ELA基础介绍PPT课件.ppt

.,1,ELA基础知识介绍,Array-MFG2015/09/10,Locfe南城,.,2,Outline,1.ELA与LTPS制程,2.准分子激光退火系统,3.ELA工艺技术,4.ELA工艺测试,.,3,ELA简介,准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr*,.,4,ELA简介,为什么选用准分子激光？,准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用,.,5,ELA与LTPS制程,.,6,ELA与LTPS制程,.,7,ELA与LTPS制程,.,8,2.准分子激光退火系统,(2)准分子激光原理、结构及参数,(1)准分子激光退火系统的结构,(3),光学系统构成简介,(4)退火腔结构简介,.,9,ELA系统基本组成,准分子激光退火系统,.,10,TCZ&JSWELASystemoverview,准分子激光退火系统-ELASystemoverview,.,11,准分子激光原理、结构及参数-激光器原理,.,12,准分子激光原理、结构及参数-激光器原理,.,13,准分子激光原理、结构及参数-Lasertubedesign,.,14,准分子激光原理、结构及参数-Lasertubedesign,.,15,准分子激光原理、结构及参数,.,16,准分子激光原理、结构及参数-Laserarchitecture,.,17,准分子激光原理、结构及参数-Gaslifetime,.,18,准分子激光原理、结构及参数-参数,.,19,准分子激光原理、结构及参数-参数,PeaktoPeakEnergyFluctuation,.,20,准分子激光原理、结构及参数-参数,Pulseduration,.,21,Pulseduration,.,22,准分子光学系统简介,光学系统示意图,.,23,准分子光学系统简介,Monitorsystem示意图,.,24,准分子光学系统简介,BeamShortAxis&LongAxis,.,25,ShortAxisSlope,准分子光学系统简介,.,26,退火腔结构简介,退火腔室结构,.,27,退火腔结构简介,ScanProcess,.,28,3.ELA工艺技术,(1)晶化机制,(2)主要参数,.,29,多晶硅晶化过程,.,30,ELA工艺技术-晶化机制,.,31,ELA工艺技术-主要参数,EnergyDensityVsMeltregime,.,32,ELA工艺技术-主要参数,OverlapVsPitch,.,33,OverlapVs.GrainSize,ELA工艺技术-主要参数,.,34,ELA工艺技术-主要参数,CVDThinFilmConcern,.,35,ELA工艺技术-主要参数,Dehydrogen,.,36,4.ELA工艺测试,(2)SEM测试,(3)AFM测试,(1)宏观检查,(4)-PCD测试,.,37,ELA工艺技术-宏观检查,宏观检查-Mura,.,38,ELA工艺技术-SEM测试,.,39,ELA工艺技术-AFM测试,.,40,E