CDI车间培训11.ppt

1,CDI车间培训,2,CDI车间介绍,目录,车间概况车间位置；组织架构；CDI车间介绍；CDI主要生产工艺；制氢车间介绍；制氢车间主要生产工艺车间安全要求；车间紧急响应；车间相关负责人联系方式,3,车间概况,CDI车间由两个生产车间组成，分别是CDI车间和制氢车间。目前CDI车间共有员工78人，其中主任1人，工程师3人，主管2人，技术员1人，综合管理员1人，生产一线员工62人。车间采用四班两运转模式运行，每天两班，每班工作12小时。每个班组每上一个早班和夜班之后休息两天。在大修期间班组运转模式将变更为两班倒。具体安排根据大修工程量编制。,4,CDI车间介绍,车间位置,CDI车间紧邻还原氢化车间、精馏车间和合成车间。制氢车间紧邻氯气液化站、环保车间。,5,CDI车间介绍,组织架构,6,CDI车间介绍,CDI车间介绍,CDI车间于2009年06月正式建成投产，主要是对多晶硅生产过程中产生的废气进行回收分离，以达到尾气回收再利用的目的。通过对生产尾气进行回收再利用，不仅减少了原料的投入，降低生产成本，还可以降低甚至杜绝尾气对环境的污染，具有更大的社会效益。CDI在多晶硅生产工艺中是指尾气干法回收系统。车间现分为CDI-1还原尾气回收分离、CDI-2氢化尾气回收分离和CDI-3合成尾气回收分离三个部分。车间产品主要为H2、HCl及氯硅烷混合物。目前有生产员工62人，实行四班两运转工作制。,7,CDI车间介绍,CDI主要生产工艺工艺总述：,在还原、氢化、合成的尾气当中，其成分都是H2、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4和HCl等，由于各个工序的作用不同，其尾气的组分比例也有很大的差别，并且这几个物质各自的物化性质区别也很大。干法回收的基本工艺原理是利用尾气中各组分沸点和溶解度的差异，采用冷凝和吸收/脱吸的方法，实现各组分的分离回收。其主要工艺过程由五大部分组成，即：四级冷凝、压缩、吸收、脱吸、活性炭吸附。,8,CDI车间介绍,CDI主要生产工艺四级冷凝：,尾气进入CDI系统后，为了达到分离尾气中各组分的目的，也为了减小后续工序的负荷，所以需要将大量的高沸点物质在第一道工序就冷凝下来送往精馏，以达到分离回收尾气中氯硅烷气体的目的同时如果采用单个换热器直接一次性冷凝，需要的冷负荷将非常大，需要的设备也非常大。所以为了将冷负荷分摊，减小单个换热器的体积，提高冷冻效率，采用了四级冷凝的方式。生产原理：利用H2、HCl气体与氯硅烷气体的沸点差异，在低温下，将沸点较高的氯硅烷组分给冷凝下来。,9,CDI车间介绍,CDI主要生产工艺压缩：,尾气经过四级冷凝后，绝大部分氯硅烷气体被冷凝下来。为了达到后续工序分离HCl和H2所需要的条件，所以需要将系统压力升高。生产原理：利用外力，将H2、HCl气体以及少量未被冷凝的氯硅烷气体在压缩机气缸内进行体积的压缩。定量的气体在体积变小的情况下压力上升，从而达到升高气体压力的目的。,10,CDI车间介绍,CDI主要生产工艺吸收：,HCl气体与氢气经过压缩机的压缩后送往吸收填料塔，在低温吸收剂喷淋下，HCl被吸收剂吸收，以达到分离HCl与H2的目的。生产原理：利用H2、HCl气体在氯硅烷液体当中的溶解度差异，在填料塔内，气液两相逆流接触。氯硅烷液体将HCl气体吸收，从而分离H2与HCl气体。,11,CDI车间介绍,CDI主要生产工艺脱吸：,HCl气体在吸收填料塔被氯硅烷液体吸收溶解后，需要脱吸出来回收，同时也需要将吸收剂再生用以循环使用，所以脱吸塔的生产任务是回收HCl气体送往合成，同时再生吸收剂。生产原理：利用在高温下，HCl气体在氯硅烷液体中的溶解度下降，采用塔釜蒸汽加热，将HCl气体从氯硅烷液体中脱吸出来。,12,CDI车间介绍,CDI主要生产工艺活性炭吸附：,经过吸收塔吸收后的气体中，绝大部分是H2，但还含有少量的HCl气体和氯硅烷气体，而多晶生产过程要求H2纯度至少达到99.9%以上，所以需要将H2进一步提纯以供还原循环使用。生产原理：活性炭是一种主要由含碳材料制成的外观呈黑色，内部孔隙结构发达、比表面积大、吸附能力强的一类微孔晶质碳素材料。正是依靠自身独特的微孔隙结构，使活性炭拥有了优良的吸附性能。由于H2分子比HCl、氯硅烷气体分子小很多，当H2、HCl、氯硅烷气体分子通过活性炭床层时，H2分子容易通过，而HCl、氯硅烷气体分子则极易被吸附，由于分子之间拥有相互吸引的作用力，一个HCl、氯硅烷气体分子被捕捉进入到活性炭内孔隙中后，会导致更多的HCl、氯硅烷气体分子不断被吸引，直到添满活性炭内孔隙为止，从而达到了提纯H2的目的。,13,CDI车间介绍,制氢车间介绍,制氢车间于2009年06月正式建成投产，主要是为多晶硅生产提供H2。车间产品主要为H2、O2气体，O2外售。目前有生产员工9人，实行四班两运转工作制。,14,CDI车间介绍,制氢车间主要生产工艺氢气制备与净化工序,在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。电解制得的氢气经过冷却、分离液体后，进入除氧器，在催化剂的作用下，氢气中的微量氧气与氢气反应生成水而被除去。除氧后的氢气通过一组吸附干燥器而被干燥。净化干燥后的氢气送入氢气贮罐，然后送往氯化氢合成、三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化工序。电解制得的氧气经冷却、分离液体后，送入氧气贮罐。出氧气贮罐的氧气送去装瓶。气液分离器排放废吸附剂、氢气脱氧器有废脱氧催化剂排放、干燥器有废吸附剂排放，均供货商回收再利用。,15,CDI车间介绍,车间安全要求,整个车间及办公区域禁止吸烟；整个车间除现场值班室外，其他任何区域禁止饮水、进食；进入生产区域必须按照区域要求佩戴合适的PPE；CDI生产区域（含制氢车间）的PPE最低标准配置为安全帽、安全鞋及长袖工作服；CDI制冷机区域为噪音区，进入此区域必须佩戴耳塞；由于CDI车间周边经常出现氯硅烷泄露，因此现场人员佩戴半面罩和防护眼镜；制氢车间如果发现氯气泄露，则需紧急撤离至室外上风向。,16,CDI车间介绍,概述,CDI车间作为多晶硅生产工艺中的一个尾气回收工段，其涉及的物料种类比较杂多，主要有H2、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4和HCl等。由于其分别来自于还原、氢化和合成三个工段，故其成分含量（比例）有所差别。上述几类物质因其具有易燃、易爆、腐蚀、有毒等化学性能及物理性能，故统属危险化学品范畴；基于上述化学品性质，CDI车间的危险程度很高，应引起每个人的高度重视。,17,CDI车间介绍,氢气（H2）,氢气是一种无色、无味气体，难溶于水，与空气形成爆炸性混合物，自燃点为400，比重0.0694，与氯、氟、溴等卤素会剧烈反应。本品对人无毒，仅在高浓度时可使人缺氧窒息，并呈现出麻醉作用。空气中的爆炸界限：4%75%(V)；,18,CDI车间介绍,氯化氢（HCL）,氯化氢在常温常压下为具有刺激性臭味的无色有毒气体，与水不反应但易溶于水，空气中常以盐酸烟雾的形式存在。氯化氢主要以其刺激性和腐蚀性危害人体。由于氯化氢的刺激性强，人不能忍受其高浓度，必然想法避免其吸入，所以吸入高浓度氯化氢的情况较少。毒性级别：3；,19,CDI车间介绍,四氯化硅（SiCl4）,四氯化硅在常温常压下为具有窒息性刺激臭的无色透明有毒液体。能放出有毒蒸气。热稳定，空气中不燃烧。在潮湿空气中水解时生成蒸气的固态粒子(XSiO2YH2O)，可发烟。遇水激烈反应生成硅酸和盐酸。四氯化硅的毒作用主要表现在其强烈的刺激性和腐蚀性。它会刺激并腐蚀皮肤、眼睛及呼吸道粘膜，可引起流泪、咳嗽、结膜炎、上呼吸道炎症，气管、支气管及肺的炎症。,20,CDI车间介绍,三氯氢硅（SiHCl3）,三氯氢硅无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解并放热，溶于苯、醚等有机溶剂。三氯氢硅易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体，它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。三氯硅烷的蒸气和液体都能对眼睛和皮肤引起灼伤，吸入后刺激呼吸道粘膜引起角膜混浊、呼吸道炎症甚至肺水肿。爆炸极限：6.970%；毒性级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：2；,21,CDI车间介绍,二氯二氢硅（SiH2H2）,二氯二氢硅在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气中易燃，100以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。易潮解，在湿空气中产生腐蚀性烟雾。可溶于苯、醚和四氯化碳。二氯二氢硅的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起呛咳、呼吸道发炎、喉痉挛和肺水肿。触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。接触皮肤可引起化学烧伤。空气中可燃范围(20，101.325kPa)：4.1%98.8%(体积)。引燃温度：58；,22,CDI车间介绍,车间紧急响应,若生产区域（包含CDI车间和制氢车间，但不限于此两车间）发生突发事件，如火灾、爆炸、化学品泄露等，则启动车间紧急响应；若在车间发现火灾或化学品泄漏等情况，则需立即