透射电镜操作程序.doc

JEM-100CX透射电镜操作说明一、开机程序1、 首先打开房间空调，冷却循环水房温度21度，操作室25度2、 开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至ON，再将按下POWER键3、 启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮4、 用钥匙启动主机，从OFF档位旋到START位，松开后钥匙自动回到ON位置。仪器自动抽真空，等待约40分钟。5、 直至DP绿灯亮，HIGH绿灯亮，READY绿灯亮（若不亮的话，将LENS LIGHT打至ON档位）。二、电子枪合轴（1-3合轴）1、 确认READY绿灯亮2、 把样品拨出，物镜光栏拨出至0档位3、 加高压：按下HT键后，依次按下40-60-80-100KV键，并注意观察束流表是否正常，每次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到80KV就行了。4、 加灯丝：将FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置5、 一般在SCAN（5300倍）条件下调节，调节CONDENSER钮，得到光斑。6、 SPOT SIZE调到3档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用左右ALIGNMENT：TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点）。7、 SPOT SIZE调到1档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用GUN ALIGNMENT：TRANS（X、Y）将光斑拉至中心位置。8、 再重复6、7步骤，使束流不偏离中心。三、调灯丝相（每次开机都需要检查）1、 在SCAN模式下，SPOT SIZE调到1档2、 将FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像），若车轮像不对称，则进行下面调节。3、 缓慢旋转GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。4、 然后调节FILAMENT EMIISSION旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影），并锁定该位置。四、粗对焦（该步很重要）1、 关灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至OFF）后，插入样品，插入物镜光栏（2档）2、 开灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网）3、 找到样品，并选中一目标为参照4、 将IMAGE WOBBLER打至ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节FOCUS旋钮（有大中小三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。五、聚光镜对中调节1、关灯丝后，拨出样品，拨出光栏，开灯丝，缩小光斑，检查是否在中心位置，2、在SCAN模式，SPOT SIZE 1档情况下，将COND ALIGNMENT打到ON，然后下面一WOBBLER键打到X，以调节光斑重合，同样的方法进行Y轴对中调节，调节完毕之后打到中间OFF档。3、将IMAGE WOBBLER键打到ON，调节IMAGE WOBBLER A、B旋钮至重合。六、电流中心调节（此步调节有一定的难度）1、插入样品，插入光栏，找到一样品做为参照物，调节时放大倍数小于5万倍2、用目镜观察，聚焦，找准参照物，用FOCUS调焦至最清晰3、快速反复转动FOCUS旋钮（以最清晰位置为中心前后旋转），此时观察参照物样品的情况，如有放大缩小的情况（看到样品是以某点为中心在旋转）那就是正常的，若是样品有左右或者上下移动的现象，就需要调节ALIGNMENT的大旋钮，TILT钮直至正常。七、电压中心调节1、在第六步的基础上，放大倍数（大于5万倍）2、找到一参照物，调焦至最清晰3、HV WOBBLER置于ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，反之，若参照物有漂移，则用左右ALIGNMENT ：TILT调节八、光栏的调节1、聚光镜光栏调节：判断光栏是否在中间位置，调节CONDENSER时，光斑不在中间，放大时会有很大阴影（电子束被东西挡住），移动样品时也没有改变，此时可以断定是光栏位置不正确，通过调节光栏上两个旋钮，使光栏回到中心位置。2、物镜光栏调节：打开FUNCTION：SADIFF（控制台D区，与SCAN一排的一个按钮），调节SA/HD DIFFRACTION：CAMERA LENGTH（控制台B区）和物镜光栏上的两个旋钮，使得中间最亮点周围的一圈较暗的光斑变得对称即可。九、聚光镜像散调节 在没有放入样品的情况下：插入聚光镜光栏（2档），SPOT SIZE 调至3档，调节CONDENSER钮至光斑最小最亮，再调节COND STIGMATOR X、Y旋钮（控制台F区），使得光斑变得最圆，即完成聚光镜像散调节。十、物镜像散调节（用于高倍下观察样品的调节）1、在完成以上调节，即确认仪器对中状态良好，电压中心对中，无聚光镜像散，光栏位置正确的情况下进行物镜像散调节。2、插入物镜光栏，在观察样品的时候调节，在高倍下（大于10万倍）找到一样品作为参照，改变焦距，观察样品边沿系统是否均匀，若有像散，则进行以下操作。3、配合调节OBJ STIGMATOR：X、Y旋钮（控制台E区）和FOCUS旋钮，消除像散。十一、样品装卸操作1、确认样品装卸时机器状态：放大倍数调至较小倍数，灯丝发射至OFF档。2、右边的旋转手柄有四个档位：空档位、SET、AIRLOCK、ENG，观察样品的时候一定在 SET档位，ENG档位用来换样品，当需要打开左边的样品室时，一定要放置在AIRLOCK档位，空档位只是做一个过渡。3、左边的样品室旋转手柄上有两种标识，一种是数字（1-6），另外间于数字中间的是一些点，当数字对正时，可以用右边的旋转手柄把相应的样品从样品室中取出。当需要打开样品室换下一批样品时，要保证所有的样品都留在样品室，这样就要让数字中间的点对正，再将右边的旋转手柄拉出。4、当右边旋转手柄置于AIRLOCK档位时可以打开样品室，左边有一能上下扳动的把手。十二、关机程序1、放大倍数降至小于1万倍，光斑满屏。2、退灯丝至OF