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AE(Advanced Energy)直流电源Pinnacle 系列产品 业界公认的 Pinnacle 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。优势:最低的运行和安装成本 业界最快的弧反应时间 可配置的弧反应参数 最大的工艺效率 精确的工艺控制特点: 最低的存储能量每千瓦输出不到 1mJ 无需调节输出变压器 4:1的阻抗范围 靶材处理时间最大限度地缩短新靶材的处理时间 0.1%的输出重复性 Joule 模式最优化的能量传送.规格：输入电压：200/208、400或480VAC（10%）、34线、50/60kHz功率因素：负荷90%输出电压：低Z、标准Z或高Z输出极性：浮动默认值，具有正和负功能输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量5%RMS输出功率重复精度：0.1%，从设计功率到10%到100%。负荷调整：1%，输出阻抗范围的V-1限值内41的 负荷变化温度系数：20至40的环境温度范围内调整输出参数变化0.005%/模拟接口选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字 37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字 37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字串行通信选项：RS-232，RS-422，RS-485（可选波特率高达57.6K） AE Bus 协议 ASC协议（MDX和仿真） Profibus（可选波特1.5或12MB）AE Bus协议 具有DeviceNet?选项输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环输入功率接头：五个终端，DIN压缩接头尺寸：133483639mm（高宽长）重量：29.5kgPinnacle? 6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW Pinnacle Plus+系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:更高的沉积率与产品率 薄膜均匀性和品质一流 成弧造成的基材损坏减少 成本更低 系统整合容易 极佳的工艺灵活性和宽容度 重复性能 在过度曲线上运行稳定 吞吐量更高 便于监控 无与伦比的系统灵活性 特点:一个紧凑型封装 频率调节范围为 5-350kHz 占空比高达45% 电压范围宽单输出宽阻抗范围 大功率运行 基材温度低 单输出（5kW 和 10kW 型号） 用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号） 绝佳的弧控制 反应性溅射闭环控制 规格：输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：6 AWG输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头最大电流：15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC频率：5到350KHz，可变反向电压：工作电压的10%点火功能：最大1500VDC，正常1350VDC调节模式：功率、电压或电流交流线电压：200/208、400或480VAC电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/ 400VAC：标称值8.5A/ 480VAC：标称值7.5A/ 5KW双输出/10KW单输出200/208VAC：标称值35A/ 400VAC：标称值17A/ 480VAC：标称值15A/尺寸：133483639mm（高宽长）重量：5KW：21.4kg；5/5、10KW：30kgPinnacle Plus+ 5KW、5/5KW、10KW Pinnacle 3000系列Advanced Energy 的 Pinnacle 3000 直流电源提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pinnacle 工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提高。优势: 经过证明的 Pinnacle 性能和可靠性 最大的工艺效率最低的运行和安装成本 通用性在溅射工艺和偏压应用上均表现出色 快速、可配置的弧反应弧损伤少 精确的工艺控制 多种显示/控制选择 符合安全/辐射标准 特点:业界最高的效率和功率因素 紧凑在一个 2-U、1/2支架封装中，功率达 3000W 单输出抽头，疲惫范围广泛 Profibus 和 RS-232 串行通信 靶材处理时间最大限度地缩短新靶材的处理时间 仅400 VAC 输入 存储能量低每千瓦输出不到6 mJ 在大于15%的功率下，输出重复性为0.1% Joule 模式最优化的能量传送 对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制 储存设定自动保存 有 CE 标志 规格：输入电压：400VAC10%，3，4线，50/60Hz输入电流：5A/过流保护：10ADC输出功率：3KW输出电压：370-1000VDC满功率输出尺寸：87216517mm（高宽长）重量：9.1kgPinnacle 3000W Pinnacle Diamond系列 在工艺和偏压应用中，Pinnacle Diamond 直流电源都能提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pinnacle 绝佳的工艺一致性和控制带来的额外益处是通过一个极其紧凑的部件大大减少了变化、提高了产量。 优势:经过证明的 Pinnacle 性能和可靠性 最大的工艺效率最低的运行和安装成本 通用性在工艺和偏压应用上均表现出色 快速、可配置的弧反应弧损伤少 众多显示/控制选项 精确的工艺控制 符合安全/辐射标准 特点:业界最高的效率和功率因素 紧凑在一个 3-U、1/2支架封装中，功率高达 15kW 单输出抽头，匹配范围广泛 Profibus 和 RS-232 串行通信 靶材处理时间最大限度地缩短新靶材的处理时间 水冷式 仅400 VAC 输入 存储能量低每千瓦输出不到6 mJ 在大于15%的功率下，输出重复性为0.1% Joule 模式最优化的能量传送 对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制 储存设定自动保存 有 CE 标志 规格：输入电压：400VAC10%，3，4线，50/60Hz输入电流：5A/过流保护：30ADC输出功率：8KW、10KW和15KW输出电压：400-800VDC满功率输出（500-1000VDC可选）尺寸：8KW/10KW：499.7132.3215.9mm（长宽高） 15KW：575.9132.3215.9mm（长宽高）重量：8KW/10KW：38KG 15KW：20KGPinnacle Diamond 8KW、10KW、15KW MDX 系列500 W MDX系列500W 在真空环境中经久耐用，能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。优势: 超载内置保护 可靠性和耐用性 快速反应时间 兼容性认证 特点:多级弧抑制及灭弧 用户I/O接入 功率、电流或电压调节功能 规格：输入电压：90-132VAC（50-60HZ），1 180-265VAC（50-60HZ），1输入电流：10A 120VAC 500W 6.3A 230VAC 500W输出电压/电流：0-600V 0-1A，500W 0-1200V 0-0.5A，2000W输出功率：0-500W尺寸：（单）86.63215.9406.4mm（高宽长） （双）86.63482.6406.4mm（高宽长）重量：（单）5.57KG （双）11.14KGMDX 500W 1 kW 和1.5 kW MDX 系列1 kW 和1.5 kW 电源在真空环境中经久耐用，其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们最常用作直流磁控溅射电源；在该领域，二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。优势: 针对标准 Z 和低 Z 应用的两种配置 高频开关电路从线路到负载的效率超过90% Arc-Out? 抑制电路 常用作直流磁控溅射电源特点: 尺寸小 输出纹波很低 可调节抑弧时间 规格：输出功率：MDX 1KW：1000W，MDX 1.5KW：1500W输出电压：1000V，1300V；500V，750V点火电压：1500V；900V，1200V输入电压/电流：MDX 1KW：115VAC，50/60HZ10%，16Amax； 208/220VAC 50/60HZ10%，8.9AMDX 1.5KW：208/220VAC 50/60HZ10%，13.4A尺寸：175.3266.7400mm重量：8.6KGMDX 1KW、1.5KW EWave 双极脉冲直流电系列Advanced Energy 的 EWave 双极脉冲直流电源改善了表面均匀性，减少了DDPF工艺流程 (dual-damascene process flow, DDPF) 应用的镀铜阶段之附加消耗，包括在生产环境和铜工艺开发中的晶圆电镀。EWave 电源提供多达三个通道，每个都有一个独立驱动的双极电源，能够生成、存储和运行多达15个由电流控制或由电压控制的波形。优势:绝佳的填隙 一流的表面均匀性 降低了附加消耗 强有力的监控 减少了无尘室空间要求 广泛的配置选择 特点:通用波形形成 多达三个独立控制的通道 双极脉冲直流电输出，0-5kHz 高电流能力 四终端控制和晶圆的电压测量 主机接口 紧凑型封装 规格：输入电压：180-230VAC 3频率：47-63HZ输出功率：2400W最大，2000W尺寸：127432660mm（高宽长）重量：30KGEWave? 2400W AE(Advanced Energy) 低频/中频电源PDX 中频电源系列PDX 系列小功率（1250和1400 W）及大功率（5000和8000 W）中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源。这些高度可靠的电源提高了工艺灵活性，提供广泛的运行频率范围以优化工艺控制，确保较高的工艺重复性，并提高了吞吐量。PDX 1250规格：输出功率：18-1250W频率：325-450KHz反向功率：250W max输入电压：180-253VAC，50/60HZ，1输入电流：15A RMS max最大输出电压：300V最大输出电流：6A冷却方式：强制风冷尺寸：89483483mm（高宽长）重量：14KG PDX 1400规格：输出功率：25-1400W频率：235-305KHz反向功率：280W max输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3输入电流：15A RMS max最大输出电压：300V最大输出电流：6A冷却方式：强制风冷尺寸：89483483mm（高宽长）重量：14KG PDX 5000规格：输出功率：100-5000W频率：330-460kHz反向功率：1500W输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3输入电流：18A最大输出电压：735V最大输出电流：14.9A运行环境：5-30冷却方式：水冷2gpm 0-30尺寸：178483508（高宽长）重量：41KG PDX 8000规格：输出功率：100-8000W频率：340-440kHz反向功率：1500W输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3输入电流：29A最大输出电压：735V最大输出电流：14.9A运行环境：5-30冷却方式：水冷2gpm 0-30尺寸：178483508（高宽长）重量：41KG PEII 低频系列 PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。优点 恒功率、电压或电流输出 最高的灵活性与模块性 强大的电弧控制 自动制程保护装置 极宽的祖抗匹配范围 高功率密度PEII 5000输入电压：180-230VAC，3（接地）输出频率：40kHz0.01%输出功率：5000W输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7输出电流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1冷却方式：水冷，5-30，2gpm尺寸：177482.6495.3mm（高宽长）重量：40.8KG PEII 10K输入电压：180-230VAC，3（接地）输出频率：40kHz0.01%输出功率：5000W输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7输出电流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1冷却方式：水冷，5-30，2gpm尺寸：177482.6495.3mm（高宽长）重量：40.8KG LFGS 射频发生器系列LFGS 发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D 类型放大器理念，拥有一种空冷式紧凑型的设计，可安装在19英寸机架上面。典型的应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理。优点: 可达到目前市场上可获得的最低反射功率 功能:空冷式设计 多功能前面板 脉冲模式：0到 10kHz 更完善的操作功能表 2个模拟用户端口 RS-232 接口、以太网接口及PROFIBUS接口 LFGS 1250A频率：40-80kHz0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC，50/60HZ输入电流：7.5A/，2300VA冷却方式：强制风冷 130m/h3尺寸：48350088（宽长高）重量：19.5KG LFGS 1250B频率：80-150 kHz0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC，50/60HZ输入电流：7.5A/，2300VA冷却方式：强制风冷 130m/h3尺寸：48350088（宽长高）重量：19.5KG LFGS 1250C频率：150-300kHz0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC，50/60HZ输入电流：7.5A/，2300VA冷却方式：强制风冷 130m/h3尺寸：48350088（宽长高）重量：19.5KG LFGS 1250D频率：300-500kHz0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC，50/60HZ输入电流：7.5A/，2300VA冷却方式：强制风冷 130m/h3尺寸：48350088（宽长高）重量：19.5KGLFGS 1250A、1250B、1250C、1250D Crystal高功率电源系列Advanced Energy (AE) 的 Crystal 电源非常适用于大面积玻璃镀膜应用，如建筑玻璃、汽车玻璃、减反射镀膜和高反射镜等。更低的故障率，回报您更高的产量。这些电源的可用功率为 180kW,120KW,60KW。为双靶磁控溅射应用提供了更宽祖抗匹配的低频率正弦工艺电源。AE 的 Crystal 电源是唯一特别为等离子环境而设计拓扑结构的交流电大功率电源。 优势: 更灵活 产量更高 减少当机时间 吞吐量提高特点:宽阻抗匹配低频率正弦工艺电源 大功率电源最大180kW 功率 专为等离子环境而设计Crystal 180KW规格：输入电压：400-480Vrms10%，50/60HZ输入电流：325Arms 180KW，400Vrms 270Arms 180KW，480Vrms输出功率：180KW输出频率：40kHz-60kHz，80kHz min.最大输出电流：600Arms最大输出电压：1460Vrms运行环境：5-45冷却方式：水冷，15-40，14gpm尺寸：21315276cm（长宽高）重量：1220KGCrystal 60KW、120KW、180KW AE(Advanced Energy) RF电源Paramount 射频功率输送系统这款半机架的3kW 的 Paramount 射频 (RF) 功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能，能够在 13.56MHz 固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下（电压驻波比 (VSWR) 超过3:1），为您带来出色的输送功率精度和控制性能。能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步，Paramount 射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美，而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现（达到毫秒数量级），其速度较市场上的任何其它产品都快。从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的控制。优点:凭借卓越的功率输送精度，实现前所未有的薄膜均匀度与传送效能(throughput)的最优化 以更快的制程转换来支持新一代蚀刻与沉积制程 帮助实现无缝的制程转换 提高产量 实现投资回报最大化 特点: 新一代测量系统能够在所有输出范围内（50欧姆和非50欧姆负载）对功率和阻抗进行极精确的测量 近乎瞬间的频率调谐（可选） 可选脉冲和同步脉冲的脉冲频率范围很宽广 可选的 HALO（高精确度、低输出）及弧管理系统 紧凑半机架型外观设计 Paramount 3KW规格：输出功率：3000W频率：13.56MHz0.005%（可选12.88-14.24 MHz）输入电压：200/208VAC10%，3，50/60HZ输入电流：13.7/14.5A/208/200VAC冷却方式：水冷和强制风冷，水温+5，2gpm尺寸：13.321.644.5cm重量：16KGParamount 3000W Apex 射频供电系统通用 Apex 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。优势: 更高的功率密度 更好的工艺灵活性 产量提高 持有成本降低 简化工艺工具整合 灵活的通信 特点:简化的设计 真空室安装、框架安装、支架安装和鞋盒式 (shoebox) 选择 宽带控制回路和可选的高重复率脉冲 业界领先的弧管理 符合监管要求 Apex? 1513规格：频率：13.56MHz输出功率：1500W输入电压：208V，50/60HZ，3输入电流：17A冷却方式：水冷，35尺寸：132.59215.14425.96mm Apex 3013规格：频率：13.56MHz输出功率：3000W输入电压：208V，50/60HZ，3输入电流：17A冷却方式：水冷，35尺寸：132.59215.14425.96mm Apex 5513规格：频率：13.56MHz输出功率：5500W输入电压：208V，50/60HZ，3输入电流：17A冷却方式：水冷，35尺寸：132.59215.14425.96mmApex 1513、3013、5513、7KW/13、10KW/13 HFV 变频 (2 MHz) 电源 灵活的 HFV 电源主要用作200和300 mm 晶圆制程、平板显示器和 DVD 设备的等离子发生器，为离子化物理气相沉积 (IPVD)、CVD 和蚀刻提供了工艺一致性。这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制，输出功率电平为3、5和8 kW。此外，其输出频率范围为1.765-2.165 MHz。固件上的频率调谐参数可进行定制，以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。 优势: 提高了 run-to-run 准确性 具有通用性 提高了可靠性 增强了工艺灵活性 降低了持有成本 特点:可定制的频率调谐参数 输出频率范围为1.765-2.165 MHz 3、5和8 kW 的输出功率电平 数字合成频率输出 微处理器控制 CESAR 射频发生器我们针对高级等离子应用设计了一整系列的 CESAR? 射频发生器。针对不同频率和功率水平的该种发生器均已推出。CESAR 发生器一定可以满足您最苛刻的要求。标准功能包括：多功能前面板、大的液晶显示屏、用户友好型软件、模拟和串行用户接口以及针对 VarioMatch? 网络的手动控制。CESAR 发生器获得了 CE 认证，而且还在紧凑、轻量型的设计中运用了经过实践检验的 E 级架构。模块化设计带来了成本上的优势，使这些坚固耐用发生器的价格非常具有吸引力。优点:利用面向最主要应用的内置脉冲能提高控制水平 能提高处理灵活性 利用灵活的通讯功能能进行控制和监控 功能:多功能前面板脉冲模式：0到 30kHz 更完善的操作功能表 2个模拟用户端口 RS-232 接口、以太网接口及 PROFIBUS 接口 HILIGHT 射频发生器13.56MHz,600W针对低功率、载行应用，HiLight 系列射频发生器小巧、轻便，拥有空冷式设计，是专门为需要现场安装而非传统19英寸机架型。HiLight 发生器可用于 13.56MHz 等离子应用以及 1MHz 或 2MHz 的兆频超声应用，它是通过25针脚模拟用户端口进行控制的，并符合CE标准。优点: 能通过波或脉冲调制模式提高精确性和可靠性 Increased accuracy and reliability with wave or pulsing modes 特点:小巧的盒式设计 脉冲模式模拟用户端口 Compact, lightweight shoebox design Air cooling Wave and pulse mode Analog user port CE compliant Integro 射频发生器经济型 Integro? 射频发生器在很小的体积内结合了一个 13.56MHz、600W 的射频发生器和一个自动匹配网络。这节约了宝贵的空间并使得整合变得更容易。它支持的功能包括：脉冲模式、CEX 操作以及多种保护功能。优点:能降低运行成本 能简化整合 能有效利用宝贵的空间 Low CoO Easy integration Efficient use of valuable space 功能:紧凑型盒式设计 可被整合进匹配网络 脉冲模式 CEX 操作模式 多种保护功能 模拟用户端口 Ovation 特高频供电系统 Ovation 全整合供电系统通过采用一种独特的供电方案，能够实现更快、更精确的工艺过程，如要求严格的窄线宽、介电质蚀刻工艺。该系统首次在无需外部传感器的情况下，为非 50-ohm 环境供电，反应比传统电源更快。60-MHz 的设计减小了整个等离子鞘层的电压势能，最大限度地减小了离子蚀刻损伤，从而提高了薄膜品质和产量。优势:拓宽了工艺窗口 拓展了工艺能力 改善了等离子特性 提高了蚀刻率、选择性和均匀性 降低了持有成本 特点: 2760 W、60 MHz（关于更大功率要求，请联系工厂） 扫描频率 非50 测量能力 模拟、RS-232 以及以太网控制选择 体积更小是功率达2.7 kW 的支架选择的一半 非常稳定、可靠 专家应用支持 AE(Advanced Energy) RF匹配网络Navigator 数字阻抗匹配网络 Navigator 匹配网络提供在各种负载阻抗下进行快速、准确且可靠匹配的先进匹配技术。Navigator 匹配网络配备了由微处理器控制的步进电机电路和用户可选的数字调谐算法，通过自动调整耦合等离子的复阻抗，最大限度地减小反射功率。选择包括：用于实时测量和分析过程功率和阻抗的 ZScan? 射频传感器，以及能够通过一台个人计算机来监控并对匹配网络下达指令的虚拟前面板 (VFP) 软件。优势:加强了工艺控制 最大限度地减小反射功率 加速反应时间 有助于提高工具吞吐量和产量特点:数码匹配平台 多种数码调谐算法 实时过程功率和阻抗测量与分析 整合式仪器 简化的设计 严格的测试 基于 PC 的监控软件 VARIOMATCH 匹配网络与 CESAR 射频发生器相配套的是一个完整系列的 Variomatch? 自动匹配网络。Variomatch 匹配网络覆盖了各种阻抗，而且方便用户进行现场配置.高度可靠的可变真空电容、固定感应器以及脉宽调制可控电机能给您带来针对您等离子应用的迅速、可重复的阻抗匹配。目前我们还提供针对感应应用的特殊型号产品。可变匹配操作在没有任何外部控制器的情况下可自动进行，但是也可通过 CESAR 射频发生器的前面板进行手动控制。优点: 拥有更强的灵活性，可在更广的阻抗范围内进行功率匹配操作 Greater process productivity Easy integration and control 功能:空冷式设计 可变真空电容器 多种匹配接头， 阻抗范围非常广 Automatic, manual, and pre-set modes Plug-and-play operation High-performing components Reliable connectors Wide impedance range Digitally controlled tuning with intelligent motor driver technology DC bias measurement circuit公司名称: 德国AENI等离子体电源(广州）维修中心广州市伊恩埃半导体技术有限公司 AE(Advanced Energy)维修目录:Ion Beam Drive: ID-3500、ID-3501、IT-2500、IT-3500DC(直流系列):MDX Series: MDX 5、MDX 10、MDX 20、MDX 30、MDX-052、MDX 1K、MDX 1.5K、MDX 500、MDX DeltaMDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW)PINNACLE Series: Pinnacle 6KW、Pinnacle 12KW、Pinnacle 10KW、Pinnacle 20KW、Pinnacle 8KW、Pinnacle 15KW、PINNACLE 3000PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW、Pinnacle Plus+ Dual output 5KW、Pinnacle Plus+ 10KWDIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW、Pinnacle Diamond 10KW、Pinnacle Diamond 15KWMDX-L Series: MDX-L6、MDX-L 6KW Halo、MDX-L12、MDX-L12M、MDX-L12M 650、MDX-L18SPARC Series: Sparc-le 20、Sparc-le V、Sparc VSEWaveDC Pulsing Accessoires : DC PULSARAC(交流/中频系列):PE: PE 1000、PE 2500、PE 3750、PE 5000、PE-10K、PE-20K、PE-30K、PE-1000SGPE II：PE II 5KW、PE II 10KW、PE II 60KWPDX：PDX 500、PDX 900-2V、PDX 1250、PDX 1400、PDX 2500、PDX 5000、PDX 7.5K、PDX 8000、PDZ 2200、MSD 350WPDW 600、PDW 2200PDP 2500、PDP 3500PEP 250、PEP 2500、PEP 5000Dressler LFGS:LFGS 1250A、LFGS:LFGS 1250B、LFGS:LFGS 1250C、LFGS:LFGS 1250DRF（射频系列）：RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2V、RFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KVAPEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid FRFX：RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZXRFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG 4MHFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KWOvation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KWDressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220(200v/400v)、Cesar 0225(200v/400v)、Cesar 0230(200v/400v)、Cesar 0250(200v/400v)、Cesar 026、Cesar 0410、Cesar 0420(200v/400v)、Cesar 0425(200v/400v)、Cesar 0450(200v/400v)、Cesar 046、Cesar 1310、Cesar 1312、Cesar 1320(200v/400v)、Cesar 1325(200v/400v)、Cesar 133、Cesar 133