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文档简介
CF制程简介,1,2020/4/27,课程内容,课程目标,了解CF基本制程了解CFCOA生产流程,1.CF定义及作用2.CF结构介绍及说明3.制程流程说明4.CFCOA生产流程介绍,2,2020/4/27,Part1.CF定义及作用,3,2020/4/27,CF(ColorFilter)即:彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件,其主要的功能是让液晶显示器能产生彩色画面,若无彩膜,则看到的电视显示将是黑白的。,4,2020/4/27,Part2.CF结构介绍,5,2020/4/27,众所周知,自然界的三原色为红、绿、蓝,通过对三原色进行混色,并调整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩。,6,2020/4/27,BM:黑色矩阵,用来掩挡漏光PS:感光间隙子,用来支撑与维持Cellgap均匀ITO:用来作CF侧通用电极RGB:起主要作用的RGB三种色阻分布排列,7,2020/4/27,Part3.制程流程说明,8,2020/4/27,BM制程包括:玻璃清洗BM光阻涂布真空干燥预烘烤与冷却紫外线曝光显影烘烤。,9,2020/4/27,RGBLayer为相似制程,与BM相同,区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同。RLayer红色光阻涂布,10,2020/4/27,GLayer绿色光阻涂布,11,2020/4/27,BLayer蓝色光阻涂布,12,2020/4/27,ITO制程为物理溅镀过程,包括前清洗ITO溅镀后洗净烘烤,13,2020/4/27,Part4.CFCOA生产流程介绍,14,2020/4/27,PS是在CF与Array基板中支撑Cellgap的柱状pattern。有一定的弹性回复力,可以承担一定的压力。PS呈透明状,减少对光透过的阻挡,制程工序一
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