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DesignExamplesofUltraPrecisionMachines,这是韩国一个教授总结,总体情况介绍,美国国防部高等研究计划局投资1300万美元，通过位于加州大学的3L实验室和空军WRIGHT航空研究所等单位合作，用了39个月，于1984年研制成功这台大型金刚石切削车床。该机床能加工直径1625mm、长度508mm、重量1360kg的大型金属反射镜。机床采用双立柱立式车床结构，六角刀盘驱动，7路激光干涉仪跟踪、分辨力0.7nm，定位误差2.5nm;为了减少若变形影响，采用低膨胀材料组合、恒温液体冷却温度控制0.0005度。,机床布局,1主轴2高速刀具伺服机构3刀具轴4X轴拖板5上部机架6主机架7气垫,隔振系统,四个隔振垫架机床，其中内部两个是通的，受力时可以自动平衡，相当于三点定面。气垫是放在隔振地基上的。,恒温控制方法,机床放在恒温室内，操作者不进入，空气与恒温水热交换，根据空气温度反馈控制进入热交换器水的流量。气流量9立方米/分钟。,主轴的径向和推力轴承采用液压轴承、油是恒温的，并且主轴系统中是有夹层的，之中通入恒温的水，横梁上的检测支架也是中空的，通水。温度可以控制到0.005度。水温本身波动很小，恒温水是先泵入水塔，靠自动流入机床，避免泵的振动通过水影响机床。,测试系统,X向工作台重1.8吨，刀座200kg作Z向运动，共用一套特制的SP125型双频激光仪，用分光镜分成多路，有四路测X向位移，在横梁左端有独立的用铟钢做的支架，用四套主要是防止工作台运动的歪斜。在滑座的顶部有三路测Z向运动。然后实现反馈控制。该激光器采用碘稳频。,OAGM2500Off-AxisGrindingMachine,CranfieldPrecisionEngineering,OAGM介绍,1991年研制成功，目前和LODTM被公认最高水平的大型机床。2500 x2500 x610mmX,Y向采用液体静压导轨，Z轴采用空气导轨。床身焊接件，填充人造花岗岩，保证高刚度、高稳定度和阻尼能力配备ZYGOAXIOM双频激光看上去象三坐标，换上测头确实可以当三坐标使用。X,Y摩擦驱动，Z滚珠丝杠驱动。,XGuideandDrive,Y,ZGuideandDrive,GrindingSpindle,NationalPhysicLaboratory,Tetrahedra
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