标准规范文件：铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第3部分：分光束显微镜法(GBT 8014.3 -2005)VIP

Ics25.22 20.40 _ _ h25标准g b/t 800 14.3-200 5代替g b/t 800 15.2-198 7铝及铝合金阳极氧化膜厚度的测量方法。不，我是说，一座11号山。Xi Ji a n o D I z I o f a l u mi n I u m a n D I t a o y s-t h e m a s u r I m e t o D o f h I c k n e o f a n o D I o x I D e o a t I n g s-p a r t 3:s p l I t-b E m I c r o s c o p E t h o d(I s o 21 28 1 9 7 6(E)， 一个n o d I z I o f a l u mi n I u m a n d I t a o y s a d e r m n o f t h I c k n e o f a n o d I c o x d e o a t I n G s-n o d e s t r u c t I v e 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局。 我想和你谈谈。花一瞥陶曲火会发布g b/t 800 1 4.3-200 5 j.勺.月u清g b/t 800 1 4 铝及铝合金阳极氧化膜厚度的测量方法分为以下三个部分：-g b/T 8 0 1 4。测量铝和铝合金上阳极氧化膜厚度的方法第1部分：测量原理-g b/t801 4.2-200 5测量铝和铝合金上阳极氧化膜厚度的方法第2部分：质量损失法-g b/T801 4.3-2000 5测量铝和铝合金上阳极氧化膜厚度的方法第3部分：分束微镜法第3部分分为g b/t801 4部分。本部分的修订采用国际标准组织2 1 2 8 : 1 9 7 6 铝及铝合金阳极氧化一氧化膜厚度测定一分光束显微镜无损测 定法）（英文版） ， 并根据 I S O 2 1 2 8 : 1 9 7 6 重新起草。本部分与 I S O 2 1 2 8 : 1 9 7 6 的差异体现在编写格式方 面。为方便比较， 在资料性附录 A中列出了本部分章条和对应的国际标准章条的对照一览表。 本部分代替G B / T 8 0 1 5 . 2 -1 9 8 7 铝及铝合金阳极氧化膜厚度的试验方法分光束显微法。这部分和G B的区别，是/T 8 0 1 5。2 -1 9 8 7反映在书写格式中。这部分是无损检测方法。本节的附录A是一个信息丰富的附录。本部分由中国有色金属工业协会提出。本部分由国家有色金属标准化技术委员会管辖。本部分由北京有色金属研究所起草。本部分由深圳华嘉利铝业有限公司、广东梅剑铝厂有限公司起草，主要起草人：朱祖芳、李友芳、熊锦平、戴跃兴、谭颜群、张继林。本部分由国家有色金属标准化技术委员会负责解释。本部分取代标准版本的前几个版本，如下所示：-gb/t8015.2-10987。通用B/T 8 0 1 4。测量铝和铝合金阳极氧化膜厚度的方法第3部分：分束显微镜1范围本部分提供了一种使用分束显微镜测量铝和铝合金阳极氧化膜厚度的无损方法。本节适用于薄膜厚度大于1 0微米的一般工业氧化膜，或薄膜厚度不小于5微米的光滑氧化膜。本部分不适用于深色氧化膜或表面粗糙的氧化膜。2方法原理在分束显微镜中，狭窄的平行光束(1)倾斜地入射在整个氧化膜的表面上，通常成45角(如图1所示)。光束R的一部分被氧化膜的外表面反射，而光束R的另一部分穿过氧化膜并被金属和氧化膜之间的界面反射。它经历了两次折射。这样，在观察区域可以获得两条平行的亮线，两条平行线之间的距离与氧化膜的厚度和仪器的放大率成正比。两条平行线之间的距离还与氧化膜的折射率和仪器的几何形状有关。，l r，k/氧化膜l，口丁-伊-伊-雅-伊 v/I f/r/人体图1当人体发射的角度与测量仪器物镜的光轴与样品表面之间的角度为4 5时。氧化膜的厚度可以根据公式(1)计算。=.在公式，/271 122.0 V (1): e中，氧化膜的实际厚度是以微米为单位的单一测量值(rt m)；-仪器测量的厚度，单位为微米(m)；n氧化物薄膜的折射率(一般为1。5 9-1。6 2) o 3术语，定义G B/T 8 0 1 4。1，以下术语和定义适用于本部分。阳极氧化膜的局部厚度在调查区域内，单次测量膜厚度至少需要1 0个点。测量结果的算术平均值称为阳极氧化膜的局部厚度。4仪器专用分光显微镜，通常用于测量透明膜厚度和表面粗糙度。该仪器用阳极氧化膜标准样品校准，标准样品的膜厚度已预先通过横截面显微镜测定。Gb/t801 4.3-200505测量盘5。1应根据仪器制造商提供的说明进行测量。5.2测量不同点的薄膜厚度时，旋转螺旋千分尺鼓，将十字框架从一条线移动到另一条线。一些仪器还可以调整接头的放大倍数，使滚筒上的读数与实际的单一厚度测量值一致。5.3在调查区域内，至少取1 0个点进行薄膜厚度的单次测量。6计算6中计算的单个测量值的算术平均值。1.6.2每个单个测量值相对于算术平均值的允许偏差为10%。6.3异常值的数量不得超过总测点的3 0%，在计算平均值时，异常值必须被丢弃。同时，两个测量值(无论是否出现异常值)应测量两次，并替代平均值(E)的计算。6.4根据公式(2)计算平均偏差：Xi e-if a=2-3- 1-(2)n:8平均偏差；单位为微米(t m)；e .氧化膜真实厚度的单一测量值；单位是微米。获得的氧化膜的实际厚度的单一测量值的算术平均值；单位是微米(t m) o 7测试报告。测试报告应包括以下内容：a)该零件号；6)使用的测试方法；c)测试结果和结果表示方法；d)测试过程中的任何异常情况；e)本节未涵盖或认为可选择的所有操作；f)