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2020年6月5日星期五,1,机电控制工程,第二章受控机械系统动态模型,2020年6月5日星期五,2,概述,内容质点平移系统定轴旋转系统机械传动装置定点旋转机械系统（自学）多刚体机械系统（自学）微机电系统,2020年6月5日星期五,3,物理原理牛顿第二定律欧拉动力学方程拉格朗日方程电场方程电磁场方程基尔霍夫定律,2020年6月5日星期五,4,方法,微分方程组,代数方程组,方块图,化简,传递函数,2020年6月5日星期五,5,第一节质点平移系统,基本元件,m,f(t),f(t),f(t),f(t),x(t),x1(t),x2(t),x1(t),x2(t),B,K,f(t)=m,2020年6月5日星期五,6,微分方程,惯性力外力和,K,B,m,f(t),x(t),2020年6月5日星期五,7,第二节定轴旋转系统,基本元件,J,M,M,M,B,K,f(t)=m,1,2,1,M,2,M,2020年6月5日星期五,8,微分方程,惯性力矩外力矩和,K,B,J,M,2020年6月5日星期五,9,基本电路元件,2020年6月5日星期五,10,2020年6月5日星期五,11,第三节机械传动装置,旋转/直线变换,2020年6月5日星期五,12,速比折合,从动主动,2020年6月5日星期五,13,弹性谐振,J1,K1,J2,n2J3,n2K2,n2J4,Mi，i,23/n,4/n,2020年6月5日星期五,14,2020年6月5日星期五,15,2020年6月5日星期五,16,2020年6月5日星期五,17,2020年6月5日星期五,18,2020年6月5日星期五,19,第六节微型机电系统,概述耦合静电场两端点对模型MEMS微结构力学模型系统动态模型,2020年6月5日星期五,20,概述,微机电系统（MEMS）是机电控制的新领域；大多数物理规律在微机电系统中仍然适用；随着尺度的减小，具体侧重的技术有所不同，如静电作用。,2020年6月5日星期五,21,实例微机械加速度计,质量弹簧系统；电容检测；静电加力。,2020年6月5日星期五,22,耦合静电场两端点对模型,电路、微结构,2020年6月5日星期五,23,联接电路和机械的纽带能量以q、x为独立变量；,2020年6月5日星期五,24,以u、x为独立变量；,2020年6月5日星期五,25,MEMS微结构的力学模型,2020年6月5日星期五,26,2020年6月5日星期五,27,MEMS动态模型,2020年6月5日星期五,28
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