《晶体拆清基础知识》PPT课件

1,晶体拆清基础教程,拆炉清炉洗泵换油与清理电磁阀过滤罐清扫装热场装料,一、拆炉,1、炉体充气,2,一、拆炉,3,2、取单晶,一、拆炉,4,一、拆炉,5,拆清炉着装要求,3、取热场,一、拆炉,6,拆炉工具,一、拆炉,7,热场部件摆放：a取出的热场部件，按装配顺序摆放在拆炉车上。b热场部件不允许相互堆叠放置，并且轻拿轻放。取热场顺口溜：环板碳碳环筒板，上保坩埚支撑板，上盘托杆层筒板，盖螺加热反射板，调节极筒不要反，压片中碳护套拣，护盘碳碳底部板。,取热场流程：顶环上保温板上盖板（碳碳材料）环导流筒下保温板上保温筒石墨坩埚支撑板托杆上盘托杆主保温筒外部保温层主保温石墨保温筒护板电极螺栓护盖电极螺栓加热器反射板反射板调节螺丝电极导气筒下保温筒护盘压片碳碳中部部保温材料大轴护套电极石英护套和石墨护套炉底护盘碳碳底部保温材料,一、拆炉,8,一、拆炉,9,上盖板,一、拆炉,10,下保温板,一、拆炉,11,支撑板,一、拆炉,12,一、拆炉,13,四个石墨电极,石英护套,一、拆炉,14,取导气筒,下保温材料,护盘压片,一、拆炉,15,中部保温材料,底部保温材料,1、清扫炉体内壁和热场,二、清炉,16,松,700mm,2、清扫上炉室内壁和打磨,二、清炉,17,3、管道清扫,二、清炉,18,确认泵油使用规定额定炉次（每六炉）并停炉后，关闭主阀主泵，打开放气阀，待气放完后（即充至常压）打开滤灌盖，可进行清理电磁阀及泵腔作业。准备工具：放油桶、加油桶、无尘纸、麻布、扳手等工具。开放油阀把使用后的油放入废油桶里（点泵）。放油结束后，打开泵盖，裸手用麻布和海绵将泵腔内油泥及滤网彻底清理干净，切记勿将任何物品遗留在泵腔里，然后盖上侧盖（对角紧螺丝），关闭油阀。加入新泵油，注油量不要超过观察窗口1/2处（手动皮带将泵油倒入泵的前级），之后再次加油观察油位在观察窗的1/2处。加油结束后，观察侧盖是否漏油，并将油阀打到正常运行时的状态，清理现场。洗泵前切记挂出“禁止开启”警示牌，防止洗泵时他人开启主泵造成人身伤害；停炉、停泵后及时进行泵的清理，以便油泥排放顺畅；放干净泵内废油，检查放出的油量与加入的油量是否相符；清理干净泵腔、弯管、前级泵腔内的油泥，检查勿将任何物品残留在泵腔内；加入新泵油后打开导油阀盘，动皮带将泵油导入机械泵前级，防止开泵时泵油进入排气管道。,三、洗泵换油与清理电磁阀,1、洗泵换油操作流程及注意事项,19,2、请找出18个点的对角线(对角线紧固螺丝),三、洗泵换油与清理电磁阀,20,3、点泵,三、洗泵换油与清理电磁阀,21,4、洗泵换油,三、洗泵换油与清理电磁阀,22,三、洗泵换油与清理电磁阀,23,三、洗泵换油与清理电磁阀,24,三、洗泵换油与清理电磁阀,25,注意:密封不好漏油,三、洗泵换油与清理电磁阀,26,5、油阀的正常关闭状态,三、洗泵换油与清理电磁阀,27,三、洗泵换油与清理电磁阀,6、清理电磁阀,28,三、洗泵换油与清理电磁阀,29,三、洗泵换油与清理电磁阀,30,四、过滤罐清扫,自动停炉3.5小时，关闭主泵。打开放气阀，（逆时针为打开，顺时针为关闭，如图）使主真空管道充气到大气压，清扫过滤罐:,31,四、过滤罐清扫,32,四、过滤罐清扫,33,四、过滤罐清扫,34,热场部件归位及安装流程：碳碳底部保温材料炉底护盘电极石英护套和石墨护套托杆护套下保温筒碳碳中部部保温材料护盘压片导气筒电极反射板调节螺丝（与加热器下沿4公分）反射板加热器电极螺栓电极螺栓护盖护板主保温石墨保温筒主保温筒外部保温层托杆托杆上盘石墨坩埚支撑板上保温下保温板环上盖板（碳碳材料）上保温板顶环导流筒安装热场三要素：同心、同轴、水平。装热场顺口溜：底保底护极英墨，轴护筒中压片坐，导电调节莫量错，器螺栓上护板卧，保温层杆上盘埚，板温板环碳板垛，上板环筒不要过。,五、装热场,35,五、装热场,36,中部保温材料,下保温材料,五、装热场,37,护盘压片和导气筒,电极,反射板调节螺丝,测水平,测与下保温材料距离45-50mm,放石墨纸,五、装热场,38,装加热器螺丝,测与加热器的对中,五、装热场,39,测加热器电阻,测石墨坩埚与加热器水平,五、装热场,40,上保温支撑板,装上保温材料,取光孔的对准,五、装热场,41,下保温板,环,上盖板,上保温板,顶环,原厚度,现厚度,1）石墨坩埚有无裂纹及破损2）石墨坩埚使用炉数3）石墨坩埚壁厚是否均匀,注意：装石墨坩埚前检查其质量,五、装热场,42,装料前对石英坩埚质量的检查：石英坩埚的检查中常见问题1）坩埚内表面，不允许有开口的无光泽杂质点2）壁厚中，不允许有直径2.5mm以上的的杂质点或闭口气泡3）石英坩埚底部不允许,有直径大于30mm的凹坑和凸坑。4）不允许有明显划痕，裂纹.具体判断参照石英坩埚检查标准具体操作参考石英坩埚检查表,六、装料,43,装料注意点：1）原料，石英坩埚为高纯材料，禁止用手触摸。接触原料，石英坩埚的一次性PE手套不要接触炉体，石墨