 6 1概述 4 基本要求高可靠性和高抗干扰性 受温度 湿度的影响小 工作可靠 精度保持性好 抗干扰能力强 能满足精度和速度的要求 位置检测装置分辨率应高于数控机床的分辨率 一个数量级 位置检测装置最高允许的检测速度应数控机床的最高运行速度 使用维护方便 适应机床工作环境 成本低 6 1概述 5 数控检测装置分类 检测装置的分类 数控系统中的检测装置分为位移 速度和电流三种类型 根据安装的位置及耦合方式 直接测量和间接测量 按测量方法 增量型和绝对型 按检测信号的类型 模拟式和数字式 根据运动型式 回转型和直线型 按信号转换的原理 光电效应 光栅效应 电磁感应原理 压电效应 压阻效应和磁阻效应等 6 数控检测装置分类 常用位置检测装置分类表 7 数控检测装置分类 常见检测装置 8 数控检测装置分类 1 数字式测量和模拟式测量数字式测量是以量化后的数字形式表示被测量 得到的测量信号为脉冲形式 以计数后得到的脉冲个数表示位移量 其特点是便于显示 处理 测量精度取决于测量单位 与量程基本无关 抗干扰能力强 模拟式测量是将被测量用连续的变量来表示 模拟式测量的信号处理电路较复杂 易受干扰 数控机床中常用于小量程测量 9 数控检测装置分类 2 增量式测量和绝对式测量增量式测量装置只测量位移增量 即工作台每移动一个基本长度单位 检测装置便发出一个检测信号 此信号通常是脉冲形式 增量式检测装置均有零点标志 作为基准起点 数控机床采用增量式检测装置时 在每次接通电源后要回参考点操作 以保证测量位置的正确 绝对式测量是指被测的任一点位置都从一个固定的零点算起 每一个测点都有一个对应的编码 常以二进制数据形式表示 10 数控检测装置分类 3 直接测量和间接测量在数控机床中 位置检测的对象有工作台的直线位移及旋转工作台的角位移 检测装置有直线式和旋转式 典型的直线式测量装置有光栅 磁栅 感应同步器等 旋转式测量装置有光电编码器和旋转变压器等 若位置检测装置测量的对象就是被测量本身 即直线式测量直线位移 旋转式测量角位移 该测量方式称为直接测量 直接测量组成位置闭环伺服系统 其测量精度由测量元件和安装精度决定 不受传动精度的直接影响 但检测装置要和行程等长 这对大型机床是一个限制 若位置检测装置测量出的数值通过转换才能得到被测量 如用旋转式检测装置测量工作台的直线位移 要通过角位移与直线位移之间的线性转换求出工作台的直线位移 这种测量方式称为间接测量 间接测量组成位置半闭环伺服系统 其测量精度取决于测量元件和机床传动链二者的精度 因此 为了提高定位精度 常常需要对机床的传动误差进行补偿 间接测量的优点是测量方便可靠 且无长度限制 11 数控检测装置分类 12 6 2旋转变压器 旋转变压器是一种角度测量装置 1 旋转变压器的结构 在结构上与两相绕线式异步电动机相似 由定子和转子组成 定子绕组为变压器的一次绕组转子绕组为变压器的二次绕组 根据转子绕组两种不同的引出方式旋转变压器分有刷式无刷式 13 旋转变压器结构和工作原理 6 2旋转变压器 旋转变压器是一种控制用的微电动机 它将机械转角变换成与该转角呈某一函数关系的电信号 在结构上与二相线绕式异步电动机相似 由定子和转子组成 定子绕组为变压器的一次侧 转子绕组为变压器的二次侧 励磁电压接到定子绕组上 其频率通常为400Hz 500Hz 1000Hz和5000Hz 旋转变压器的结构简单 动作灵敏 对环境无特殊要求 维护方便 输出信号幅度大 抗干扰性强 但测量精度较低 一般用于精度要求不高或大型机床的粗测及中测系统 14 旋转变压器结构和工作原理 旋转变压器的结构有电刷集电环结构和无刷结构 每一类又分为单对极元件 多对极元件 或称多极元件 15 旋转变压器结构和工作原理 旋转变压器的工作原理旋转变压器的工作原理和普通变压器的基本相似 区别在于普通变压器的一次 二次绕组是相对固定的 所以输出电压和输入电压之比是常数 而旋转变压器的一次 二次绕组之间是随着转子的角位移发生相对位置变化的 因而其输出电压的大小也随之而变化 也就是说当定子绕组加上交流电压时 转子绕组输出电压的大小取决于定子与转子两个绕组磁轴线在空间的相对位置 转子绕组电压的频率与定子绕组的相同 但幅值随转子与定子的相对角位移的正弦函数而变化 所以只要测出转子的输出电压的幅值 就可求出转子相对定子的角位移 16 旋转变压器结构和工作原理 17 旋转变压器结构和工作原理 当转子绕组磁轴与定子绕组磁轴垂直时 0 不产生感应电压 当两磁轴平行时 90 感应电压最大 当两磁轴为任意角度时 感应电压为 式中 K 变压比 转子绕组与定子绕组的匝数比 U1 励磁电压 Um 励磁电压的幅值 励磁电压的角频率 18 旋转变压器应用 19 旋转变压器应用 1 鉴相工作方式 20 旋转变压器应用 1 鉴相工作方式 Vs Vmsin tVc Vmcos tE2 KVmcos KVcsin KVm sin tcos cos tsin KVmsin t 21 旋转变压器应用 2 鉴幅工作方式 22 旋转变压器应用 2 鉴幅工作方式 Vs Vmsin 电sin tVc Vmcos 电sin tE2 KVmcos 机 KVcsin 机 KVmsin t sin 电cos 机 cos电sin 机 KVmsin 电 机 sin t 感应电势 E2 是以 为角频率 以Vmsin 电 机 为幅值的交变电压信号 若电气角 电已知 只要测出E2幅值 利用E2 0 便可间接的求出机械角 机 从而得出被测角位移 23 感应同步器结构和工作原理 6 3感应同步器 感应同步器的结构和特点感应同步器是利用电磁耦合原理 将位移或转角变为电信号 借以进行位置检测的反馈控制 在数控机床上使用极为普遍 按其用途可分为两大类 直线感应同步器和圆感应同步器 前者用于直线位移的测量 后者用于转角的测量 在结构上 两者都包括固定和运动两大部分 对旋转式分别称为定子和转子 对直线式分别称为定尺和滑尺 24 感应同步器结构和工作原理 6 3感应同步器 25 感应同步器结构和工作原理 1 圆感应同步器它由定子和转子组成 转子绕组为连续绕组 定子上有两相正交绕组 sin绕组和cos绕组做成分段式 两相绕组交差分布 相差90 电相角 属于同一相的各相绕组用导线串联起来 感应同步器是一种电磁感应式多极位置传感元件 由旋转变压器演变而来 它的极对数可以做得很多 一般取360对极 720对极 最多的达2000对极 由于多极结构 在电与磁两方面对误差都起补偿作用 所以具有很高的精度 感应同步器的励磁频率一般取2 10kHz 26 感应同步器结构和工作原理 2 直线式感应同步器 考虑到接长和安装 通常定尺绕组做成连续式单相绕组 滑尺上配置断续绕组 并且分为正弦励磁绕组和余弦励磁绕组 这两个绕组在空间上错开90 电相角 27 感应同步器安装 28 感应同步器安装 29 感应同步器结构和工作原理 感应同步器的使用特点 精度高 可拼接成各种需要的长度 对环境的适应性强 使用寿命长 注意安装间隙 根据测量长度的要求 采用多块定尺接长 相邻定尺间隔也可以调整 使拼接后总长度的精度保持 或略低于 单块定尺的精度 尺与尺之间的绕组连接方式有两种 当定尺少于10块时 将各绕组串联连接 当多于10块时 先将各绕组分成两组串联 然后将此两组再并联 以不使定尺绕组阻抗过高为原则 直线式感应同步器金属基尺与安装部件的材料的膨胀系数相近 当环境温度变化时 两者的变化规律相同 而不影响测量精度 感应同步器为非接触式电磁耦合器件 可选耐温性能好的非导磁性材料作保护层 加强了其抗温防湿的能力 同时在绕组的每个周期内 任何时候都可以给出与绝对位置相对应的单值电压信号 不受环境干扰的影响 由于感应同步器定尺与滑尺之间不直接接触 因而没有磨损 所以寿命长 但是感应同步器大多装在切屑或切削液容易入侵的部位 所以必须用钢带或折罩覆盖 以免切屑划伤滑尺与定尺的绕组 感应同步器安装时要注意定尺与滑尺之间的间隙 一般在 0 02 0 25 mm 0 05mm以内 滑尺在移动过程中 由于晃动所引起的间隙变化也必须控制在0 01mm之内 如果间隙过大 必将影响测量信号的灵敏度 由于感应同步器是直接对机床位移进行测量 中间不经过任何机械转换装置 测量精度只受本身精度限制 定尺和滑尺上的平面绕组 采用专门的工艺方法制作精确 再加上它的极对数多 定尺上的感应电压信号是多周期的平均效应 从而减少了制造绕组局部误差的影响 所以测量精度高 目前直线感应同步器的精度可达 0 001mm 重复精度0 0002mm 灵敏度0 00005m 直径为302mm的感应同步器的精度可达0 5 重复精度0 1 灵敏度0 05 30 感应同步器结构和工作原理 感应同步器的工作原理 当滑尺上励磁绕组和定尺上的绕组位置重合时 耦合磁通最大 感应电动势也最大 当继续平行移动滑尺时 感应电动势逐渐减小 当移动到1 4节距位置处 在感应绕组内的感应电动势为零 继续移动到半个节距处 可得到与初始位置极性相反的最大感应电动势 在3 4节距处 感应电动势又变为零 移动到下一个节距时 又回到与初始位置完全相同的耦合状态 感应电动势最大 这样 感应电动势随滑尺相对于定尺的移动而呈周期性变化 31 感应同步器应用 1 鉴相工作方式 当在正弦绕组加励磁电压Us Umsin t 它在定尺绕组中产生的感应电动势为 式中K 耦合系数 与位移X对应的角度 定 滑尺相对移动一个节距P 2 从0变到2 即 32 感应同步器应用 1 鉴相工作方式 同理 在余弦绕组加励磁电压Uc Umcos t 它在定尺绕组中产生的感应电动势为 应用迭加原理 定尺上的感应电动势为 33 感应同步器应用 1 鉴相工作方式 鉴相检测系统框图 34 感应同步器应用 1 鉴相工作方式 脉冲 相位变换器框图 35 感应同步器应用 2 鉴幅工作方式 在鉴幅型系统中 激磁电压是频率 相位相同 幅值不同的交变电压 US Umsin 2sin tUC Umcos 2sin t 2 x2 x2是指令位移值 Uo Uos Uos KUScos 1 KUcsin 1 KUmsin 2cos 1sin t KUmcos 2sin tsin 1 KUmsin 2 1 sin t结论 只要能测出Uo与UC相位差 1 就可求得滑尺与定尺相对位移量x 36 6 4光栅 光栅用于光谱分析和光波波长的测定 是测量数控机床工作台位移的光电检测元件 光栅分为物理光栅和计量光栅 物理光栅 刻线细密 用于光谱分析和光波波长的测定 计量光栅 比较而言刻线较粗 但栅距也较小 在0 004 0 25mm之间 测量的位置精度非常高 分辨率也很高 达0 1 m 主要用在数字检测系统 37 光栅结构和工作原理 光栅的种类光栅传感器为动态测量元件 按运动方式分为长光栅和圆光栅 长光栅用来测量直线位移 圆光栅用来测量角度位移 根据光线在光栅中的运动路径分为透射光栅和反射光栅 一般光栅传感器都是做成增量式的 也可以做成绝对值式的 目前光栅传感器应用在高精度数控机床的伺服系统中 其精度仅次于激光式测量 在加工中心等高精度数控机床上应用较广 38 光栅结构和工作原理 光栅测量系统 光栅是由光源 聚光镜 主光栅 指示光栅和光敏元件等构成 主光栅和指示光栅分别安装在机床的移动部件及固定部件上 两者相对移动 相互平行 它们之间保持0 05mm或0 1mm的间隙 主光栅和指示光栅的刻线错开一定的角度 以得到莫尔条纹 39 光栅结构和工作原理 主光栅和指示光栅通称为光栅尺 它们是在真空镀膜的玻璃片或长条形金属镜面上光刻出均匀密集的线纹 光栅的线纹相互平行 线纹之间的距离称为栅距 对于圆光栅 这些线纹是圆心角相等的向心条纹 两条向心纹线之间的夹角称为栅距角 栅距和栅距角是光栅的重要参数 对于长光栅 金属反射光栅的线纹密度为25 50 mm 玻璃透射光栅为100 250 mm对于圆光栅 一周内刻有10800条线纹 圆光栅直径为 270mm 360进制 40 光栅结构和工作原理 光栅的结构1 防护垫2 光栅读数头3 标尺光栅4 防护罩 光栅读数头1 光源2 准直镜3 指示光栅4 光敏元件5 驱动线路 41 光栅结构和工作原理 莫尔条纹栅距相同的主光栅和指示光栅 刻线面相对的重叠在一起 中间留有适当小的间隙 并且两者刻线错开一定的角度 两块光栅的刻线就会相交 这样由于光的干涉效应 就会产生和栅线接近于垂直的明暗相间的条纹 这些条纹就是莫尔条纹 严格地说 莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直 42 光栅结构和工作原理 莫尔条纹中相邻两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的间距 43 光栅结构和工作原理 44 光栅结构和工作原理 莫尔条纹的特征 1 莫尔条纹的变化规律两片两光栅相对移过一个栅距 莫尔条纹移过一个条纹间距 由于光的衍射与干涉作用 莫尔条纹的变化规律近似正 余 弦函数 变化周期数与两光栅相对移过的栅距数同步 45 光栅结构和工作原理 2 放大作用用W mm 表示莫尔条纹的宽度 P mm 表示栅距 rad 为光栅线纹之间的夹角 在两光栅栅线夹角较小的情况下 有 莫尔条纹宽度W与角 成反比 越小 放大倍数越大 就不需要经过复杂的光学系统 便能将光栅的栅距放大 从而大大减化了电子放大线路 46 光栅结构和工作原理 3 均化栅距误差作用莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同组成 例如 200条 mm的光栅 10mm宽的光栅就由2000条线纹组成 这样栅距之间的固有相邻误差就被平均化了 消除了栅距之间不均匀造成的误差 47 光栅辨向原理 当光栅尺移动一个栅距P时 莫尔条纹也相应地向上或向下准确地移动一个间距W 只要通过光电元件测出莫尔条纹的数目 就可知道光栅移动了多少个栅距 工作台移动的距离可以计算出来 若光栅移动方向相反 则莫尔条纹移动方向也相反 若标尺光栅不动 将指示光栅转一很小的角度 两者移动方向及光栅夹角关系如下表所示 因莫尔条纹移动方向与光栅移动方向垂直 可用检测垂直方向宽大的莫尔条纹代替光栅水平方向移动的微小距离 48 光栅辨向原理 莫尔条纹移动方向与光栅移动方向及光栅夹角的关系表 49 光栅位移 数字变换电路 提高光栅检测分辨精度的细分电路利用莫尔条纹的特点 光敏元件可以把光强变化转换成相应的电压信号 根据电压信号的变化 我们就可测量出光栅的相对位移情况 如位移大小 位移方向和移动速度等 在光栅测量系统中 为了提高分辨率和测量精度 不可能仅靠增大栅线的密度来实现 工程上采用莫尔条纹的细分技术 细分技术有光学细分 机械细分和电子细分等方法 伺服系统中应用最多的是电子细分法 最基础的是4倍频光栅位移 数字变换电路 50 光栅位移 数字变换电路 51 光栅位移 数字变换电路 然后经过位移 数字变换电路形成正走 反走时的正向 反向脉冲 光栅移动时产生的莫尔条纹由光电元件接受 a c信号是相位差为180 的两个信号 送入差动放大器放大 得到sin信号 将信号幅度放大到足够大 同理b d信号送入到另一个差动放大器 得到cos信号 然后将这4个方波信号再经过微分变成4个窄脉冲 由与门电路把0 90 180 和270 四个位置上产生的窄脉冲组合起来 根据不同的移动方向形成正向脉冲或反向脉冲 最后再计算出脉冲个数 来测量光栅的实际位移 sin cos信号经过整形器的整形变成两个方波 这两个方波信号再经过反向又得到两个方波信号 由4块光电池发出的信号分别为a b c和d 相位彼此相关90 52 6 5编码器 脉冲编码器又称码盘 是一种回转式数字测量元件 通常装在被检测轴上 随被测轴一起转动 可将被测轴的角位移转换为增量脉冲形式或绝对式的代码形式 根据内部结构和检测方式码盘可分为接触式 光电式和电磁式3种 其中 光电码盘在数控机床上应用较多 而由霍尔效应构成的电磁码盘则可用作速度检测元件 脉冲编码器还可分为绝对式和增量式两种 53 6 5编码器 54 6 5编码器 55 6 5 1接触式编码器 接触式编码器是一种绝对值式的检测装置 可直接把被测转角用数字代码表示出来 每一个角度位置均有唯一对应的代码 即使断电或切断电源 也能读出转动角度 56 6 5 1接触式编码器 57 6 5 1接触式编码器 58 6 5 1接触式编码器 59 6 5 1接触式编码器 60 6 5 2光电脉冲编码器 光电脉冲编码器的结构组成1 光源 2 圆光栅 3 指示光栅 4 光电池组 5 机械部件 6 护罩 7 印刷电路板 61 6 5 2光电脉冲编码器 62 6 5 2光电脉冲编码器 63 6 5 2光电脉冲编码器 64 光电脉冲编码器 光电编码器的特点 非接触测量 无接触磨损 码盘寿命长 精度保证性好 允许测量转速高 精度较高 光电转换 抗干扰能力强 体积小 便于安装 适合于机床运行环境 结构复杂 价格高 光源寿命短 码盘基片为玻璃 抗冲击和抗震动能力差 65 光电脉冲编码器结构和工作原理 1 增量式光电脉冲编码器 结构及工作原理 66 光电脉冲编码器结构和工作原理 1 增量式光电脉冲编码器 光电码盘随被测轴一起转动 在光源的照射下 透过光电码盘和光欄板形成忽明忽暗的光信号 光敏元件把此光信号转换成电信号 通过信号处理装置的整形 放大等处理后输出 输出的波形有六路 其中 是的取反信号 67 光电脉冲编码器结构和工作原理 1 增量式光电脉冲编码器 输出信号的作用及其处理 A B两相的作用根据脉冲的数目可得出被测轴的角位移 根据脉冲的频率可得被测轴的转速 根据A B两相的相位超前滞后关系可判断被测轴旋转方向 后续电路可利用A B两相的90 相位差进行细分处理 四倍频电路实现 68 光电脉冲编码器结构和工作原理 1 增量式光电脉冲编码器 输出信号的作用及其处理 Z相的作用被测轴的周向定位基准信号 被测轴的旋转圈数记数信号 的作用后续电路可利用A 两相实现差分输入 以消除远距离传输的共模干扰 69 光电脉冲编码器结构和工作原理 1 增量式光电脉冲编码器 增量式码盘的规格及分辨率 规格增量式码盘的规格是指码盘每转一圈发出的脉冲数 现在市场上提供的规格从36线 转到10万线 转都有 选择 伺服系统要求的分辨率 考虑机械传动系统的参数 分辨率 分辨角 设增量式码盘的规格为n线 转 70 光电脉冲编码器结构和工作原理 2 绝对式光电脉冲编码器 结构和工作原理码盘基片上有多圈码道 且每码道的刻线数相等 对应每圈都有光电传感器 输出信号的路数与码盘圈数成正比 检测信号按某种规律编码输出 故可测得被测轴的周向绝对位置 71 光电脉冲编码器结构和工作原理 2 绝对式光电脉冲编码器 绝对编码盘的编码方式及特点 二进制编码 特点 编码循序与位置循序相一致 但可能产生非单值性误差 误差分析 72 光电脉冲编码器结构和工作原理 2 绝对式光电脉冲编码器 格雷码 循环码 葛莱码 特点 任何两个编码之间只有一位是变化的 因而可把误差控制在最小单位上 但编码与位置循序无直接规律 73 光电脉冲编码器结构和工作原理 2 绝对式光电脉冲编码器 格雷码的编码方法它是从二进制码转换而来的 转换规则为 将二进制码与其本身右移一位后并舍去末位的数码作不进位加法 得出的结果即为格雷码 循环码 例题 将二进制码0101转换成对应的格雷码 74 光电脉冲编码器结构和工作原理 2 绝对式光电脉冲编码器 75 光电脉冲编码器结构和工作原理 2 绝对式光电脉冲编码器 绝对式码盘的规格及分辨率 规格绝对式码盘的规格与码盘码道数n有关 现在市场上提供从4道到18道都有 选择 伺服系统要求的分辨率 考虑机械传动系统的参数 分辨率 分辨角 设绝对式码盘的规格n道 76 光电脉冲编码器应用 77 光电脉冲编码器应用 光电脉冲编码器在数控机床上 用在数字比较伺服系统中 作为位置检测装置 光电脉冲编码器将位置检测信号反馈给CNC装置有两种方式 一是适应带加减计数要求的可逆计数器 形成加计数脉冲和减计数脉冲 二是适应有计数控制端和方向控制端的计数器 形成正走 反走计数脉冲和方向控制电平 78 光电脉冲编码器应用 应用一 适应带加减计数要求的可逆计数器 形成加计数脉冲和减计数脉冲 光电脉冲编码器的输出脉冲信号A A B B经过差分驱动传输进入CNC装置 仍为A相信号和B相信号 将A B信号整形后 变成规整的方波 电路中a b点 当光电脉冲编码器正转时 A相信号超前B相信号 经过单稳电路变成d点的窄脉冲 与B相比反向后c点的信号e相 由e点输出正向计数脉冲 f点由于在窄脉冲出现时 b点的信号为低电平 所以f点也保持低电平 这时可逆计数器进行加计数 当光电脉冲编码器反转时 B相信号超前A相信号 在d点窄脉冲出现时 因为c点是低电平 所以e点保持低电平 f点输出窄脉冲 作为反向减计数脉冲 这时可逆计数器进行减计数 这样就实现了不同旋转方向时 数字脉冲由不同通道输出 分别进入可逆计数器做进一步的误差处理工作 79 光电脉冲编码器应用 应用二 适应有计数控制端和方向控制端的计数器 形成正走 反走计数脉冲和方向控制电平 正走时 A脉冲超前B脉冲 B方波和A1窄脉冲进入C 与非门 A方波和B1窄脉冲进入D 与非门 则C门和D门分别输出高电平和负脉冲 光电脉冲编码器的输出脉冲信号A A B B经过差分驱动传输进入CNC装置 为A相信号和B相信号 该两相信号为本电路的输入脉冲 经整形和单稳后变成A1 B1窄脉冲 这两个信号使由1 2 与非门 组成的 R S 触发器置 0 此时 Q端输出 0 代表正方向 使3 与非门 输出正走计数脉冲 反走时 B脉冲超前A脉冲 B方波和A1窄脉冲 A方波和B1窄脉冲同样进入C D 与非门 但由于其信号相位不同 使C门和D门分别输出负脉冲和高电平 从而将 R S 触发器置 1 此时 Q端输出 1 代表负方向 使3 与非门 输出反走计数脉冲 不论正走 反走 与非门3都是计数脉冲输出门 R S 触发器的Q端输出方向控制信号 80 6 6磁栅 磁栅 磁尺 是一种高精度的位置检测装置 可用于长度和角度的测量 具有精度高 加工工艺比较简单 安装调试方便及使用条件要求较低等一系列优点 在油污和粉尘较多的工作条件下使用具有较好的稳定性 磁栅由磁性标尺 磁头和检测电路组成 按其结构分为直线形和圆形磁栅 分别用于直线位移和角位移的检测 高精度的磁栅可用于各种测量机 精密机床和数控机床 81 磁栅结构和工作原理 磁性标尺 磁性标尺通常采用热胀系数与普通钢相同的不导磁材料做基体 在基

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